Translation of "Cmos structure" in German
																						The
																											sensor
																											element
																											can
																											be
																											installed
																											with
																											a
																											CCD
																											with
																											a
																											CMOS
																											structure
																											on
																											a
																											common
																											semiconductor
																											substrate.
																		
			
				
																						Das
																											Sensorelement
																											kann
																											mit
																											einer
																											CCD
																											mit
																											CMOS-Struktur
																											auf
																											einem
																											gemeinsamen
																											Halbleitersubstrat
																											aufgebaut
																											sein.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						A
																											CMOS
																											semiconductor
																											structure
																											and
																											a
																											process
																											for
																											producing
																											the
																											structure
																											permit
																											particularly
																											simple,
																											self-aligned
																											contact-hole
																											etching.
																		
			
				
																						Mit
																											der
																											Erfindung
																											wird
																											eine
																											CMOS-Halbleiterstruktur
																											und
																											ein
																											Verfahren
																											zur
																											Herstellung
																											dieser
																											Struktur
																											geschaffen,
																											mit
																											dem
																											eine
																											besonders
																											einfache
																											selbstjustierte
																											Kontaktlochätzung
																											möglich
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Further
																											developments
																											of
																											the
																											invention,
																											in
																											particular
																											processes
																											for
																											the
																											formation
																											of
																											the
																											MOS
																											or
																											CMOS-structure
																											in
																											integrated
																											circuits,
																											are
																											described
																											below.
																		
			
				
																						Weitere
																											Ausgestaltungen
																											der
																											Erfindung,
																											insbesondere
																											Verfahren
																											zur
																											Realisierung
																											der
																											MOS-
																											bzw.
																											CMOS-Struktur
																											in
																											integrierten
																											Schaltungen
																											ergeben
																											sich
																											aus
																											den
																											Unteransprüchen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						An
																											optical
																											distance
																											measuring
																											device
																											operated
																											in
																											that
																											manner
																											contributes
																											to
																											a
																											significant
																											improvement
																											of
																											the
																											signal/noise
																											ratio,
																											and
																											can
																											be
																											realized
																											with
																											a
																											standard
																											CMOS
																											structure.
																		
			
				
																						Ein
																											solchermaßen
																											betriebener
																											optischer
																											Abstandsmesser
																											trägt
																											zu
																											einer
																											signifikanten
																											Verbesserung
																											des
																											Signal-zu-Rausch-Verhältnisses
																											bei,
																											und
																											kann
																											mit
																											einer
																											Standard-CMOS-Struktur
																											realisiert
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						A
																											corresponding
																											CMOS
																											structure
																											207
																											having
																											likewise
																											a
																											shielding,
																											p-doped
																											layer
																											207
																											?
																											situated
																											underneath
																											is
																											likewise
																											present.
																		
			
				
																						Eine
																											entsprechende
																											CMOS-Struktur
																											207
																											mit
																											einer
																											darunter
																											befindlichen,
																											ebenfalls
																											abschirmenden,
																											p-dotierten
																											Schicht
																											207'
																											ist
																											ebenso
																											vorhanden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											this
																											case,
																											the
																											CMOS
																											structure
																											of
																											the
																											second
																											amplifier
																											stage
																											B
																											is
																											equipped
																											with
																											PMOS
																											and
																											NMOS
																											transistor
																											structures,
																											which
																											are
																											designed
																											in
																											this
																											manner
																											with
																											a
																											1/f
																											noise
																											level
																											that
																											is
																											sufficiently
																											low
																											for
																											audio
																											application
																											so
																											that
																											additional
																											undesirable
																											phase
																											oscillations
																											occur
																											in
																											frequency
																											ranges
																											which
																											can
																											have
																											undesirable
																											influences
																											on
																											the
																											stability
																											of
																											the
																											entire
																											circuit.
																		
			
				
																						Dabei
																											weist
																											die
																											CMOS-Struktur
																											der
																											zweiten
																											Verstärkerstufe
																											B
																											PMOS-
																											und
																											NMOS-Transistorstrukturen
																											auf,
																											die,
																											um
																											für
																											Audioanwendungen
																											ausreichend
																											geringes
																											1/f-Rauschen
																											zu
																											erzielen,
																											so
																											ausgeführt
																											sind,
																											dass
																											dadurch
																											zusätzliche
																											unerwünschte
																											Phasendrehungen
																											in
																											Frequenzbereichen
																											entstehen,
																											die
																											unerwünschte
																											Einflüsse
																											auf
																											die
																											Stabilität
																											der
																											Gesamtschaltung
																											haben
																											kann.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											biochip
																											as
																											claimed
																											in
																											claim
																											5,
																											wherein
																											the
																											metal
																											electrode
																											is
																											electrically
																											conductively
																											connected
																											to
																											the
																											gate
																											contact
																											via
																											an
																											arrangement
																											of
																											metal
																											and
																											intermetal
																											layers
																											of
																											the
																											CMOS
																											semiconductor
																											structure.
																		
