Translation of "Crystal plane" in German
The
(100)
crystal
plane
is
in
this
case
parallel
to
the
plane
of
the
drawing.
Die
(100)-Kristallebene
liegt
hier
parallel
zur
Zeichnungsebene.
EuroPat v2
The
outer
surfaces
of
the
diaphragms
extend
parallel
to
the
(100)
crystal
plane.
Die
Außenflächen
der
Membranen
liegen
parallel
zur
(100)-Kristallebene.
EuroPat v2
Their
angle
with
respect
to
the
(100)
crystal
plane
of
the
substrate
surface
of
the
silicon
is
54.7°
on
all
sides.
Ihr
Winkel
zu
der
(100)-Kristallebene
der
Substratoberfläche
des
Siliziums
beträgt
allseitig
54,7°.
EuroPat v2
This
base,
being
situated
in
the
(111)
crystal
plane,
contains
the
outer
surface
of
the
diaphragm.
Diese
Grundfläche,
die
in
der
(111)-Kristallebene
liegt,
beinhaltet
die
Außenfläche
der
Membran.
EuroPat v2
To
reduce
the
light
reflection,
the
groove
bottom
in
particular
and
if
necessary
the
walls,
at
least
in
some
areas,
can
be
specially
structured
additionally,
with
the
known
texturing
method
using
an
etchant
preferably
removing
a
certain
crystal
plane
being
shown
only
as
an
example.
Zur
Verringerung
der
Lichtreflexion
können
insbesondere
Grabenboden
und
gegebenenfalls
zumindest
bereichsweise
Wände
noch
besonders
strukturiert
sein,
wobei
die
bekannte
Texturierung
mittels
einer
eine
bestimmte
Kristallebene
bevorzugt
abtragenden
Ätze
nur
als
Beispiel
angeführt
werden
soll.
EuroPat v2
The
ordinary
ray
is
defined
as
light
which
is
polarized
perpendicular
to
the
primary
crystal-plane
(primary
cleavage-plane),
while
the
extraordinary
ray
is
polarized
parallel
to
the
primary
crystal-plane.
Als
ordentlicher
Strahl
wird
Licht
bezeichnet,
welches
senkrecht
zur
Hauptschnittebene
polarisiert
ist,
während
der
außerordentliche
Strahl
parallel
zu
der
Hauptschnittebene
polarisiert
ist.
EuroPat v2
The
primary
crystal-plane
is
defined
by
the
incidence
angle
of
the
light-ray
and
the
optical
axis
of
the
crystal.
Die
Hauptschnittebene
des
Kristalls
ist
durch
die
Einfallsrichtung
des
Lichtstrahles
und
die
optische
Achse
des
Kristalls
definiert.
EuroPat v2
It
thus
becomes
clear
that
all
of
the
recesses
5
to
8
can
be
introduced
into
the
substrate
parts
3
and
4
from
the
(100)
crystal
plane.
Somit
wird
ersichtlich,
dass
sämtliche
Ausnehmungen
5
bis
8
von
der
(100)-Kristallebene
aus
in
die
Substratteile
3
und
4
eingebracht
sein
können.
EuroPat v2
In
a
preferred
exemplary
embodiment,
the
connecting
duct
has
at
least
one
partial
duct
perpendicular
to
the
second
crystal
plane,
the
squirting-out
opening
being
formed
by
the
orifice
of
the
said
partial
duct.
Bei
einem
bevorzugten
Ausführungsbeispiel
weist
der
Verbindungskanal
zumindest
einen
senkrecht
zur
zweiten
Kristallebene
liegenden
Teilkanal
auf,
dessen
Mündung
die
Ausspritzöffnung
bildet.
EuroPat v2
In
this
exemplary
embodiment,
the
connecting
ducts
12
and,
respectively,
feeding
ducts
10
are
oriented
approximately
perpendicularly
to
the
second
crystal
plane
24
?.
Die
Verbindungskanäle
12
beziehungsweise
Zuführkanäle
10
sind
in
diesem
Ausführungsbeispiel
etwa
senkrecht
zu
der
zweiten
Kristallebene
24'
ausgerichtet.
EuroPat v2
The
effect
achieved
as
a
result
of
this
arrangement
is
that
the
medium
flowing
from
the
medium
supply
chamber
9
flows
through
the
medium
chambers
11
diagonally
since
the
longitudinal
extent
of
the
medium
chamber
11
is
at
an
angle
of
45°
with
respect
to
the
second
crystal
plane
24
.
Durch
diese
Anordnung
wird
erreicht,
dass
das
aus
der
Mediumversorgungskammer
9
strömende
Medium
die
Mediumkammern
11
diagonal
durchströmt,
da
die
Längserstreckung
der
Mediumkammer
11
unter
einem
Winkel
von
45°
zur
zweiten
Kristallebene
24
liegt.
EuroPat v2
Accordingly,
as
shown
in
FIG.
