Übersetzung für "Massenflussregler" in Englisch

Der Stickstofffluss wurde über einen Massenflussregler eingestellt und konstant gehalten.
The nitrogen flow was adjusted via a flux regulator and kept constant.
EuroPat v2
Der Zufluss der einströmenden Gase wird über Massenflussregler 7 gesteuert.
The admission of the in-flowing gases is controlled by mass flow regulators 7 .
EuroPat v2
Über einen Massenflussregler wurde die flüssige Phase in den Reaktor R2 dosiert.
By means of a mass flow regulator, the liquid phase was metered into reactor R2.
EuroPat v2
Die nebenstehende Bedienoberfläche ist für drei Massenflussregler ausgelegt.
The adjacent operating interface is designed for three mass flow controllers.
CCAligned v1
Das Mischungsverhältnis der Gase wird über die Massenflussregler 7 gesteuert.
The gas mixture ratio is controlled by the mass flow regulator 7 .
EuroPat v2
In einer bevorzugten Ausgestaltung der letztgenannten Ausführungsform nimmt der Massenflussregler auch das Grundausgangssignal entgegen.
In one further embodiment of the latter embodiment, the mass flow regulator also receives the basic output signal.
EuroPat v2
Die Prozessgase und das Trägergas werden über Massenflussregler 26, denen Ventile vorgeschaltet sind, dosiert.
The process gases and the carrier gas are metered by way of mass flow controllers 26, the valves of which are upstream.
EuroPat v2
Über einen Massenflussregler wurden kontinuierlich 20 g/h Propylenoxid in Reaktor R1 dosiert.
20 g/h of propylene oxide were metered continuously into reactor R1 via a mass flow regulator.
EuroPat v2
Anhand der Erfassung der Spektren und/oder Emissionslinien kann unter anderem vorteihaft auch die zeitliche Steuerung der Ventile, Massenflussregler und/oder die Druckregelung nachgeregelt werden.
Due to the acquisition of the spectra and/or emission lines, it is also possible, inter alia, advantageously to correct the temporal control of the valves, the mass flow regulators and/or the pressure regulation.
EuroPat v2
Die dort ablaufende Gasmaster-Software steuert neben der Visualisierung und dem Dialog mit dem Benutzer, die Massenflussregler.
Besides visualization and user dialog, the run-time software controls the mass flow.
ParaCrawl v7.1
Der kompakte MFC 2172 Massenflussregler von Axetris mit EtherCAT-Schnittstelle beruht auf der von Axetris selbst entwickelten Plating-MEMS-Technologie (MEMS: Micro Electro-Mechanical Systems).
The Axetris compact mass flow controller MFC 2172 with EtherCAT interface is based on the proprietary Platinum MEMS technology from Axetris (MEMS: Micro Electro-Mechanical Systems).
ParaCrawl v7.1
Gemäß FIG 2 kann - gegebenenfalls alternativ, im Regelfall zusätzlich - zu der obenstehend beschriebenen Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Grundprinzips die Steuereinrichtung 5 einen Massenflussregler 10 aufweisen.
According to FIG. 2, possibly alternatively but generally additionally, the control device 5 can have a mass flow regulator 10 for the above-described refinement of the basic principle according to various embodiments.
EuroPat v2
Von Vorteil ist, dass das weitere Gaszufuhrmittel, das einen weiteren Massenflussregler umfasst, eine Zuführung des Gases ausgewählt aus der Gruppe umfassend Cl 2 und/oder HCl, das dem Plasmareaktor, dem Gasauslass und/oder der Prozesskammer zugeführt wird, einstellbar ist.
It is advantageous that the supply of the gas selected from the group including Cl 2 and/or HCl, which is supplied to the plasma reactor, the gas outlet, and/or the process chamber, is adjustable via another gas supply arrangement, which includes another mass flow regulator.
EuroPat v2
Ein weiterer Gegenstand der vorliegenden Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens, wobei einer Vorrichtung zur Herstellung des Ätzgases beispielsweise ClF 3 eine Prozesskammer zugeordnet ist, die über einen Gaseinlass mit dem Plasmareaktor verbunden ist, wobei das Halbleitersubstrat in der Prozesskammer angeordnet und dem von der Vorrichtung zur Erzeugung von Chlortrifluorid erzeugten gasförmigen Chlortrifluorid ausgesetzt ist, wobei die Vorrichtung ein weiteres Gaszufuhrmittel aufweist, das einen weiteren Massenflussregler umfasst, mit der die Zufuhr des Gases ausgewählt aus der Gruppe umfassend Cl 2 und/oder HCl, das dem Plasmareaktor, dem Gasauslass des Plasmareaktors und/oder einem Gaseinlass der Prozesskammer zugeführt wird, einstellbar ist.
Another subject matter of the exemplary embodiments and/or exemplary methods of the present invention relates to a device for carrying out the method according to the present invention, a device for producing the etching gas, for example, ClF 3 being associated with a process chamber, which is connected to the plasma reactor via a gas inlet, the semiconductor substrate being situated in the process chamber and exposed to the gaseous chlorine trifluoride produced by the device for producing chlorine trifluoride, the device having an additional gas supply arrangement, which includes another mass flow regulator, using which the feed of gas selected from the group including Cl 2 and/or HCl, which is supplied to the plasma reactor, the gas outlet of the plasma reactor, and/or a gas inlet of the process chamber, may be adjusted.