			
				
																						Biochip
																											nach
																											Anspruch
																											5
																											und
																											6,
																											wobei
																											die
																											Metallelektrode
																											über
																											eine
																											Anordnung
																											von
																											Metall-
																											und
																											Intermetallschichten
																											der
																											CMOS-Halbleiterstruktur
																											elektrisch
																											leitfähig
																											mit
																											dem
																											Gatekontakt
																											verbunden
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						At
																											the
																											same
																											time,
																											the
																											difference
																											amplifier
																											of
																											the
																											second
																											amplifier
																											stage
																											B,
																											which
																											is
																											formed
																											by
																											the
																											first
																											p-channel
																											CMOS
																											transistor
																											structure
																											P
																											1
																											and
																											the
																											second
																											p-channel
																											CMOS
																											transistor
																											structure
																											P
																											2,
																											has
																											a
																											first
																											output
																											formed
																											of
																											the
																											drain
																											terminal
																											of
																											the
																											first
																											p-channel
																											CMOS
																											transistor
																											structure
																											P
																											1,
																											which
																											is
																											further
																											connected
																											to
																											the
																											gate
																											terminal
																											of
																											the
																											eighth
																											p-channel
																											CMOS
																											transistor
																											structure
																											P
																											8,
																											and
																											has
																											a
																											second
																											output
																											formed
																											by
																											the
																											drain
																											terminal
																											of
																											the
																											second
																											p-channel
																											CMOS
																											transistor
																											structure
																											P
																											2,
																											which
																											is
																											further
																											connected
																											to
																											the
																											gate
																											terminal
																											of
																											the
																											seventh
																											p-channel
																											CMOS
																											transistor
																											structure
																											P
																											7,
																											wherein
																											the
																											connections
																											known
																											from
																											FIG.
																											1
																											are
																											formed
																											between
																											the
																											outputs
																											of
																											the
																											second
																											amplifier
																											stage
																											B
																											and
																											the
																											inputs
																											of
																											the
																											second
																											input
																											stage
																											4
																											of
																											the
																											first
																											amplifier
																											stage
																											A.
																		
			
				
																						Dabei
																											ist
																											der
																											ersten
																											Ausgang
																											des
																											aus
																											der
																											ersten
																											p-Kanal
																											CMOS-Transistorstruktur
																											P1
																											und
																											der
																											zweiten
																											p-Kanal
																											CMOS-Transistorstruktur
																											P2
																											gebildeten
																											Differenzverstärkers
																											der
																											zweiten
																											Verstärkerstufe
																											B,
																											der
																											aus
																											dem
																											Drain-Anschluss
																											der
																											ersten
																											p-Kanal
																											CMOS-Transistorstruktur
																											P1
																											gebildet
																											wird,
																											weiterhin
																											verbunden
																											mit
																											dem
																											Gate-Anschluss
																											der
																											achten
																											p-Kanal
																											CMOS-Transistorstruktur
																											P8
																											und
																											der
																											zweite
																											Ausgang
																											des
																											aus
																											der
																											ersten
																											p-Kanal
																											CMOS-Transistorstruktur
																											P1
																											und
																											der
																											zweiten
																											p-Kanal
																											CMOS-Transistorstruktur
																											P2
																											gebildeten
																											Differenzverstärkers
																											der
																											zweiten
																											Verstärkerstufe
																											B,
																											der
																											aus
																											dem
																											Drain-Anschluss
																											der
																											zweiten
																											p-Kanal
																											CMOS-Transistorstruktur
																											P2
																											gebildet
																											wird
																											ist
																											weiterhin
																											verbunden
																											mit
																											dem
																											Gate-Anschluss
																											der
																											siebten
																											p-Kanal
																											CMOS-Transistorstruktur
																											P7,
																											wodurch
																											die
																											aus
																											Fig.1
																											bekannten
																											Verbindungen
																											zwischen
																											den
																											Ausgängen
																											der
																											zweiten
																											Verstärkerstufe
																											B
																											und
																											den
																											Eingängen
																											der
																											zweiten
																											Eingangsstufe
																											4
																											der
																											ersten
																											Verstärkerstufe
																											A
																											gebildet
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Electrical
																											structures,
																											preferably
																											a
																											CMOS
																											circuit,
																											can
																											then
																											be
																											formed
																											on
																											the
																											front
																											side
																											in
																											the
																											processing,
																											said
																											CMOS
																											circuit
																											structure
																											representing
																											one
																											or
																											more
																											sensors
																											and/or
																											electrically
																											controllable
																											elements.
																											(3).
																		
