Translation of "Carbon tetrafluoride" in German
																						For
																											example,
																											hydrocarbons
																											are
																											reacted
																											to
																											yield
																											carbon
																											tetrafluoride.
																		
			
				
																						Kohlenwasserstoffe
																											beispielsweise
																											werden
																											zu
																											Tetrafluorkohlenstoff
																											umgesetzt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											the
																											present
																											case,
																											carbon
																											tetrafluoride
																											(CF4)
																											was
																											used.
																		
			
				
																						Im
																											vorliegenden
																											Fall
																											wurde
																											Kohlenstofftetrafluorid
																											(CF
																											4)
																											eingesetzt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Fluorides
																											This
																											subheading
																											includes
																											the
																											following
																											compounds:
																											carbon
																											tetrafluoride
																											(tetrafluoromethane),
																											1,1difluoroethane,
																											tetrafluoroethylene,.
																											trifluoroethylene,
																											trifluoromethane.
																		
			
				
																						Hierher
																											gehören
																											z.B.
																											1,1Difluoräthan,
																											Kohlenstofftetrafluorid
																											(Tetrafluormethan),
																											Tetrafluoräthylen,
																											Trifluoräthylen
																											und
																											Trifluormethan.
															 
				
		 EUbookshop v2
			
																						Carbon
																											compounds
																											which
																											are
																											hydrocarbons
																											essentially
																											react
																											to
																											form
																											carbon
																											tetrafluoride.
																		
			
				
																						Kohlenstoffverbindungen
																											reagieren
																											im
																											wesentlichen
																											unter
																											Bildung
																											von
																											Kohlenstofftetrafluorid,
																											wenn
																											es
																											sich
																											um
																											Kohlenwasserstoffverbindungen
																											handelt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											process
																											according
																											to
																											the
																											invention
																											has
																											the
																											advantage
																											that
																											its
																											impurities
																											form
																											reaction
																											products
																											which
																											have
																											very
																											low
																											boiling
																											points
																											(e.g.
																											oxygen,
																											carbon
																											tetrafluoride),
																											metal
																											fluoro
																											complexes
																											having
																											a
																											vapor
																											pressures
																											which
																											are
																											not
																											detectable
																											at
																											the
																											boiling
																											point
																											of
																											hydrogen
																											fluoride,
																											as
																											well
																											as
																											HF
																											when
																											the
																											process
																											is
																											carried
																											out.
																		
			
				
																						Das
																											erfindungsgemäße
																											Verfahren
																											weist
																											den
																											Vorteil
																											auf,
																											daß
																											bei
																											seiner
																											Durchführung
																											aus
																											den
																											Verunreinigungen
																											Reaktionsprodukte
																											mit
																											sehr
																											niedrigem
																											Siedepunkt
																											(Sauerstoff,
																											Kohlenstofftetrafluorid),
																											Metallfluorokomplexe
																											mit
																											einem
																											bei
																											der
																											Siedetemperatur
																											von
																											Fluorwasserstoff
																											nicht
																											nachweisbaren
																											Dampfdruck
																											sowie
																											HF
																											entstehen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						For
																											this
																											purpose
																											a
																											plasma
																											etching
																											method
																											can
																											be
																											used
																											by
																											means
																											of
																											which
																											P+
																											-doped
																											silicon
																											is
																											etched
																											in
																											an
																											atmosphere
																											containing
																											carbon
																											tetrafluoride
																											with
																											an
																											etching
																											speed
																											between
																											approximately
																											20
																											and
																											approximately
																											40
																											nm/min.
																		
			
				
																						Dabei
																											einsetzbar
																											ist
																											ein
																											Plasmaätzverfahren,
																											mit
																											welchem
																											P
																											+-
																											dotiertes
																											Silicium
																											in
																											einer
																											Kohlenstofftetrafluorid
																											enthaltenden
																											Atmosphäre
																											mit
																											einer
																											Ätzgeschwindigkeit
																											im
																											Bereich
																											zwischen
																											etwa
																											20
																											und
																											ungefähr
																											40
																											nm/Minute
																											geätzt
																											werden
																											kann.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						At
																											this
																											point
																											plasma
																											etching
																											treatment
																											with
																											a
																											gas
																											mixture
																											of
																											carbon
																											tetrafluoride
																											and
																											oxygen
																											takes
																											place,
																											the
																											silicon
																											nitride
																											layer
																											and
																											the
																											silicon
																											dioxide
																											layer
																											being
																											removed.
																		
			
				
																						Nun
																											erfolgt
																											eine
																											Plasma-Ätzbehandlung
																											mit
																											einem
																											Gasgemisch
																											aus
																											Tetrafluorkohlenstoff
																											und
																											Sauerstoff
																											wobei
																											die
																											Siliziumnitridschicht
																											und
																											die
																											Silizumdioxidschicht
																											entfernt
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											is,
																											for
																											example,
																											a
																											nitrogen
																											fluoride,
																											sulfur
																											fluoride
																											or
																											carbon
																											fluoride
																											such
																											as
																											nitrogen
																											trifluoride
																											(NF3),
																											sulfur
																											hexafluoride
																											(SF6)
																											or
																											carbon
																											tetrafluoride
																											(CF4).
																		
			
				
																						Hierbei
																											handelt
																											es
																											sich
																											beispielsweise
																											um
																											ein
																											Stickstoff-,
																											Schwefel-
																											oder
																											Kohlenstofffluorid,
																											wie
																											Stickstofftrifluorid
																											(NF
																											3),
																											Schwefelhexafluorid
																											(SF
																											6)
																											oder
																											Kohlenstofftetrafluorid
																											(CF
																											4).
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											method
																											for
																											preparing
																											an
																											electrode
																											for
																											a
																											lithium
																											secondary
																											battery
																											of
																											Claim
																											1,
																											wherein
																											the
																											ion
																											beam
																											comprises
																											at
																											least
																											one
																											selected
																											from
																											the
																											group
																											consisting
																											of
																											argon,
																											oxygen,
																											nitrogen,
																											acetic
																											acid,
																											methane,
																											carbon
																											tetrafluoride,
																											silane,
																											ammonia
																											and
																											trimethyl
																											aluminum.
																		
			
				
																						Verfahren
																											zur
																											Herstellung
																											einer
																											Elektrode
																											für
																											eine
																											Lithium-Sekundärbatterie
																											gemäß
																											Anspruch
																											1,
																											worin
																											der
																											Ionenstrahl
																											zumindest
																											eines
																											umfasst,
																											ausgewählt
																											aus
																											der
																											Gruppe,
																											bestehend
																											aus
																											Argon,
																											Sauerstoff,
																											Stickstoff,
																											Essigsäure,
																											Methan,
																											Kohlenstofftetrafluorid,
																											Silan,
																											Ammoniak
																											und
																											Trimethylaluminium.
															 
				
		 EuroPat v2