Translation of "Edge location" in German
By
a
rough
rule
of
thumb,
the
maximum
edge
location
error
amounts
to
one-third
the
above-defined
minimum
design
rule.
Nach
einer
groben
Faustregel
beträgt
der
maximale
Kantenlagefehler
ein
Drittel
der
oben
definierten
minimalen
Entwurfsregel.
EuroPat v2
The
assumption
is
that
no
edge
location
errors
have
occurred
in
the
production
of
the
contact
holes
5.
Es
wird
angenommen,
daß
bei
der
Herstellung
der
Kontaktlöcher
5
keine
Kantenlagefehler
aufgetreten
sind.
EuroPat v2
However,
such
switches
are
ineffective
when
an
obstacle
such
as
a
car
or
other
vehicle
runs
into
the
door
being
closed
outside
the
edge
or
location
in
which
such
switches
are
located.
Solche
an
sich
empfindlichen
Fühler
sind
überall
anbringbar
und
nicht
wirksam,
wenn
ein
Hindernis,
beispielsweise
ein
Wagen,
außerhalb
der
mit
dem
Fühler
versehenen
Kante
in
das
sich
schließende
Torblatt
hineinfährt.
EuroPat v2
This
object
is
achieved
according
to
the
invention
by
the
fact
that
the
tilting
element
is
provided
with
a
radially
projecting
collar
whose
peripheral
edge
constituting
the
location
of
the
center
of
rotation
is
spaced
vertically
from
the
contact
surface
and
that
the
tilting
element
consists
of
a
ferromagnetic
material
and
the
holding
means
comprises
a
magnet
with
axial
magnetization
on
which
the
tilting
element
is
supported
in
its
first
operating
position.
Diese
Aufgabe
wird
erfindungsgemäß
dadurch
gelöst,
daß
der
umlaufende
Rand
des
radial
vorspringenden
Kragens
einen
vertikalen
Abstand
von
der
Aufstandsfläche
hat,
und
daß
das
Kippteil
aus
einem
ferromagnetischen
Material
besteht
und
die
Haltemittel
einen
Magneten
mit
axialer
Magnetisierung
aufweisen,
auf
dem
das
Kippteil
in
der
ersten
Arbeitsstellung
aufsitzt.
EuroPat v2
In
knife
unit
A,
the
first
measurement
transducer
12
measures
a
distance
II
between
cutting
edge
11
and
reference
point
13
(likewise
the
right
edge
of
location
marker
15).
Der
erste
Meßwertgeber
12
ermittelt
bei
der
Messereinheit
A
eine
Entfernung
II
zwischen
der
Schneidkante
11
und
dem
Fixpunkt
13
(ebenfalls
gleich
der
rechten
Kante
der
Ortsmarke
15).
EuroPat v2
This
prevents
the
occurrence
along
the
primary
cutting
edge
of
stress
peaks
that
increase
the
likelihood
of
premature
failure
of
the
primary
cutting
edge
at
that
location.
Auf
diese
Weise
entstehen
entlang
der
Hauptschneide
keine
Spannungsspitzen,
die
die
Wahrscheinlichkeit
eines
vorzeitigen
Versagens
der
Hauptschneide
an
dieser
Stelle
erhöhen.
EuroPat v2
If
the
contact
surfaces
have
the
form
just
described,
then
a
semiconductor
array
with
minimum
pitch
can
be
achieved,
since
misadjustments
of
up
to
the
order
of
magnitude
of
the
maximum
edge
location
error
are
easily
possible
in
the
production
of
the
contact
holes
(which,
as
described,
have
a
length
on
the
order
of
magnitude
of
the
minimum
design
rule
a
in
the
first
lateral
direction),
without
causing
undesired
short
circuits
between
the
structures
to
be
made.
