Translation of "Edge location" in German
																						By
																											a
																											rough
																											rule
																											of
																											thumb,
																											the
																											maximum
																											edge
																											location
																											error
																											amounts
																											to
																											one-third
																											the
																											above-defined
																											minimum
																											design
																											rule.
																		
			
				
																						Nach
																											einer
																											groben
																											Faustregel
																											beträgt
																											der
																											maximale
																											Kantenlagefehler
																											ein
																											Drittel
																											der
																											oben
																											definierten
																											minimalen
																											Entwurfsregel.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											assumption
																											is
																											that
																											no
																											edge
																											location
																											errors
																											have
																											occurred
																											in
																											the
																											production
																											of
																											the
																											contact
																											holes
																											5.
																		
			
				
																						Es
																											wird
																											angenommen,
																											daß
																											bei
																											der
																											Herstellung
																											der
																											Kontaktlöcher
																											5
																											keine
																											Kantenlagefehler
																											aufgetreten
																											sind.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						However,
																											such
																											switches
																											are
																											ineffective
																											when
																											an
																											obstacle
																											such
																											as
																											a
																											car
																											or
																											other
																											vehicle
																											runs
																											into
																											the
																											door
																											being
																											closed
																											outside
																											the
																											edge
																											or
																											location
																											in
																											which
																											such
																											switches
																											are
																											located.
																		
			
				
																						Solche
																											an
																											sich
																											empfindlichen
																											Fühler
																											sind
																											überall
																											anbringbar
																											und
																											nicht
																											wirksam,
																											wenn
																											ein
																											Hindernis,
																											beispielsweise
																											ein
																											Wagen,
																											außerhalb
																											der
																											mit
																											dem
																											Fühler
																											versehenen
																											Kante
																											in
																											das
																											sich
																											schließende
																											Torblatt
																											hineinfährt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											object
																											is
																											achieved
																											according
																											to
																											the
																											invention
																											by
																											the
																											fact
																											that
																											the
																											tilting
																											element
																											is
																											provided
																											with
																											a
																											radially
																											projecting
																											collar
																											whose
																											peripheral
																											edge
																											constituting
																											the
																											location
																											of
																											the
																											center
																											of
																											rotation
																											is
																											spaced
																											vertically
																											from
																											the
																											contact
																											surface
																											and
																											that
																											the
																											tilting
																											element
																											consists
																											of
																											a
																											ferromagnetic
																											material
																											and
																											the
																											holding
																											means
																											comprises
																											a
																											magnet
																											with
																											axial
																											magnetization
																											on
																											which
																											the
																											tilting
																											element
																											is
																											supported
																											in
																											its
																											first
																											operating
																											position.
																		
			
				
																						Diese
																											Aufgabe
																											wird
																											erfindungsgemäß
																											dadurch
																											gelöst,
																											daß
																											der
																											umlaufende
																											Rand
																											des
																											radial
																											vorspringenden
																											Kragens
																											einen
																											vertikalen
																											Abstand
																											von
																											der
																											Aufstandsfläche
																											hat,
																											und
																											daß
																											das
																											Kippteil
																											aus
																											einem
																											ferromagnetischen
																											Material
																											besteht
																											und
																											die
																											Haltemittel
																											einen
																											Magneten
																											mit
																											axialer
																											Magnetisierung
																											aufweisen,
																											auf
																											dem
																											das
																											Kippteil
																											in
																											der
																											ersten
																											Arbeitsstellung
																											aufsitzt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											knife
																											unit
																											A,
																											the
																											first
																											measurement
																											transducer
																											12
																											measures
																											a
																											distance
																											II
																											between
																											cutting
																											edge
																											11
																											and
																											reference
																											point
																											13
																											(likewise
																											the
																											right
																											edge
																											of
																											location
																											marker
																											15).
																		