			
				
																						So
																											können
																											bei
																											der
																											Prozessierung
																											dann
																											auf
																											der
																											Vorderseite
																											elektrische
																											Strukturen,
																											bevorzugt
																											eine
																											CMOS-Schaltungsstruktur
																											ausgebildet
																											werden,
																											die
																											einen
																											oder
																											mehrere
																											Sensoren
																											und/oder
																											elektrisch
																											ansteuerbare
																											Elemente(3)
																											darstellt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						With
																											the
																											heavily
																											improved
																											image
																											quality
																											thanks
																											to
																											low
																											noise,
																											low
																											dark
																											current
																											characteristics
																											and
																											a
																											high
																											dynamic
																											range
																											combined
																											with
																											Global
																											Shutter,
																											high
																											quantum
																											efficiency,
																											much
																											higher
																											frames
																											rates,
																											no
																											blooming
																											or
																											smearing
																											effects
																											and
																											at
																											least
																											a
																											better
																											cost
																											structure
																											CMOS
																											is
																											cutting-edge
																											technology.
																		
			
				
																						Mit
																											der
																											deutlich
																											verbesserten
																											Bildqualität
																											durch
																											niedriges
																											Rauschen,
																											geringem
																											Dunkelstrom
																											und
																											hohem
																											Dynamikbereich
																											in
																											Kombination
																											mit
																											Global
																											Shutter,
																											einer
																											hohen
																											Quanteneffizienz,
																											höheren
																											Bildfrequenzen,
																											keine
																											Blooming
																											oder
																											Smear-Effekte
																											sowie
																											einer
																											verbesserten
																											Kostenstruktur
																											ist
																											CMOS
																											eine
																											zukunftsweisende
																											Technologie.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						This
																											can
																											involve
																											typical
																											CMOS
																											structures.
																		
			
				
																						Hierbei
																											kann
																											es
																											sich
																											um
																											typische
																											CMOS-Strukturen
																											handeln.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						CMOS
																											structural
																											components
																											can
																											thus
																											be
																											integrated
																											in
																											a
																											simple
																											way
																											into
																											the
																											substrate
																											of
																											the
																											electrode.
																		
			
				
																						In
																											das
																											Substrat
																											der
																											Elektrode
																											können
																											somit
																											auf
																											einfache
																											Weise
																											CMOS-Bauelemente
																											integriert
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Generally,
																											by
																											way
																											of
																											example,
																											as
																											described
																											above,
																											CMOS
																											structures
																											can
																											be
																											used
																											as
																											image
																											sensors
																											156
																											.
																		
			
				
																						Allgemein
																											lassen
																											sich
																											als
																											Bildsensoren
																											156
																											beispielsweise,
																											wie
																											oben
																											beschrieben,
																											CMOS-Strukturen
																											einsetzen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Of
																											particular
																											interest
																											for
																											developers
																											of
																											integrated
																											circuits
																											is
																											testing
																											of
																											CMOS
																											structures
																											with
																											respect
																											to
																											a
																											behavior
																											known
																											as
																											the
																											latch-up
																											effect.
																		
			
				
																						Von
																											besonderem
																											Interesse
																											für
																											den
																											Entwickler
																											von
																											integrierten
																											Schaltungen
																											ist
																											die
																											Untersuchung
																											von
																											CMOS-Strukturen
																											auf
																											ihr
																											Verhalten
																											gegenüber
																											dem
																											sog.
																											Latch-up-Effekt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											compatibility
																											criteria
																											primarily
																											includes
																											purity
																											of
																											certain
																											chemical
																											elements
																											(primarily
																											the
																											CMOS
																											structures)
																											and
																											mechanical
																											loading
																											capacity,
																											especially
																											for
																											loads
																											arising
																											from
																											thermal
																											stresses.
																		
