Translation of "Electron lens" in German
																						The
																											present
																											invention
																											is
																											thus
																											directed
																											at
																											the
																											need
																											for
																											automatic
																											focussing
																											adjustment
																											of
																											optical
																											and
																											electron-optical
																											lens
																											systems.
																		
			
				
																						Die
																											Erfindung
																											geht
																											also
																											von
																											der
																											automatischen
																											Fokuseinstellung
																											optischer
																											und
																											elektronenoptischer
																											Linsensysteme
																											aus.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Here
																											the
																											electron
																											beam
																											lens
																											1'
																											according
																											to
																											FIG.
																											3
																											has
																											been
																											chosen.
																		
			
				
																						Hier
																											wurde
																											die
																											Elektronenstrahl-Linse
																											1'
																											gemäß
																											Fig.3
																											ausgewählt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Finally,
																											in
																											FIG.
																											9
																											an
																											application
																											of
																											the
																											electron
																											beam
																											lens
																											in
																											an
																											electron
																											beam
																											device
																											is
																											illustrated.
																		
			
				
																						In
																											Fig.9
																											ist
																											schließlich
																											eine
																											Anwendung
																											der
																											Elektronenstrahl-Linse
																											in
																											einer
																											Elektronenstrahl-Vorrichtung
																											dargestellt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											another
																											embodiment
																											the
																											electron
																											beam
																											lens
																											is
																											used
																											in
																											an
																											electron
																											beam
																											device.
																		
			
				
																						In
																											einem
																											anderen
																											Ausführungsbeispiel
																											wird
																											die
																											Elektronenstrahl-Linse
																											in
																											einer
																											Elektronenstrahl-Vorrichtung
																											eingesetzt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											one
																											embodiment
																											of
																											the
																											invention
																											the
																											electron
																											beam
																											lens
																											is
																											advantageously
																											used
																											in
																											a
																											cathode
																											lens.
																		
			
				
																						In
																											einem
																											Ausführungsbeispiel
																											der
																											Erfindung
																											wird
																											die
																											Elektronenstrahl-Linse
																											vorteilhaft
																											in
																											einer
																											Kathoden-Linse
																											eingesetzt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						There
																											are
																											various
																											possibilities
																											for
																											the
																											construction
																											of
																											the
																											electrostatic
																											lens
																											within
																											the
																											electron
																											beam
																											lens.
																		
			
				
																						Für
																											die
																											Ausbildung
																											der
																											elektrostatischen
																											Linse
																											innerhalb
																											der
																											Elektronenstrahl-Linse
																											gibt
																											es
																											verschiedene
																											Möglichkeiten.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						A
																											first
																											electron-optical
																											lens
																											36
																											is
																											mounted
																											after
																											stop
																											35
																											.
																		
			
				
																						Eine
																											erste
																											elektronenoptische
																											Linse
																											36
																											ist
																											nach
																											der
																											Blende
																											35
																											angebracht.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						A
																											first
																											electron-optical
																											lens
																											36
																											is
																											provided
																											after
																											stop
																											35
																											.
																		
			
				
																						Eine
																											erste
																											elektronenoptische
																											Linse
																											36
																											ist
																											nach
																											der
																											Blende
																											35
																											vorgesehen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											spot
																											size
																											is
																											thus
																											a
																											measure
																											of
																											the
																											focussing
																											state
																											of
																											the
																											electron-optical
																											focussing
																											lens
																											system
																											influencing
																											the
																											electron
																											beam.
																		
			
				
																						Die
																											gemessene
																											Fleckgröße
																											ist
																											somit
																											ein
																											Maß
																											für
																											den
																											Fokussierungszustand
																											des
																											den
																											Elektronenstrahl
																											beinflussenden
																											elektronenoptischen
																											Fokussierungs-Linsensystems.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											invention
																											also
																											relates
																											to
																											a
																											cathode
																											lens
																											and
																											an
																											electron
																											beam
																											device
																											with
																											such
																											an
																											electron
																											beam
																											lens.
																		
			
				
																						Die
																											Erfindung
																											bezieht
																											sich
																											ferner
																											auf
																											eine
																											Kathodenlinse
																											und
																											eine
																											Elektronenstrahlvorrichtung
																											mit
																											einer
																											derartigen
																											Elektronenstrahl-Linse.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											embodiment
																											has
																											the
																											advantage
																											that
																											it
																											is
																											especially
																											flat
																											and
																											is
																											therefore
																											suitable
																											for
																											very
																											short
																											distances
																											between
																											the
																											specimen
																											and
																											the
																											last
																											electron
																											optical
																											lens.
																		