Weisen
die
Kontaktflachen
die
soeben
geschilderte
Gestalt
auf,
läßt
sich
eine
Halbleiteranordnung
im
Minimalraster
realisieren,
da
Fehljustierungen
bis
in
die
Größenordnung
des
maximalen
Kantenlagefehlers
bei
der
Herstellung
der
Kontaktlöcher
(die
wie
beschrieben
in
der
ersten
lateralen
Richtung
eine
Ausdehnung
in
der
Größe
der
minimalen
Entwurfsregel
a
haben)
ohne
weiteres
möglich
sind,
ohne
daß
ungewünschte
Kurzschlüsse
zwischen
den
herzustellenden
Strukturen
auftreten.
EuroPat v2
The
width
of
the
overlap
zone
must
accordingly
be
equivalent
to
at
least
the
maximum
edge
location
error,
so
that
misadjustments
will
not
cause
the
two
fragments
4',
4"
to
fail
to
overlap,
ensuring
that
a
common
contact
surface
4
can
be
formed.
Die
Breite
der
Überlappungszone
muß
also
mindestens
dem
maximalen
Kantenlagefehler
entsprechen,
damit
Fehljustagen
nicht
dazu
führen,
daß
die
beiden
Teilstücke
4',
4"
sich
nicht
überlappen,
um
eine
gemeinsame
Kontaktfläche
4
zu
bilden.
EuroPat v2
In
this
case,
it
is
advantageous
if
the
contact
surfaces
4
extend
above
the
insulated
regions
3
over
a
length
of
twice
the
maximum
edge
location
error.
In
diesem
Fall
ist
es
vorteilhaft,
wenn
die
Kontaktflachen
4
sich
in
einer
Länge
des
Doppelten
des
maximalen
Kantenlagefehlers
über
den
isolierten
Bereichen
3
erstrecken.
EuroPat v2
Since
the
spacing
between
the
contact
surfaces
4
is
everywhere
equal
to
at
least
the
maximum
edge
location
error,
their
adjustment
is
likewise
uncritical.
Da
der
Abstand
zwischen
den
Kontaktflachen
4
überall
mindestens
gleich
dem
maximalen
Kantenlagefehler
ist,
ist
ihre
Justierung
ebenfalls
unkritisch.
EuroPat v2
In
this
structure,
the
contact
surfaces
have
a
length
in
the
first
lateral
direction
that
is
equal
to
the
length
of
the
contact
holes
(equals
minimum
design
rule),
plus
twice
the
maximum
edge
location
error.
Die
Kontaktflächen
haben
bei
dieser
Ausführungsform
der
Erfindung
eine
Ausdehnung
in
der
ersten
lateralen
Richtung,
die
der
Ausdehnung
der
Kontaktlöcher
(=
minimale
Entwurfsregel)
zuzüglich
des
Zweifachen
des
maximalen
Kantenlagefehlers
entspricht.
EuroPat v2
However,
since
that
fragment
according
to
the
invention
overlaps
the
first
fragment
by
the
length
of
the
maximum
edge
location
error
and
is
equally
far
away
from
the
next
contact
surface,
it
is
assured
that
even
if
the
contact
surfaces
are
produced
with
minimum
pitch,
short
circuits
will
not
occur
between
them.
Da
dieses
aber
erfindungsgemäß
um
die
Länge
des
maximalen
Kantenlagefehlers
das
erste
Teilstück
überlappt
und
ebensoweit
von
der
nächsten
Kontaktfläche
entfernt
ist,
ist
gewährleistet,
daß
es
auch
bei
der
Erzeugung
der
Kontaktflächen
im
Minimalraster
nicht
zu
Kurzschlüssen
zwischen
diesen
kommt.
EuroPat v2
To
that
end,
the
polysilicon
must
accordingly
be
applied,
as
measured
from
the
respective
insulated
region
3,
for
at
least
the
maximum
edge
location
error,
including
above
the
doped
region
2.
Dazu
muß
das
Polysilizium
also,
gemessen
vom
jeweiligen
isolierten
Bereich
3,
mindestens
um
den
maximalen
Kantenlagefehler
auch
über
dem
dotierten
Bereich
2
aufgebracht
werden.
EuroPat v2