10,
the
feeding
ducts
and,
respectively,
connecting
ducts
are
oriented
at
an
angle
of
preferably
45°
with
respect
to
this
second
crystal
plane
24,
so
that
in
this
exemplary
embodiment,
too,
it
is
ensured
that
the
medium
flows
through
the
medium
chambers
11
essentially
diagonally.
Entsprechend
sind
gemäss
Figur
10
die
Zuführkanäle
beziehungsweise
Verbindungskanäle
in
einem
Winkel
von
vorzugsweise
45°
zu
dieser
zweiten
Kristallebene
24
ausgerichtet,
so
dass
auch
bei
diesem
Ausführungsbeispiel
gewährleistet
ist,
dass
die
Mediumkammern
11
im
wesentlichen
diagonal
von
dem
Medium
durchströmt
werden.
EuroPat v2
FIG.
10
also
shows
that
the
connecting
duct
12
comprises
partial
ducts
27
and
28,
which
merge
with
one
another,
one
partial
duct
27
being
at
an
angle
of
45°
with
respect
to
the
second
crystal
plane
24
.
In
Figur
10
ist
noch
dargestellt,
dass
der
Verbindungskanal
12
Teilkanäle
27
und
28
umfasst,
die
ineinander
übergehen,
wobei
der
eine
Teilkanal
27
im
Winkel
von
45°
zu
der
zweiten
Kristallebene
24
liegt
und
der
andere
Teilkanal
28
im
wesentlichen
rechtwinklig
zu
dieser
zweiten
Kristallebene
24
ausgerichtet
ist.
EuroPat v2
For
the
sake
of
clarity,
the
representation
has
been
greatly
simplified,
for
example
in
that
only
one
plane
is
shown
and
in
that
one
crystal
plane
of
all
the
single
crystals
represented
is
in
that
plane,
which
is
not
the
case
in
reality.
Der
Übersichtlichkeit
halber
wurde
die
Darstellung
stark
vereinfacht,
beispielsweise
dadurch,
daß
nur
eine
Ebene
gezeigt
ist
und
daß
eine
Kristallebene
aller
dargestellten
Einkristallite
in
dieser
Ebene
liegt,
was
in
Wirklichkeit
nicht
der
Fall
ist.
EuroPat v2
In
other
words,
four
pyramidally
inclined
side
walls
S
of
a
recess
5
to
8
are
at
an
angle
of
54.7°
with
respect
to
the
(100)
crystal
plane.
Das
heißt,
dass
vier
pyramidal
schräg
verlaufende
Seitenwände
S
einer
Ausnehmung
5
bis
8
zur
(100)-Kristallebene
unter
einem
Winkel
von
54,7°
liegen.
EuroPat v2
If
other
etching
processes
or
material-removing
processes
are
employed,
the
side
walls
S
may
also
be
at
a
different
angle,
in
particular
perpendicular,
with
respect
to
the
(100)
crystal
plane.
Werden
andere
Ätzverfahren
oder
Material
abtragende
Verfahren
angewandt,
können
die
Seitenwände
S
auch
in
einem
anderen
Winkel,
insbesondere
senkrecht,
zur
(100)-Kristallebene
liegen.
EuroPat v2
According
to
a
preferred
exemplary
embodiment,
the
medium
chamber,
the
feeding
duct,
the
squirting-out
opening
and
the
medium
supply
chamber
are
introduced
from
the
(100)
crystal
plane
or
a
plane
of
the
silicon
that
is
parallel
thereto,
so
that
the
side
walls
for
the
said
recesses
are
present
at
the
abovementioned
angle
of
54.7°.
Nach
einem
bevorzugten
Ausführungsbeispiel
werden
die
Mediumkammer,
der
Zuführkanal,
die
Ausspritzöffnung
und
die
Mediumversorgungskammer
von
der
(100)-Kristallebene
oder
einer
parallel
dazu
liegenden
Ebene
des
Siliziums
her
eingebracht,
so
dass
die
Seitenwandungen
für
diese
Ausnehmungen
in
dem
vorstehend
erwähnten
Winkel
von
54,7°
vorliegen.
EuroPat v2
The
side
walls
S
of
the
recesses
5
and
26
may
form
a
virtually
arbitrary
angle
with
the
(100)
crystal
plane.
Die
Seitenwände
S
der
Ausnehmungen
5
und
26
können
mit
der
(100)-Kristallebene
einen
nahezu
beliebigen
Winkel
einschließen.
EuroPat v2
As
a
result,
the
drops
ejected
from
the
squirting-out
openings
13
are
squirted
out
essentially
at
right
angles
to
the
said
second
crystal
plane
24
.
Dadurch
werden
die
aus
den
Ausspritzöffnungen
13
ausgebrachten
Tropfen
im
wesentlichen
rechtwinklig
zu
dieser
zweiten
Kristallebene
24
ausgespritzt.
EuroPat v2