			
				
																						Diese
																											Ausführungsform
																											hat
																											den
																											Vorteil,
																											daß
																											sie
																											besonders
																											flach
																											ist
																											und
																											daher
																											für
																											sehr
																											geringe
																											Abstände
																											zwischen
																											Probe
																											und
																											letzter
																											elektronenoptischer
																											Linse
																											geeignet
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											good
																											quantum
																											yield
																											of
																											this
																											YAP
																											crystal
																											makes
																											it
																											possible
																											for
																											it
																											to
																											have
																											a
																											thickness
																											of
																											only
																											1
																											mm,
																											so
																											that
																											the
																											detector
																											occupies
																											only
																											a
																											small
																											amount
																											of
																											space
																											between
																											the
																											last
																											electron
																											optical
																											lens
																											and
																											the
																											specimen.
																		
			
				
																						Die
																											gute
																											Quantenausbeute
																											dieses
																											YAP-Kristalles
																											ermöglicht
																											es,
																											ihm
																											eine
																											Dicke
																											von
																											nur
																											1
																											mm
																											zu
																											geben,
																											so
																											daß
																											der
																											Detektor
																											zwischen
																											der
																											letzten
																											elektronenoptischen
																											Linse
																											und
																											dem
																											Präparat
																											nur
																											wenig
																											Platz
																											beansprucht.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						By
																											this
																											means,
																											the
																											detector,
																											which
																											otherwise
																											is
																											extended
																											through
																											the
																											wall
																											of
																											the
																											microscope
																											column
																											in
																											a
																											known
																											manner
																											only
																											via
																											the
																											light-conducting
																											rods
																											17
																											and
																											the
																											cylindrically-shaped
																											conductor
																											19
																											(FIG.
																											1)
																											and
																											held
																											there,
																											can
																											be
																											held
																											in
																											position
																											in
																											a
																											much
																											stabler
																											manner
																											between
																											the
																											pole
																											piece
																											41
																											of
																											the
																											last
																											electron
																											optical
																											lens
																											and
																											the
																											specimen
																											42.
																		
			
				
																						Damit
																											wird
																											erreicht,
																											daß
																											der
																											Detektor,
																											der
																											sonst
																											nur
																											über
																											die
																											Lichtleitstäbe
																											17
																											und
																											den
																											zylinderförmigen
																											Lichtleiter
																											19
																											(Figur
																											1)
																											in
																											bekannter
																											Weise
																											durch
																											die
																											Wand
																											der
																											Mikroskopsäule
																											geführt
																											ist
																											und
																											dort
																											gehalten
																											wird,
																											wesentlich
																											stabilder
																											zwischen
																											dem
																											Polschuh
																											41
																											der
																											letzten
																											elektronenoptischen
																											Linse
																											und
																											dem
																											Präparat
																											42
																											gehalten
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						It
																											is
																											advantageous
																											to
																											provide
																											an
																											additional
																											correcting
																											filter
																											having
																											electrical
																											and
																											magnetic
																											quadrupole
																											fields
																											rearward
																											of
																											the
																											electron
																											lens
																											following
																											the
																											corrector
																											of
																											the
																											Wien
																											type
																											in
																											the
																											beam
																											direction.
																											In
																											this
																											way,
																											a
																											correction
																											of
																											the
																											spherical
																											aberration
																											for
																											those
																											electrons
																											can
																											be
																											carried
																											out
																											having
																											energies
																											which
																											deviate
																											from
																											the
																											nominal
																											energy.
																		
			
				
																						Um
																											auch
																											eine
																											Korrektur
																											der
																											sphärischen
																											Aberration
																											für
																											diejenigen
																											Elektronen
																											durchführen
																											zu
																											können,
																											deren
																											Energie
																											von
																											der
																											Nominalenergie
																											abweicht,
																											ist
																											es
																											vorteilhaft,
																											ein
																											zusätzliches
																											Korrektionsfilter
																											mit
																											elektrischen
																											und
																											magnetischen
																											Quadrupolfeldern
																											hinter
																											der
																											dem
																											Korrektor
																											vom
																											Wien-Typ
																											in
																											Strahlenrichtung
																											folgenden
																											Elektronenlinse
																											anzubringen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											arrangement
																											is
																											especially
																											advantageous
																											in
																											the
																											rearward
																											focal
																											plane
																											of
																											this
																											electron
																											lens
																											because
																											then
																											no
																											magnification
																											color
																											aberration
																											occurs.
																		