			
				
																						Zu
																											den
																											Kompatibilitätskriterien
																											zählen
																											vor
																											allem
																											die
																											Reinheit
																											an
																											gewissen
																											chemischen
																											Elementen
																											(vor
																											allem
																											bei
																											CMOS
																											Strukturen),
																											mechanische
																											Belastbarkeit,
																											vor
																											allem
																											durch
																											Thermospannungen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Compatibility
																											criteria
																											include
																											mainly
																											the
																											purity
																											of
																											certain
																											chemical
																											elements
																											(mainly
																											in
																											CMOS
																											structures)
																											and
																											mechanical
																											loadability,
																											mainly
																											by
																											thermal
																											stresses.
																		
			
				
																						Zu
																											den
																											Kompatibilitätskriterien
																											zählen
																											vor
																											allem
																											die
																											Reinheit
																											an
																											gewissen
																											chemischen
																											Elementen
																											(vor
																											allem
																											bei
																											CMOS
																											Strukturen),
																											mechanische
																											Belastbarkeit,
																											vor
																											allem
																											durch
																											Thermospannungen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											order
																											to
																											eliminate
																											the
																											influence
																											of
																											the
																											(vertical)
																											cavity
																											wall
																											11
																											which
																											is
																											difficult
																											to
																											adjust
																											with
																											respect
																											to
																											the
																											CMOS
																											structures,
																											it
																											is
																											important
																											to
																											observe
																											a
																											distance
																											between
																											the
																											outer
																											edge,
																											i.e.
																											the
																											outer
																											edge
																											closest
																											to
																											the
																											cavity
																											wall
																											11,
																											of
																											the
																											race
																											track
																											system
																											14
																											formed
																											in
																											the
																											(upper)
																											surface
																											is
																											of
																											the
																											membrane
																											2
																											and
																											the
																											cavity
																											wall
																											11
																											.
																		
			
				
																						Um
																											den
																											Einfluss
																											der
																											(vertikalen)
																											Kavitätswand
																											11,
																											die
																											schlecht
																											gegenüber
																											den
																											CMOS-Strukturen
																											justiert
																											werden
																											kann,
																											zu
																											eliminieren,
																											ist
																											es
																											wichtig,
																											dass
																											zwischen
																											der
																											zur
																											Kavitätswand
																											11
																											nächstbenachbart
																											angeordneten
																											Außenkante
																											des
																											in
																											der
																											einen
																											(Ober-)Seite
																											1a
																											der
																											Membran
																											2
																											ausgebildeten
																											Grabensystems
																											14
																											und
																											der
																											Kavitätswand
																											11
																											ein
																											Abstand
																											eingehalten
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Compatibility
																											criteria
																											include
																											mainly
																											the
																											purity
																											of
																											the
																											chemical
																											elements
																											(mainly
																											in
																											CMOS
																											structures)
																											and
																											mechanical
																											loadability,
																											mainly
																											by
																											thermal
																											stresses.
																		
			
				
																						Zu
																											den
																											Kompatibilitätskriterien
																											zählen
																											vor
																											allem
																											die
																											Reinheit
																											an
																											gewissen
																											chemischen
																											Elementen
																											(vor
																											allem
																											bei
																											CMOS
																											Strukturen),
																											mechanische
																											Belastbarkeit,
																											vor
																											allem
																											durch
																											Thermospannungen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											the
																											case
																											of
																											the
																											semiconductor
																											structure
																											according
																											to
																											the
																											invention,
																											the
																											guard
																											ring
																											makes
																											it
																											possible
																											for
																											depletion
																											to
																											take
																											place
																											laterally
																											with
																											respect
																											to
																											the
																											guard
																											ring,
																											that
																											is
																											to
																											say
																											that
																											a
																											depletion
																											zone
																											can
																											be
																											formed,
																											such
																											that
																											the
																											contact
																											region
																											is
																											shielded
																											from
																											other
																											regions
																											such
																											as,
																											if
																											appropriate,
																											CMOS
																											structures
																											or
																											sensor
																											structures.
																		
