Übersetzung für "Plasma enhanced" in Deutsch
																						Plasma
																											enhanced
																											Chemical
																											Vapour
																											Deposition
																											(CVD)
																											equipment
																											as
																											follows:
																		
			
				
																						Ausrüstung
																											für
																											plasmaunterstützte
																											chemische
																											Abscheidung
																											(PECVD)
																											wie
																											folgt:
															 
				
		 DGT v2019
			
																						Such
																											is
																											the
																											case,
																											for
																											example,
																											with
																											plasma-enhanced
																											processes.
																		
			
				
																						Dieses
																											ist
																											zum
																											Beispiel
																											bei
																											plasmaunterstützten
																											Prozessen
																											der
																											Fall.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											coating
																											process
																											selected
																											for
																											this
																											example
																											is
																											the
																											PECVD
																											(Plasma
																											Enhanced
																											Chemical
																											Vapor
																											Deposition)
																											method.
																		
			
				
																						Als
																											Beschichtungsprozeß
																											wurde
																											das
																											PECVD
																											(Plasma
																											Enhanced
																											Chemical
																											Vapor
																											Deposition)-Verfahren
																											gewählt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											filter
																											layer
																											is
																											produced
																											by
																											sputtering
																											or
																											plasma-enhanced
																											vapor
																											deposition.
																		
			
				
																						Die
																											Filterschicht
																											wird
																											dabei
																											durch
																											Sputtern
																											oder
																											plasmaunterstütztes
																											Bedampfen
																											hergestellt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											plasma-enhanced
																											catalytic
																											reaction
																											can
																											be
																											schematically
																											divided
																											into
																											two
																											steps:
																		
			
				
																						Diese
																											plasmaunterstützte
																											katalytische
																											Reaktion
																											kann
																											schematisch
																											in
																											zwei
																											Schritte
																											unterteilt
																											werden:
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Plasma-enhanced
																											CVD-depositions,
																											for
																											instance,
																											can
																											be
																											provided
																											with
																											high
																											deposition
																											rates.
																		
			
				
																						Beispielsweise
																											können
																											plasmaunterstützte
																											CVD-Abscheidungen
																											mit
																											hohen
																											Abscheideraten
																											realisiert
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						But
																											here,
																											the
																											option
																											of
																											plasma
																											enhanced
																											CVD
																											coating
																											(PECVD)
																											lends
																											itself.
																		
			
				
																						Hier
																											bietet
																											sich
																											jedoch
																											die
																											Möglichkeit
																											der
																											Plasmaunterstützten
																											CVD-Beschichtung
																											(PECVD)
																											an.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Such
																											a
																											layer
																											can
																											be
																											applied,
																											for
																											example,
																											by
																											plasma-enhanced
																											or
																											chemical
																											vapor
																											deposition
																											methods.
																		
			
				
																						Eine
																											solche
																											Schicht
																											kann
																											beispielsweise
																											durch
																											plasmaunterstützte
																											oder
																											chemische
																											Aufdampfungsverfahren
																											aufgebracht
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Above
																											it
																											is
																											shown
																											schematically
																											the
																											plasma
																											34
																											of
																											the
																											plasma-enhanced
																											precipitation
																											process.
																		
			
				
																						Darüber
																											ist
																											schematisch
																											das
																											Plasma
																											34
																											des
																											plasmaunterstützten
																											Abscheideverfahrens
																											dargestellt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						A
																											plasma-enhanced
																											chemical
																											vapor
																											deposition
																											method
																											or
																											an
																											atomic
																											layer
																											deposition
																											method
																											may
																											be
																											used,
																											for
																											example.
																		
			
				
																						Beispielsweise
																											kann
																											ein
																											plasmaunterstütztes
																											chemisches
																											Gasphasenabscheideverfahren
																											oder
																											ein
																											Atomlagenabscheideverfahren
																											verwendet
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											plasma
																											enhanced
																											pre-coating
																											phase
																											is
																											maintained
																											until
																											a
																											desired
																											coating
																											thickness
																											is
																											reached.
																		
			
				
																						Diese
																											plasmaunterstützte
																											Vorbeschichtungsphase
																											wird
																											aufrechterhalten,
																											bis
																											eine
																											vorgegebene
																											Schichtdicke
																											erreicht
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											barrier
																											layer
																											was
																											deposited
																											by
																											plasma-enhanced
																											vapor
																											deposition.
																		
			
				
																						Die
																											Abscheidung
																											der
																											Sperrschicht
																											erfolgte
																											durch
																											plasmaunterstützte
																											chemische
																											Gasphasenabscheidung.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						New
																											developments
																											in
																											the
																											plasma-enhanced
																											chemical
																											vapor
																											deposition
																											(PECVD)
																											process
																											enable
																											high
																											speed
																											top
																											coating.
																		
			
				
																						Neue
																											Entwicklungen
																											in
																											der
																											plasmaunterstützten
																											chemischen
																											Gasphasenabscheidung
																											(PECVD)
																											ermöglichen
																											eine
																											Highspeed-Schutzschicht-Beschichtung.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						For
																											coating
																											the
																											DLC
																											layer
																											on
																											this
																											substructure,
																											the
																											researchers
																											are
																											using
																											plasma-enhanced
																											chemical
																											vapour
																											deposition.
																		
			
				
																						Für
																											den
																											Aufbau
																											der
																											DLC-Schicht
																											auf
																											diesem
																											Untergrund
																											nutzen
																											die
																											Forscher
																											die
																											plasmaunterstützte
																											chemische
																											Gasphasenabscheidung.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						This
																											may
																											be
																											achieved
																											e.g.,
																											by
																											plasma-enhanced
																											chemical
																											vapor
																											deposition
																											(PECVD)
																											or
																											by
																											cathode
																											evaporation.
																		
			
				
																						Dies
																											kann
																											z.
																											B.
																											durch
																											plasmaunterstützte
																											chemische
																											Gasphasenabscheidung
																											(PECVD)
																											oder
																											durch
																											Kathodenzerstäubung
																											erreicht
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Then,
																											the
																											dielectric
																											barrier
																											is
																											opened,
																											for
																											example
																											by
																											plasma-enhanced
																											etching
																											steps
																											by
																											a
																											known
																											semiconductor
																											fabrication
																											techniques.
																		
			
				
																						Dann
																											wird
																											die
																											dielektrische
																											Barriere
																											geöffnet,
																											bspw.
																											durch
																											plasmaunterstützte
																											Ätzschritte
																											mittels
																											bekannter
																											Techniken
																											der
																											Halbleiterherstellung.
															 
				
		 EuroPat v2