			
				
																						Diese
																											Anbringung
																											ist
																											insbesondere
																											in
																											der
																											hinteren
																											Brennebene
																											dieser
																											Elektronenlinse
																											vorteilhaft,
																											weil
																											dann
																											kein
																											Vergrößerungsfarbfehler
																											entsteht.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						As
																											a
																											result,
																											short
																											working
																											distances
																											between
																											the
																											last
																											electron
																											optical
																											lens
																											and
																											the
																											specimen,
																											and
																											hence
																											high
																											resolution,
																											are
																											possible
																											without
																											substantially
																											restricting
																											manipulation
																											of
																											the
																											specimen.
																		
			
				
																						Dadurch
																											sind
																											kurze
																											Arbeitsabstande
																											zwischen
																											der
																											letzten
																											elektronenoptischen
																											Linse
																											und
																											dem
																											Präparat
																											und
																											damit
																											hohe
																											Auflösung
																											möglich,
																											ohne
																											wesentliche
																											Einschränkungen
																											der
																											Präparatmanipu
																											lationen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						If
																											it
																											is
																											decided
																											to
																											place
																											the
																											openings
																											on
																											the
																											column
																											side
																											between
																											the
																											conductors,
																											an
																											electron-optical
																											cylinder
																											lens
																											should
																											be
																											provided
																											in
																											association
																											with
																											each
																											column
																											conductor.
																		
			
				
																						Entscheidet
																											man
																											sich
																											dafür,
																											auf
																											der
																											Spaltenleiterseite
																											die
																											Öffnungen
																											zwischen
																											die
																											Leiter
																											zu
																											plazieren,
																											so
																											sollte
																											jedem
																											Spaltenleiter
																											eine
																											elektronenoptische
																											Zylinderlinse
																											zugeordnet
																											sein.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											invention
																											has
																											the
																											advantages
																											that
																											the
																											relatively
																											uncomplicated
																											circuit
																											design
																											does
																											not
																											require
																											any
																											adjustment,
																											that
																											the
																											input
																											video
																											signals
																											can
																											be
																											in
																											either
																											analog
																											or
																											digital
																											form,
																											and
																											that
																											the
																											system
																											can
																											be
																											used
																											for
																											focussing
																											both
																											optical
																											and
																											electron-optical
																											lens
																											systems.
																											The
																											circuitry
																											is
																											relatively
																											uncomplicated
																											and
																											quickly
																											accomplishes
																											focus
																											setting.
																		
			
				
																						Die
																											durch
																											die
																											Erfindung
																											erreichten
																											Vorteile
																											lassen
																											sich
																											im
																											wesentlichen
																											darin
																											sehen,
																											daß
																											bei
																											relativ
																											unkompliziertem
																											Schaltungsaufbau
																											keinerlei
																											Justierungsaufwand
																											erforderlich
																											ist,
																											die
																											Bildsignale
																											analog
																											oder
																											digital
																											zugeführt
																											werden
																											können
																											und
																											eine
																											Verwendung
																											zur
																											Fokuseinstellung
																											sowohl
																											für
																											optische
																											als
																											auch
																											für
																											elektronenoptische
																											Linsensysteme
																											möglich
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											last
																											cylindrical
																											electrode
																											of
																											the
																											electron
																											gun
																											system
																											is
																											common
																											to
																											the
																											three
																											electron
																											beams
																											and
																											together
																											with
																											the
																											electrically
																											conductive
																											wall
																											coating
																											on
																											the
																											inner
																											wall
																											of
																											the
																											neck
																											of
																											the
																											cathode
																											ray
																											tube
																											constitutes
																											an
																											electron
																											lens
																											converging
																											all
																											beams.
																		
			
				
																						Die
																											letzte
																											zylindrische
																											Elektrode
																											des
																											Strahlerzeugungssystems
																											ist
																											für
																											die
																											drei
																											Elektronenstrahlen
																											gemeinsam
																											und
																											bildet
																											zusammen
																											mit
																											der
																											elektrisch
																											leitenden
																											Wandbedeckung
																											auf
																											der
																											Innenwand
																											des
																											Halses
																											der
																											Elektronenstrahlröhre
																											eine
																											alle
																											Strahlen
																											konvergierende
																											Elektronenlinse.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											a
																											number
																											of
																											the
																											so
																											far
																											known
																											helical
																											electrodes,
																											for
																											example,
																											the
																											electrode
																											described
																											in
																											the
																											already
																											mentioned
																											U.S.
																											Pat.
																											No.
																											3,748,514,
																											the
																											length
																											1
																											was
																											many
																											times
																											larger
																											than
																											the
																											diameter
																											D
																											as
																											a
																											result
																											of
																											which
																											an
																											accelerating
																											anode
																											rather
																											than
																											an
																											electron
																											lens
																											was
																											obtained.
																		
