Translation of "Auxiliary structure" in German
																						This
																											p
																											+
																											-silicon
																											layer
																											then
																											constitutes
																											the
																											second
																											auxiliary
																											structure
																											7
																											.
																		
			
				
																						Diese
																											p
																											+
																											-Siliziumschicht
																											stellt
																											dann
																											die
																											zweite
																											Hilfsstruktur
																											7
																											dar.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											auxiliary
																											lithography
																											structure
																											is
																											likewise
																											subjected
																											to
																											the
																											trench-etching
																											process
																											in
																											the
																											manufacture
																											of
																											the
																											trench
																											structure.
																		
			
				
																						Bei
																											der
																											Herstellung
																											der
																											Grabenstruktur
																											wird
																											die
																											Lithographiehilfsstruktur
																											ebenfalls
																											dem
																											Grabenätzprozeß
																											unterzogen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											auxiliary
																											structure
																											30
																											has
																											several
																											stiffening
																											profiles
																											18
																											.
																		
			
				
																						Die
																											Hilfsstruktur
																											30
																											weist
																											mehrere
																											Versteifungsprofile
																											18
																											auf.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											auxiliary
																											shading
																											structure
																											3
																											in
																											its
																											shading
																											position
																											according
																											to
																											FIG.
																		
			
				
																						Das
																											Nebenbeschattungsgebilde
																											3
																											erstreckt
																											sich
																											in
																											seiner
																											Beschattungsposition
																											gemäß
																											Fig.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											auxiliary
																											pull-out
																											element
																											7
																											is
																											fixedly
																											connected
																											to
																											the
																											auxiliary
																											shading
																											structure
																											3
																											.
																		
			
				
																						Das
																											Nebenauszugelement
																											7
																											ist
																											fest
																											mit
																											dem
																											Nebenbeschattungsgebilde
																											3
																											verbunden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						At
																											least
																											one
																											flank
																											is
																											not
																											covered
																											by
																											the
																											first
																											auxiliary
																											structure.
																		
			
				
																						Dabei
																											wird
																											mindestens
																											eine
																											Flanke
																											nicht
																											von
																											der
																											ersten
																											Hilfsstruktur
																											bedeckt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											second
																											auxiliary
																											structure
																											HS2
																											is
																											subsequently
																											removed
																											by
																											etching
																											with
																											NH4
																											F/HF,
																											for
																											example.
																		
			
				
																						Anschließend
																											wird
																											die
																											zweite
																											Hilfsstruktur
																											HS2
																											durch
																											Ätzen
																											mit
																											z.B.
																											NH
																											4
																											F/HF
																											entfernt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											this
																											case,
																											the
																											exact
																											position
																											and
																											alignment
																											of
																											the
																											optical
																											elements
																											is
																											defined
																											by
																											the
																											auxiliary
																											structure.
																		
			
				
																						Durch
																											die
																											Hilfsstruktur
																											wird
																											dabei
																											die
																											exakte
																											Position
																											und
																											Ausrichtung
																											der
																											optischen
																											Elemente
																											definiert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Simultaneously,
																											further
																											SiO2
																											spacers
																											19
																											are
																											formed
																											in
																											the
																											region
																											L
																											of
																											the
																											auxiliary
																											lithography
																											structure
																											(see
																											FIG.
																											7).
																		
			
				
																						Gleichzeitig
																											werden
																											im
																											Bereich
																											L
																											der
																											Lithographiehilfsstruktur
																											weitere
																											SiO?-Spacer
																											19
																											gebildet
																											(siehe
																											Figur
																											7).
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											the
																											trench
																											process,
																											an
																											auxiliary
																											lithography
																											structure
																											is
																											simultaneously
																											produced
																											in
																											the
																											substrate
																											wafer
																											outside
																											the
																											integrated
																											circuit
																											arrangement.
																		
			
				
																						Bei
																											dem
																											Grabenprozeß
																											wird
																											gleichzeitig
																											außerhalb
																											der
																											integrierten
																											Schaltungsanordnung
																											eine
																											Lithographiehilfsstruktur
																											in
																											der
																											Substratscheibe
																											hergestellt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											other
																											winding
																											shaft
																											for
																											the
																											auxiliary
																											shading
																											structure
																											is
																											oriented
																											approximately
																											vertically
																											in
																											the
																											region
																											of
																											a
																											window
																											bar.
																		