			
				
																						Der
																											erste
																											Meßwertgeber
																											12
																											ermittelt
																											bei
																											der
																											Messereinheit
																											A
																											eine
																											Entfernung
																											II
																											zwischen
																											der
																											Schneidkante
																											11
																											und
																											dem
																											Fixpunkt
																											13
																											(ebenfalls
																											gleich
																											der
																											rechten
																											Kante
																											der
																											Ortsmarke
																											15).
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											prevents
																											the
																											occurrence
																											along
																											the
																											primary
																											cutting
																											edge
																											of
																											stress
																											peaks
																											that
																											increase
																											the
																											likelihood
																											of
																											premature
																											failure
																											of
																											the
																											primary
																											cutting
																											edge
																											at
																											that
																											location.
																		
			
				
																						Auf
																											diese
																											Weise
																											entstehen
																											entlang
																											der
																											Hauptschneide
																											keine
																											Spannungsspitzen,
																											die
																											die
																											Wahrscheinlichkeit
																											eines
																											vorzeitigen
																											Versagens
																											der
																											Hauptschneide
																											an
																											dieser
																											Stelle
																											erhöhen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						If
																											the
																											contact
																											surfaces
																											have
																											the
																											form
																											just
																											described,
																											then
																											a
																											semiconductor
																											array
																											with
																											minimum
																											pitch
																											can
																											be
																											achieved,
																											since
																											misadjustments
																											of
																											up
																											to
																											the
																											order
																											of
																											magnitude
																											of
																											the
																											maximum
																											edge
																											location
																											error
																											are
																											easily
																											possible
																											in
																											the
																											production
																											of
																											the
																											contact
																											holes
																											(which,
																											as
																											described,
																											have
																											a
																											length
																											on
																											the
																											order
																											of
																											magnitude
																											of
																											the
																											minimum
																											design
																											rule
																											a
																											in
																											the
																											first
																											lateral
																											direction),
																											without
																											causing
																											undesired
																											short
																											circuits
																											between
																											the
																											structures
																											to
																											be
																											made.
																		
			
				
																						Weisen
																											die
																											Kontaktflachen
																											die
																											soeben
																											geschilderte
																											Gestalt
																											auf,
																											läßt
																											sich
																											eine
																											Halbleiteranordnung
																											im
																											Minimalraster
																											realisieren,
																											da
																											Fehljustierungen
																											bis
																											in
																											die
																											Größenordnung
																											des
																											maximalen
																											Kantenlagefehlers
																											bei
																											der
																											Herstellung
																											der
																											Kontaktlöcher
																											(die
																											wie
																											beschrieben
																											in
																											der
																											ersten
																											lateralen
																											Richtung
																											eine
																											Ausdehnung
																											in
																											der
																											Größe
																											der
																											minimalen
																											Entwurfsregel
																											a
																											haben)
																											ohne
																											weiteres
																											möglich
																											sind,
																											ohne
																											daß
																											ungewünschte
																											Kurzschlüsse
																											zwischen
																											den
																											herzustellenden
																											Strukturen
																											auftreten.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											width
																											of
																											the
																											overlap
																											zone
																											must
																											accordingly
																											be
																											equivalent
																											to
																											at
																											least
																											the
																											maximum
																											edge
																											location
																											error,
																											so
																											that
																											misadjustments
																											will
																											not
																											cause
																											the
																											two
																											fragments
																											4',
																											4"
																											to
																											fail
																											to
																											overlap,
																											ensuring
																											that
																											a
																											common
																											contact
																											surface
																											4
																											can
																											be
																											formed.
																		
			
				
																						Die
																											Breite
																											der
																											Überlappungszone
																											muß
																											also
																											mindestens
																											dem
																											maximalen
																											Kantenlagefehler
																											entsprechen,
																											damit
																											Fehljustagen
																											nicht
																											dazu
																											führen,
																											daß
																											die
																											beiden
																											Teilstücke
																											4',
																											4"
																											sich
																											nicht
																											überlappen,
																											um
																											eine
																											gemeinsame
																											Kontaktfläche
																											4
																											zu
																											bilden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											this
																											case,
																											it
																											is
																											advantageous
																											if
																											the
																											contact
																											surfaces
																											4
																											extend
																											above
																											the
																											insulated
																											regions
																											3
																											over
																											a
																											length
																											of
																											twice
																											the
																											maximum
																											edge
																											location
																											error.
																		
