Translation of "Amorphization" in German

At such laser powers, the amorphization of the substrate material may be limited to the separation trenches.
Bei solchen Laserleistungen kann die Amorphisierung des Substratmaterials auf die Vereinzelungsgräben begrenzt werden.
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Purification and amorphization preferably occur simultaneously, even more preferably by the same treatment.
Vorzugsweise erfolgt Reinigung und Amorphisierung gleichzeitig, noch bevorzugter durch dieselbe Behandlung.
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The amorphization can be controlled by the impact energy.
Durch die Einschlagenergie ist die Amorphisierung steuerbar.
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The amorphization is preferably carried out by particle collision with the substrate surface.
Die Amorphisierung erfolgt vorzugsweise durch Teilchenkollision mit der Substratoberfläche.
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For the amorphization 11, the phase change material is firstly melted.
Für die Amorphisierung 11 wird das Phasenwechselmaterial zunächst aufgeschmolzen.
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The damage is usually associated with an amorphization of the near-surface areas.
Die Schädigung geht daher meistens auch mit einer Amorphisierung der oberflächennahen Bereiche einher.
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The amorphization of the surface takes place preferably through the adjustment of the ion energy.
Die Amorphisierung der Oberfläche erfolgt vorzugsweise über die Einstellung der Ionenenergie.
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A cleaning of the surface for oxide removal and an amorphization are preferably carried out simultaneously.
Bevorzugt erfolgen eine Reinigung der Oberfläche zur Oxidentfernung und eine Amorphisierung gleichzeitig.
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Preferably, cleaning and amorphization are carried out simultaneously, even more preferably by the same treatment.
Vorzugsweise erfolgt Reinigung und Amorphisierung gleichzeitig, noch bevorzugter durch dieselbe Behandlung.
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In addition, the amorphization ensures a higher movability of the material on the interfaces.
Die Amorphisierung gewährleistet außerdem eine höhere Beweglichkeit des Materials an den Grenzflächen.
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In this process a destruction of the crystal structure (amorphization) and dehydration of the hydroxides could be observed.
Dabei ließen sich eine Zerstörung der Kristallstruktur (Amorphisierung) und eine Dehydration der Hydroxide beobachten.
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The amorphization of the silicon substrate with subsequent separation by mechanical stresses does not require the removal of excess material.
Die Amorphisierung des Siliziumsubstrats mit nachfolgender Trennung durch mechanische Spannungen kommt ebenfalls ohne Materialabtrag aus.
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In the third place, a thermodynamically metastable state at the substrate surface (bonding boundary surface) is produced by the amorphization.
Drittens wird durch die Amorphisierung ein thermodynamisch metastabiler Zustand an der Substratoberfläche (Bondgrenzfläche) erzeugt.
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Reference is to be made to the volume ratio between the amorphous phase and the total volume as the degree of amorphization.
Das Volumenverhältnis zwischen der amorphen Phase und dem Gesamtvolumen soll als Amorphisierungsgrad bezeichnet werden.
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The purification and/or the amorphization preferably take place in a vacuum chamber as a process chamber.
Die Reinigung und/oder die Amorphisierung finden bevorzugt in einer Vakuumkammer als Prozesskammer statt.
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The partial amorphization in micronization is associated with chemical and physical destabilization of the active substance.
Die teilweise Amorphisierung bei Mikronisierungen ist mit einer chemischen und physikalischen Destabilisierung des Wirkstoffes verbunden.
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The cooling rate from the glass temperature to room temperature does not play any role in the amorphization 11 .
Die Abkühlrate von der Glastemperatur bis zur Raumtemperatur spielt für die Amorphisierung 11 keine Rolle.
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Preferably and according to the invention, an amorphization of the oxide or at least the near-surface oxide area comes about through this controlled damaging.
Mit dieser kontrollieren Schädigung wird erfindungsgemäß vorzugsweise eine Amorphisierung des Oxids oder zumindest der oberflächennahen Oxidbereiche.
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The amorphization reduces the necessary energy (force) in order to close microcavities.
Die Amorphisierung reduziert die erforderliche Energie (Kraft), um Mikrokavitäten zu schließen.
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The amorphization of the substrate surface results in a better bonding result, in particular in the case of comparatively low temperatures.
Die Amorphisierung der Substratoberfläche führt zu einem besseren Bondergebnis, insbesondere bei vergleichsweise geringen Temperaturen.
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In particular, a thermodynamically metastable state at the substrate surface (bonding boundary surface) is created by the amorphization.
Durch die Amorphisierung wird insbesondere ein thermodynamisch metastabiler Zustand an der Substratoberfläche (Bondgrenzfläche) erzeugt.
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The volume ratio between the amorphous phase and the total volume is to be referred to as the degree of amorphization.
Das Volumenverhältnis zwischen der amorphen Phase und dem Gesamtvolumen soll als Amorphisierungsgrad bezeichnet werden.
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After a silicon ion implantation, for further amorphization, a lateral solid-phase epitaxy is performed at approximately 550° to about 660° C. proceeding from the n+ contact (11) to the substrate (1).
Nach einer Silizium-Ionenimplantation zur weiteren Amorphisierung wird bei 550 bis 600°C die laterale Festphasenspitaxie, ausgehend vom n?-Kontakt (11) zum Substrat (1) durchgeführt.
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Field of Invention The invention relates to a method for manufacturing shallow junctions in silicon by implantation of silicon or germanium ions for amorphization of a surface zone, subsequent doping of this surface zone, and finally recrystallization of this surface zone by heat treatment.
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von flachen Übergängen in Silizium durch Implantation von Silizium- oder Germanium-Ionen zur Amorphisierung einer Oberflächenzone, anschließende Dotierung dieser Oberflächenzone und abschließende Rückkristallisation der Oberflächenzone durch eine Wärmebehandlung.
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