			
				
																						Die
																											andere
																											Wickelwelle
																											für
																											das
																											Nebenbeschattungsgebilde
																											ist
																											etwa
																											vertikal
																											im
																											Bereich
																											eines
																											Fenstersteges
																											ausgerichtet.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											addition,
																											auxiliary
																											structure
																											50
																											acts
																											as
																											a
																											support
																											for
																											stabilizing
																											guide
																											vanes
																											4
																											during
																											the
																											generative
																											production.
																		
			
				
																						Zudem
																											wirkt
																											die
																											Hilfsstruktur
																											50
																											als
																											Stütze
																											zur
																											Stabilisierung
																											der
																											Leitschaufel
																											4
																											bei
																											der
																											generativen
																											Herstellung.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Depending
																											on
																											the
																											model-round
																											tower
																											construction
																											may
																											have
																											several
																											sections,
																											which
																											depends
																											on
																											the
																											amount
																											of
																											the
																											height
																											of
																											the
																											auxiliary
																											structure.
																		
			
				
																						Je
																											nach
																											Modell-Rundturmkonstruktion
																											kann
																											mehrere
																											Abschnitte,
																											die
																											sich
																											auf
																											Höhe
																											der
																											Höhe
																											der
																											Hilfsstruktur
																											abhängt.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						The
																											auxiliary
																											structure
																											may,
																											for
																											example,
																											be
																											produced
																											from
																											SiO2,
																											Si3
																											N4
																											or
																											a
																											metal.
																		
			
				
																						Die
																											Hilfsstruktur
																											kann
																											zum
																											Beispiel
																											aus
																											SiO
																											2,
																											Si
																											3
																											N
																											4
																											oder
																											einem
																											Metall
																											erzeugt
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Subsequently,
																											the
																											first
																											auxiliary
																											structure
																											HS1
																											is
																											removed
																											by
																											etching
																											SiO2
																											selectively
																											with
																											respect
																											to
																											silicon
																											using
																											NH4
																											F/HF,
																											for
																											example.
																		
			
				
																						Anschließend
																											wird
																											durch
																											Ätzen
																											von
																											SiO
																											2
																											selektiv
																											zu
																											Silizium,
																											mit
																											z.B.
																											NH
																											4
																											F/HF,
																											die
																											erste
																											Hilfsstruktur
																											HS1
																											entfernt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											order
																											to
																											produce
																											a
																											second
																											auxiliary
																											structure
																											HS2,
																											SiO2
																											is
																											deposited
																											to
																											a
																											thickness
																											of
																											approximately
																											100
																											nm
																											and
																											structured
																											with
																											the
																											aid
																											of
																											a
																											fifth
																											mask,
																											which
																											is
																											complementary
																											to
																											the
																											fourth
																											mask.
																		
			
				
																						Zur
																											Erzeugung
																											einer
																											zweiten
																											Hilfsstruktur
																											HS2,
																											wird
																											SiO
																											2
																											in
																											einer
																											Dicke
																											von
																											ca.
																											100nm
																											abgeschieden
																											und
																											mit
																											Hilfe
																											einer
																											zur
																											vierten
																											Maske
																											komplementären
																											fünften
																											Maske
																											strukturiert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											second
																											auxiliary
																											structure
																											HS2
																											is
																											in
																											strip
																											form
																											and
																											covers
																											the
																											semiconductor
																											structures
																											St3,
																											St4
																											of
																											the
																											third
																											transistor
																											and
																											of
																											the
																											fourth
																											transistor
																											and
																											also
																											surrounding
																											regions.
																		
			
				
																						Die
																											zweite
																											Hilfsstruktur
																											HS2
																											ist
																											streifenförmig
																											und
																											bedeckt
																											die
																											Halbleiterstrukturen
																											St3,
																											St4
																											des
																											dritten
																											Transistors
																											und
																											des
																											vierten
																											Transistors,
																											sowie
																											umliegende
																											Bereiche.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											its
																											interior,
																											casting
																											frame
																											20
																											also
																											has
																											an
																											auxiliary
																											structure
																											32
																											in
																											the
																											form
																											of
																											a
																											shoulder
																											running
																											around
																											the
																											side
																											walls
																											on
																											the
																											inside
																											close
																											to
																											the
																											edge.
																		
			
				
																						Der
																											Gußrahmen
																											20
																											weist
																											außerdem
																											nahe
																											der
																											Umrandung
																											in
																											seinem
																											Innenraum
																											eine
																											Hilfsstruktur
																											32
																											in
																											Form
																											eines
																											an
																											den
																											Seitenwänden
																											innen
																											rundum
																											laufenden
																											Absatzes
																											auf,
															 
				
		 EuroPat v2