Translation of "Astigmatically" in German

The present invention relates to high current electron sources having a narrow energy band such as are employed in electron beam printing devices, and particularly to such an electron source having a beam generating system consisting of a cathode and focusing electrodes and an anode wherein at least one electrode astigmatically focuses the electrons in the range of lower velocities in at least one crossover.
Die Erfindung betrifft eine Hochstrom-Elektronenquelle kleiner Energiebreite, insbesondere für einen Elektronenstrahlschreiber, mit einem Strahlerzeugungssystem, aus Kathode und weiteren Elektroden von denen eine als gehnelt-Elektrode die aus der Kathode austretenden, noch geringe Geschwindigkeiten aufweisenden Elektronen astigmatisch in eine linienförmige Kreuzungslinie (cross-over) fokussiert.
EuroPat v2
Compared to the astigmatically produced image line SBL of FIG. 19 or FC0 of FIG. 17 as well, light spots that have a significantly greater expanse in the z-direction viewed in the z, y-plane in comparison thereto are particularly enabled.
Gegenüber der astigmatisch erzeugten Bildlinie SBL von Figur 19 oder auch FC0 von Figur 17 sind insbesondere Lichtflecke ermöglicht, die ihr gegenüber in der z,y-Ebene betrachtet eine wesentlich größere Ausdehnung in z-Richtung aufweisen.
EuroPat v2
The invention further provides a microscope wherein the illumination device additionally comprises first means for light sheet generation, which, in turn, comprise means for generating a rotationally symmetric light beam and scanning means for light-sheet-like scanning of the sample region along the transverse axis in a specified time interval, with the illumination device further comprising second means for light sheet generation, which in turn comprise a first astigmatically acting optical element with at least one astigmatic lens for generating a static light sheet, and in which microscope there are further provided selecting means with which, for generating the light sheet, either the first or the second means for light sheet generation or both together can be selected.
Ferner wird ein Mikroskop der eingangs beschriebenen Art bereitgestellt, wobei die Beleuchtungseinrichtung zusätzlich erste Lichtblatterzeugungsmittel umfaßt, welche selbst wiederum Mittel zur Erzeugung eines rotationssymmetrischen Lichtstrahls und Abtastmittels zur lichtblattförmigen Abtastung des Probenbereichs entlang der Querachse in einem vorgegebenen Zeitintervall umfassen, wobei die Beleuchtungseinrichtung außerdem zweite Lichtblatterzeugungsmittel umfaßt, diese umfassend ein erstes astigmatisch wirkendes optisches Element mit mindestens einer astigmatischen Linse zur Erzeugung eines statischen Lichtblatts, und außerdem Auswahlmittel vorgesehen sind, mit denen zur Erzeugung des Lichtblattes entweder die ersten oder die zweiten Lichtblatterzeugungsmittel oder beide gemeinsam auswählbar sind.
EuroPat v2
In addition to the scanning mirror 23, the illumination device 19 is optionally provided with second means for light sheet generation, which comprise a first astigmatically acting optical element—in the example shown this is a first cylindrical optical element 27 with at least one astigmatic lens, here a cylindrical lens—for generating a static light sheet.
Zusätzlich zum Abtastspiegel 23 sind bei der Beleuchtungseinrichtung 19 optional auch zweite Lichtblatterzeugungsmittel vorgesehen, welche ein erstes astigmatisch wirkendes optisches Element, im Beispiel ein erstes zylinderoptisches Element 27 mit mindestens einer astigmatischen Linse, im Beispiel einer Zylinderlinse, zur Erzeugung eines statischen Lichtblattes umfassen.
EuroPat v2
Instead of a cylindrical optical element 33 with at least one cylindrical lens, astigmatically acting elements with Powell lenses can be used as well.
Statt eines zylinderoptischen Elements 33 mit mindestens einer Zylinderlinse lassen sich auch astigmatisch wirkende Elemente mit Powell-Linsen verwenden.
EuroPat v2
Herein it may be of advantage that the illumination device comprises an astigmatically acting optical element, preferably a cylindrical optical element, arranged in the one illumination beam path or in the other illumination beam path and intended for the correct imaging of the switching mirror or of the scanning mirror onto a pupil plane.
Dabei kann es von Vorteil sein, daß die Beleuchtungseinrichtung ein im Beleuchtungsstrahlengang oder im weiteren Beleuchtungsstrahlengang angeordnetes, astigmatisch wirkendes optisches Element, bevorzugt ein zylinderoptisches Element zur korrekten Abbildung des Umschaltspiegels oder des Abtastspiegels in eine Pupillenebene umfaßt.
EuroPat v2
Whereas the one of the two mirrors is correctly imaged onto the pupil plane, the imaging of the other mirror would not be correct without such an additional astigmatically acting element; this, then, is an optical correction system for the correct imaging of both mirrors.
Während der eine der beiden Spiegel korrekt in die Pupillenebene abgebildet wird, ist die Abbildung des anderen Spiegels ohne ein solches zusätzliches astigmatisch wirkendes Element nicht korrekt, es handelt sich als um eine Korrekturoptik zur korrekten Abbildung beider Spiegel.
