Translation of "Electron stream" in German
																						In
																											this
																											way,
																											a
																											primary
																											electron
																											stream
																											having
																											a
																											frequency
																											of
																											fb
																											can
																											be
																											generated.
																		
			
				
																						Auf
																											diese
																											Weise
																											kann
																											ein
																											Primärelektronenstrom
																											mit
																											der
																											Frequenz
																											f
																											B
																											erzeugt
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											influence
																											of
																											the
																											anode
																											voltage
																											on
																											the
																											electron
																											stream
																											is
																											significantly
																											reduced.
																		
			
				
																						Der
																											Einfluss
																											der
																											Anodenspannung
																											auf
																											den
																											gezogenen
																											Elektronenstrom
																											ist
																											wesentlich
																											verringert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											strip
																											potential
																											and
																											geometry
																											are
																											matched
																											to
																											the
																											electron
																											velocity
																											in
																											such
																											a
																											manner
																											that
																											even
																											the
																											lines
																											near
																											the
																											edge
																											receive
																											a
																											similarly
																											intense
																											electron
																											stream
																											as
																											compared
																											to
																											the
																											lines
																											in
																											the
																											immediate
																											vicinity
																											of
																											the
																											cathode.
																		
			
				
																						Streifenpotential
																											und
																											-geometrie
																											sind
																											dabei
																											so
																											an
																											die
																											Elektronengeschwindigkeit
																											angepaßt,
																											daß
																											auch
																											die
																											randständlgen
																											Zeilen
																											einen
																											ähnlich
																											intensiven
																											Elektronenstrom
																											wie
																											die
																											in
																											unmittelbarer
																											Nachbarschaft
																											zur
																											Kathode
																											liegenden
																											Zeiien
																											erhaiten.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						On
																											the
																											one
																											hand,
																											the
																											operator
																											of
																											such
																											a
																											process
																											has
																											an
																											interest,
																											of
																											course,
																											in
																											having
																											as
																											many
																											substrates
																											as
																											possible
																											within
																											a
																											given
																											area
																											determined
																											by
																											the
																											outline
																											of
																											the
																											target;
																											on
																											the
																											other
																											hand
																											he
																											must
																											of
																											course
																											see
																											to
																											it
																											that
																											the
																											overall
																											arrangement
																											of
																											the
																											substrates
																											transversely
																											to
																											the
																											plane
																											in
																											which
																											they
																											are
																											spread
																											out
																											will
																											result
																											in
																											a
																											certain
																											"permeability"
																											for
																											the
																											electron
																											stream
																											and
																											assure
																											a
																											high
																											ionization
																											at
																											the
																											substrates
																											themselves.
																		
			
				
																						Einerseits
																											ist
																											der
																											Betreiber
																											eines
																											solchen
																											Verfahrens
																											natürlich
																											daran
																											interessiert,
																											innerhalb
																											einer
																											gegebenen
																											Fläche,
																											die
																											durch
																											den
																											Umriß
																											des
																											Targets
																											bestimmt
																											wird,
																											möglichst
																											viele
																											Substrate
																											unterzubringen,
																											andererseits
																											muß
																											er
																											natürlich
																											darauf
																											achten,
																											daß
																											die
																											Gesamtanordnung
																											der
																											Substrate
																											in
																											Querrichtung
																											zu
																											ihrer
																											Ausbreitungsebene
																											eine
																											gewisse
																											"Durchlässigkeit"
																											für
																											den
																											Elektronenstrom
																											erzeugt
																											und
																											im
																											Bereich
																											der
																											Substrate
																											selbst
																											eine
																											hohe
																											Ionisation
																											gewährleistet.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											principle,
																											it
																											should
																											suffice
																											to
																											impinge
																											primary
																											electrons
																											upon
																											the
																											measuring
																											point,
																											to
																											register
																											the
																											corresponding
																											secondary
																											electron
																											stream
																											and
																											to
																											guide
																											the
																											secondary
																											electron
																											signal
																											to
																											a
																											conventional
																											spectrum
																											analyzer
																											for
																											spectrum
																											analysis.
																		