			
				
																						Bei
																											einigen
																											bisher
																											bekannten
																											Wendelelektroden,
																											beispielsweise
																											bei
																											der
																											Elektrode
																											nach
																											der
																											Beschreibung
																											in
																											der
																											bereits
																											erwähnten
																											US-PS
																											3
																											748
																											514,
																											war
																											die
																											Länge
																											1
																											viele
																											Male
																											grösser
																											als
																											der
																											Durchmesser
																											D,
																											wodurch
																											eher
																											eine
																											beschleunigende
																											Anode
																											als
																											eine
																											Elektronenlinse
																											erhalten
																											wurde.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											this
																											article,
																											detectors
																											having
																											wafer-like
																											monocrystals
																											are
																											described,
																											which
																											have
																											a
																											bore
																											in
																											the
																											center
																											for
																											the
																											electron
																											beam
																											and
																											can
																											therefore
																											be
																											accommodated
																											in
																											a
																											narrow
																											space
																											between
																											the
																											last
																											electron
																											optical
																											lens
																											and
																											the
																											specimen.
																		
			
				
																						Dort
																											sind
																											Detektoren
																											mit
																											scheibenförmigen
																											Einkristallen
																											beschrieben,
																											die
																											in
																											der
																											Mitte
																											eine
																											Bohrung
																											für
																											den
																											Elektronenstrahl
																											haben
																											und
																											dadurch
																											auch
																											in
																											einen
																											schmalen
																											Zwischenraum
																											zwischen
																											der
																											letzten
																											elektronenoptischen
																											Linse
																											und
																											der
																											Probe
																											eingebracht
																											werden
																											können.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											a
																											transmission
																											electron
																											microscope
																											for
																											carrying
																											out
																											the
																											method
																											of
																											the
																											invention,
																											the
																											first
																											imaging
																											stage
																											is
																											developed
																											from
																											four
																											electron-optical
																											lens
																											groups
																											which
																											are
																											connected
																											with
																											a
																											current
																											supply
																											unit
																											in
																											which
																											the
																											required
																											excitation
																											current
																											is
																											established
																											for
																											each
																											magnification
																											stage
																											and
																											each
																											lens.
																		
			
				
																						Bei
																											einem
																											Transmissions-Elektronenmikroskop
																											zur
																											Durchführung
																											des
																											erfindungsgemäßen
																											Verfahrens
																											ist
																											die
																											erste
																											Abbildungsstufe
																											aus
																											vier
																											elektronenoptischen
																											Linsengruppen
																											aufgebaut,
																											die
																											mit
																											einer
																											Stromversorgungseinheit
																											verbunden
																											sind,
																											in
																											welcher
																											für
																											jede
																											Vergrößerungsstufe
																											und
																											für
																											jede
																											Linse
																											der
																											erforderliche
																											Erregungsstrom
																											festgelegt
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						An
																											optimum
																											relationship
																											between
																											electron-optical
																											lens
																											effect
																											and
																											the
																											effects
																											with
																											respect
																											to
																											the
																											brightness
																											at
																											the
																											level
																											of
																											the
																											target
																											must
																											be
																											found.
																		
			
				
																						Es
																											muß
																											ein
																											Optimum
																											zwischen
																											elektronenoptischen
																											Linseneffekten
																											und
																											den
																											Effekten
																											hinsichtlich
																											des
																											Richtstrahlwertes
																											in
																											Höhe
																											des
																											Objekts
																											gefunden
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											cathode
																											lens
																											3
																											consists
																											essentially
																											of
																											a
																											cathode
																											30
																											with
																											"suppressor"
																											electrode,
																											an
																											extraction
																											electrode
																											31,
																											an
																											anode
																											32
																											and
																											an
																											electron
																											beam
																											lens
																											according
																											to
																											one
																											of
																											the
																											two
																											embodiments
																											shown
																											in
																											FIGS.
																											1a,
																											3
																											to
																											7.
																		
			
				
																						Die
																											Kathoden-Linse
																											3
																											besteht
																											im
																											wesentlichen
																											aus
																											einer
																											Kathode
																											30
																											mit
																											"suppressor"-Elektrode,
																											einer
																											Extraktions-Elektrode
																											31,
																											einer
																											Anode
																											32
																											sowie
																											einer
																											Elektronenstrahl-Linse
																											gemäß
																											einem
																											der
																											beiden
																											in
																											den
																											Fig.1a,
																											3
																											bis
																											7
																											gezeigten
																											Ausführungsbeispiele.
															 
				
		 EuroPat v2