			
				
																						Bei
																											der
																											erfindungsgemäßen
																											Halbleiterstrurktur
																											ermöglicht
																											der
																											Guardring,
																											dass
																											seitlich
																											des
																											Guardrings
																											eine
																											Verarmung
																											erfolgt,
																											d.h.
																											es
																											kann
																											eine
																											Verarmungszone
																											gebildet
																											werden,
																											sodass
																											der
																											Kontaktbereich
																											von
																											übrigen
																											Bereichen
																											wie
																											gegebenenfalls
																											CMOS-Strukturen
																											bzw.
																											Sensorstrukturen
																											abgeschirmt
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											corresponding
																											shielding
																											also
																											brings
																											about
																											a
																											shielding
																											from
																											noise
																											or
																											from
																											additional
																											effects
																											as
																											a
																											result
																											of
																											the
																											contact-connection
																											of
																											the
																											contact
																											region
																											with
																											regard
																											to
																											possible
																											contact-connections
																											of
																											the
																											further
																											regions,
																											for
																											example
																											of
																											the
																											CMOS
																											structures.
																		
			
				
																						Die
																											entsprechende
																											Abschirmung
																											bewirkt
																											auch
																											eine
																											Abschirmung
																											von
																											Rauschen
																											oder
																											von
																											zusätzlichen
																											Effekten
																											durch
																											die
																											Kontaktierung
																											des
																											Kontaktbereiches
																											in
																											Bezug
																											auf
																											etwaige
																											Kontaktierungen
																											der
																											weiteren
																											Bereiche,
																											beispielsweise
																											der
																											CMOS-Strukturen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Since
																											the
																											manufacturing
																											facilities
																											required
																											for
																											mask
																											technology
																											are
																											costly
																											and
																											expensive,
																											these
																											same
																											manufacturing
																											facilities
																											are
																											used
																											customarily
																											for
																											the
																											manufacturing
																											of
																											the
																											lower
																											layers
																											containing
																											CMOS
																											structural
																											components,
																											as
																											they
																											are
																											for
																											the
																											layers
																											near
																											the
																											surface.
																		
			
				
																						Da
																											die
																											für
																											die
																											Maskentechnik
																											benötigten
																											Fertigungsanlagen
																											aufwendig
																											und
																											teuer
																											sind,
																											werden
																											nämlich
																											üblicherweise
																											zum
																											Herstellen
																											der
																											unteren,
																											die
																											CMOS-Bauelemente
																											enthaltenden
																											Schichten
																											dieselben
																											Fertigungsanlagen
																											verwendet,
																											wie
																											für
																											die
																											oberflächennahen
																											Schichten.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						However,
																											the
																											increasing
																											miniaturization
																											of
																											integrated
																											amplifier
																											circuits
																											in
																											CMOS
																											technology,
																											combined
																											with
																											complex
																											integrated
																											solutions
																											in
																											the
																											arrangement
																											of
																											individual
																											circuits,
																											lead
																											to
																											a
																											further
																											reduction
																											of
																											the
																											spatial
																											dimension
																											of
																											the
																											CMOS
																											structures
																											which
																											are
																											realized
																											in
																											this
																											manner,
																											typically
																											on
																											the
																											order
																											of
																											0.35
																											?m
																											and
																											less.
																		
			
				
																						Die
																											zunehmende
																											Miniaturisierung
																											integrierter
																											Verstärkerschaltungen
																											in
																											CMOS-Technologie,
																											auch
																											in
																											Verbindung
																											mit
																											komplexeren
																											Gesamtlösungen
																											in
																											einer
																											einzelnen
																											integrierten
																											Schaltungsanordnung,
																											führt
																											jedoch
																											zu
																											einer
																											weiteren
																											Verringerung
																											der
																											räumlichen
																											Ausdehnung
																											der
																											dabei
																											realisierten
																											CMOS-Strukturen,
																											typischerweise
																											im
																											Bereich
																											von
																											0,35
																											µm
																											und
																											darunter.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											contact
																											hole
																											is
																											subsequently
																											provided
																											with
																											an
																											insulating
																											contact
																											hole
																											filling
																											KF,
																											and
																											the
																											remaining
																											surface
																											of
																											the
																											semiconductor
																											body
																											is
																											provided
																											with
																											a
																											second
																											passivation
																											layer
																											PS
																											2
																											in
																											order
																											to
																											protect
																											the
																											CMOS
																											structures.
																		
			
				
																						Anschließend
																											kann
																											das
																											Kontaktloch
																											mit
																											einer
																											isolierenden
																											Kontaktlochfüllung
																											KF
																											versehen
																											werden
																											und
																											die
																											übrige
																											Oberfläche
																											des
																											Halbleiterkörpers
																											mit
																											einer
																											zweiten
																											Passivierungsschicht
																											PS2
																											zum
																											Schutz
																											der
																											CMOS-Strukturen
																											versehen
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2