			
				
																						In
																											diesem
																											Fall
																											ist
																											es
																											vorteilhaft,
																											wenn
																											die
																											Kontaktflachen
																											4
																											sich
																											in
																											einer
																											Länge
																											des
																											Doppelten
																											des
																											maximalen
																											Kantenlagefehlers
																											über
																											den
																											isolierten
																											Bereichen
																											3
																											erstrecken.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Since
																											the
																											spacing
																											between
																											the
																											contact
																											surfaces
																											4
																											is
																											everywhere
																											equal
																											to
																											at
																											least
																											the
																											maximum
																											edge
																											location
																											error,
																											their
																											adjustment
																											is
																											likewise
																											uncritical.
																		
			
				
																						Da
																											der
																											Abstand
																											zwischen
																											den
																											Kontaktflachen
																											4
																											überall
																											mindestens
																											gleich
																											dem
																											maximalen
																											Kantenlagefehler
																											ist,
																											ist
																											ihre
																											Justierung
																											ebenfalls
																											unkritisch.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											this
																											structure,
																											the
																											contact
																											surfaces
																											have
																											a
																											length
																											in
																											the
																											first
																											lateral
																											direction
																											that
																											is
																											equal
																											to
																											the
																											length
																											of
																											the
																											contact
																											holes
																											(equals
																											minimum
																											design
																											rule),
																											plus
																											twice
																											the
																											maximum
																											edge
																											location
																											error.
																		
			
				
																						Die
																											Kontaktflächen
																											haben
																											bei
																											dieser
																											Ausführungsform
																											der
																											Erfindung
																											eine
																											Ausdehnung
																											in
																											der
																											ersten
																											lateralen
																											Richtung,
																											die
																											der
																											Ausdehnung
																											der
																											Kontaktlöcher
																											(=
																											minimale
																											Entwurfsregel)
																											zuzüglich
																											des
																											Zweifachen
																											des
																											maximalen
																											Kantenlagefehlers
																											entspricht.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						However,
																											since
																											that
																											fragment
																											according
																											to
																											the
																											invention
																											overlaps
																											the
																											first
																											fragment
																											by
																											the
																											length
																											of
																											the
																											maximum
																											edge
																											location
																											error
																											and
																											is
																											equally
																											far
																											away
																											from
																											the
																											next
																											contact
																											surface,
																											it
																											is
																											assured
																											that
																											even
																											if
																											the
																											contact
																											surfaces
																											are
																											produced
																											with
																											minimum
																											pitch,
																											short
																											circuits
																											will
																											not
																											occur
																											between
																											them.
																		
			
				
																						Da
																											dieses
																											aber
																											erfindungsgemäß
																											um
																											die
																											Länge
																											des
																											maximalen
																											Kantenlagefehlers
																											das
																											erste
																											Teilstück
																											überlappt
																											und
																											ebensoweit
																											von
																											der
																											nächsten
																											Kontaktfläche
																											entfernt
																											ist,
																											ist
																											gewährleistet,
																											daß
																											es
																											auch
																											bei
																											der
																											Erzeugung
																											der
																											Kontaktflächen
																											im
																											Minimalraster
																											nicht
																											zu
																											Kurzschlüssen
																											zwischen
																											diesen
																											kommt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						To
																											that
																											end,
																											the
																											polysilicon
																											must
																											accordingly
																											be
																											applied,
																											as
																											measured
																											from
																											the
																											respective
																											insulated
																											region
																											3,
																											for
																											at
																											least
																											the
																											maximum
																											edge
																											location
																											error,
																											including
																											above
																											the
																											doped
																											region
																											2.
																		
			
				
																						Dazu
																											muß
																											das
																											Polysilizium
																											also,
																											gemessen
																											vom
																											jeweiligen
																											isolierten
																											Bereich
																											3,
																											mindestens
																											um
																											den
																											maximalen
																											Kantenlagefehler
																											auch
																											über
																											dem
																											dotierten
																											Bereich
																											2
																											aufgebracht
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2