EuroPat v2
In addition, then, a second astigmatically acting optical element, which also may be configured as a cylindrical optical element, may be arranged in the illumination beam path.
Zusätzlich kann dann auch ein zweites astigmatisch wirkendes optisches Element, welches ebenfalls als zylinderoptisches Element ausgestaltet sein kann, im Beleuchtungsstrahlengang angeordnet sein.
EuroPat v2
Herein it can be of advantage that the illumination device comprises an astigmatically acting optical element, preferably a cylindrical optical element, which is arranged in the one illumination beam path or in the other illumination beam path and serves to correctly image the scanning mirror, the switching mirror or the other scanning mirror onto a pupil plane.
Dabei kann es von Vorteil sein, daß die Beleuchtungseinrichtung ein im Beleuchtungsstrahlengang oder im weiteren Beleuchtungsstrahlengang angeordnetes, astigmatisch wirkendes optisches Element, bevorzugt ein zylinderoptisches Element zur korrekten Abbildung des Abtastspiegels oder des Umschaltspiegels bzw. des weiteren Abtastspiegels in eine Pupillenebene umfaßt.
EuroPat v2
Whereas one of the two mirrors is correctly imaged onto the pupil plane, imaging of the other mirror without such an additional astigmatically acting element would not be correct; this element, then, is an optical correction system for the correct imaging of both mirrors.
Während der eine der beiden Spiegel korrekt in die Pupillenebene abgebildet wird, ist die Abbildung des anderen Spiegels ohne ein solches zusätzliches astigmatisch wirkendes Element nicht korrekt, es handelt sich als um eine Korrekturoptik zur korrekten Abbildung beider Spiegel.
EuroPat v2
The invention also provides that the primary electron beam is astigmatically deformed relatively shortly in front of the object plane such that it is focused in a first plane and defocused in a second plane extending orthogonally to the first plane and such that the focusing in the first plane is so strong that an astigmatic cross-over, in particular, a line focus is generated in front of the object plane.
Es wird auch vorgeschlagen, den Primärelektronenstrahl vergleichsweise kurz vor der Objektebene astigmatisch zu verformen und zwar derart, daß er in einer ersten Ebene fokussiert und in einer hierzu orthogonalen zweiten Ebene defokussiert ist, und daß die Fokussierung in der ersten Ebene so stark ist, daß vor der Objektebene ein astigmatischer cross-over, insbesondere ein Strichfokus, entsteht.
EuroPat v2
By blocking out peripheral regions of the ellipse in this manner, it can be ensured that the (astigmatically) curved cut surface is generated only in a circular region.
Durch eine derartige Ausblendung von Randbereichen der Ellipse kann sichergestellt werden, dass die (astigmatisch) gekrümmte Schnittfläche nur in einem kreisförmigen Bereich erzeugt wird.
EuroPat v2
With the described focussing prism and with Littrow prisms an optically stable, astigmatically compensated and tunable resonator can be formed, but due to the large number of interfaces in the resonator frequency conversion with high efficiency or resonance enhancement with usable enhancement factor is not possible with this arrangement.
Mit den beschriebenen Fokussierprismen und Littrow-Prismen kann zwar ein optisch stabiler, astigmatisch kompensierter und abstimmbarer Resonator aufgebaut werden, es kann aufgrund der Vielzahl von Grenzflächen jedoch keine effiziente Frequenzkonversion bzw. eine Resonanzverstärkung mit brauchbarem Überhöhungsfaktor erreicht werden.
EuroPat v2
As shown in the outline illustration in FIG. 5, the imaging planes in the main planes of an astigmatically imaging optical element (the main planes are identical to the meridional and the sagittal planes for an object that is to be imaged and is at a distance from the optical axis) for the imaging of an object which is represented schematically in the form of a point in FIG. 5 generally differ from one another, so that the two axes of an object are imaged sharply in different imaging planes.
Wie in der Prinzipdarstellung der Figur 5 gezeigt, fallen die Bildebenen in den Hauptebenen eines astigmatisch abbildenden optischen Elements (bei einem von der optischen Achse entfernten abzubildenden Objekt sind die Hauptebenen identisch mit der Meridional- und der Sagittalebene) bei der Abbildung eines in Figur 5 schematisch als Punkt dargestellten Objekts in der Regel auseinander, so daß die beiden Achsen eines Objektes in unterschiedlichen Bildebenen scharf abgebildet werden.
EuroPat v2
The common image can be imaged directly or via one or a plurality of intermediate images (common intermediate image ZW) astigmatically into the plane of image recorder BA in the form of the four-quadrant photo diode.
Es entsteht dann ein gemeinsames Bild. Das gemeinsame Bild kann direkt oder über eine oder mehrere Zwischenabbildungen (gemeinsames Zwischenbild ZW) astigmatisch in die Ebene des Bildaufnehmers BA in Form der Vierquadranten-Fotodiode abgebildet werden.
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