EuroPat v2
Auch die Zuleitung 17 ist mittels eines Ventils 19 absperrbar und der Gasfluss durch diese Leitung 17 ist mit einem Massenflussregler 21 geregelt.
The supply line 17 can also be shut by means of a valve 19, and the gas flow through this line 17 is regulated with the aid of a mass flow regulator 21 .
EuroPat v2
Weiterhin kann dem Ätzgas ClF 3 zusätzlich ein zweiter Chlorgasstrom über den Massenflussregler 23 in die Gaszuleitung 20 und/oder über eine separate Zuleitung 24 direkt in die Prozesskammer zugesetzt werden.
Furthermore, a second chlorine gas stream may be additionally added to the ClF 3 etching gas into gas feed 20 via mass flow regulator 23 and/or directly into the process chamber via a separate feed 24 .
EuroPat v2
In bevorzugter Weise wird Chlor und/oder Chlorwasserstoff beispielsweise über einen zweiten Massenflussregler, insbesondere unterhalb der Plasmaerzeugung des Ätzgases, beispielsweise ClF 3, dein gebildeten Ätzgas zugeführt, während die Plasmaerzeugung von ClF 3 selbst annähernd stöchiometrisch oder nur mit einem leichten Chlorüberschuss abläuft.
Chlorine and/or hydrogen chloride may be supplied to the formed etching gas, via a second mass flow regulator, for example, in particular in a quantity less than that required for the plasma production of the etching gas, for example, ClF 3, while plasma production of ClF 3 itself takes place approximately stoichiometrically or at a slight excess of chlorine.
EuroPat v2
Diese Strömungskanäle sind über Zuleitungen, Massenflussregler und Ventile mit Vorratsbehältern verbunden, in denen das Trägergas und die Prozessgase bevorratet werden.
These flow channels are connected via feed lines, mass flow regulators and valves, with reservoirs in which the carrier gas and the process gases are stored.
EuroPat v2
Nach 4,5 Stunden wurden über einen Massenflussregler kontinuierlich 55,85 g/h Propylenoxid in Reaktor R2 dosiert.
After 4.5 hours, 55.85 g/h of propylene oxide were metered continuously into reactor R2 via a mass flow regulator.
EuroPat v2
Diese Anlage weist eine Reaktionskammer mit einer Einlassöffnung auf, in der die Prozessgase beispielsweise durch Massenflussregler gesteuert der Reaktionskammer zugeführt werden können.
The installation has a reaction chamber with an inlet opening in which the process gases can be supplied in a controlled manner to the reaction chamber, for example by mass flow controllers.
EuroPat v2
In einer alternativen zweiten Verfahrensführung wird der zweite Massenflussregler 30 über die Steuereinheit 17 gemäß Figur 2 zusätzlich mit der Steuerung der Ventile 27, 28 synchronisiert getaktet.
In a second variation of the method according to the present invention, second mass flow regulator 30 is additionally cycled in synchronization with the control of valves 27, 28 via control unit 17 according to FIG. 2 .
EuroPat v2
Erst nach Ablaufen der Wartezeit t 2 -t L nach dem Beginn des Ätzschritts wird dann der zweite Massenflussregler 30 wieder bis zum Ende des darauf folgenden Passiviergastaktes bzw. zum Beginn des darauf folgenden Ätzgastaktes auf seinen Sollgasfluss gesetzt.
Second mass flow regulator 30 is again set to its setpoint gas flow until the end of the following passivation gas cycle and/or the beginning of the following etching gas cycle only after waiting time t 2 -t L has elapsed after the beginning of the etching step.
EuroPat v2
Auch diese Verfahrensführung weist jedoch noch den Nachteil auf, dass während der Passiviergastakte nicht nur der Inhalt des Puffertanks 24 in die Ätzkammer 12 strömt, sondern auch noch eine geringe Passiviergasmenge während des Passiviergastaktes von dem zweiten Massenflussregler 30 nachgeliefert wird.
However, this method also has the disadvantage that during the passivation gas cycles, not only the contents of buffer tank 24 flow into etching chamber 12, but a small amount of passivation gas is also subsequently supplied by second mass flow regulator 30 during the passivation gas cycle.
EuroPat v2
Alternativ ist es auch möglich, die Massenflussregler 29, 30 entfernt von der Ätzkammer 12 beispielsweise in einer sogenannten "Gasbox" zu platzieren.
Alternatively, it is also possible to place mass flow regulators 29, 30 distal from etching chamber 12, in a “gas box,” for example.
EuroPat v2
Um diese halbe Aufladezeit zu korrigeren, muss dann im Prozessprogramm über die Steuereinheit 17 der von dem zweiten Massenflussregler 30 zu liefernde Passiviergasfluss verdoppelt werden.
In order to correct this halved charging time, the passivation gas flow to be provided by second mass flow regulator 30 must then be doubled in the process program via control unit 17 .
EuroPat v2