			
				
																						Im
																											Prinzip
																											sollte
																											es
																											also
																											genügen
																											die
																											Meßstelle
																											mit
																											Primärelektronen
																											zu
																											beaufschlagen,
																											den
																											entsprechenden
																											Sekundärelektronenstrom
																											zu
																											registrieren
																											und
																											das
																											Sekundärelektronen-Signal
																											einem
																											herkömmlichen
																											Spektrumanalysator
																											zuzuleiten
																											und
																											von
																											diesem
																											dann
																											eine
																											Spektrumanalyse
																											durchführen
																											zu
																											lassen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						As
																											in
																											the
																											case
																											of
																											conventional
																											electron
																											tubes,
																											the
																											electron
																											stream
																											as
																											emitting
																											from
																											the
																											heater
																											in
																											dependence
																											upon
																											the
																											magnitude
																											of
																											the
																											negative
																											control
																											electrode
																											voltage,
																											is
																											accelerated
																											towards
																											the
																											anode,
																											impinges
																											upon
																											the
																											latter
																											and,
																											as
																											an
																											anode
																											dissipation,
																											is
																											fully
																											converted
																											into
																											heat,
																											because
																											no
																											useful
																											power
																											is
																											taken
																											off
																											the
																											system.
																		
			
				
																						Wie
																											bei
																											den
																											bekannten
																											Elektronenröhren
																											wird
																											der
																											aus
																											dem
																											Heizfaden
																											in
																											Abhängigkeit
																											von
																											der
																											Höhe
																											der
																											negativen
																											Steuerelektrodenspannung
																											austretende
																											Elektronenstrom
																											zur
																											Anode
																											hin
																											beschleunigt,
																											trifft
																											auf
																											diese
																											auf
																											und
																											wird
																											voll
																											als
																											Anodenverlustleistung
																											in
																											Wärme
																											umgesetzt,
																											da
																											hier
																											diesem
																											System
																											keine
																											Nutzleistung
																											entnommen
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Within
																											the
																											back
																											case
																											is
																											an
																											areal
																											cathode
																											structure
																											sending
																											a
																											uniform
																											stream
																											of
																											electrons
																											in
																											a
																											direction
																											toward
																											an
																											electron
																											beam
																											control
																											structure,
																											with
																											control
																											being
																											effected
																											by
																											a
																											digitally
																											addressable
																											control
																											structure
																											for
																											forming
																											and
																											modulating
																											the
																											electron
																											stream
																											to
																											produce
																											the
																											image.
																		
			
				
																						Diese
																											weist
																											eine
																											auf
																											der
																											Innenseite
																											phosphorbeschichtete
																											Frontplatte
																											aus
																											Glas,
																											eine
																											digital
																											adressierbare
																											Steuerstruktur
																											zur
																											Formung
																											und
																											Modulation
																											des
																											Elektronenstromes,
																											eine
																											einen
																											gleichmäßigen
																											Elektronenstrom
																											in
																											Richtung
																											der
																											Steuerstruktur
																											sendende
																											Flächenkathode
																											und
																											eine
																											rückwärtige
																											Metallabkapselung
																											auf,
																											um
																											die
																											gesamte
																											Anordnung
																											unter
																											Vakuum
																											abzuschließen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											influence
																											manifests
																											itself
																											in
																											a
																											secondary
																											electron
																											stream
																											which
																											is
																											dependent
																											on
																											the
																											potential,
																											and
																											in
																											an
																											energy
																											shift
																											of
																											the
																											secondary
																											electrons
																											which
																											also
																											is
																											determined
																											by
																											the
																											electric
																											potential
																											at
																											the
																											measuring
																											point
																											and
																											can
																											be
																											measured
																											with
																											the
																											aid
																											of
																											an
																											energy
																											spectrometer.
																		
			
				
																						Diese
																											Beeinflussung
																											äußert
																											sich
																											in
																											einem
																											Sekundärelektronenstrom,
																											der
																											vom
																											Potential
																											am
																											Meßort
																											abhängt,
																											bzw.
																											in
																											einer
																											Energieverschiebung
																											der
																											Sekundärelektronen,
																											die
																											ebenfalls
																											vom
																											elektrischen
																											Potential
																											am
																											Meßort
																											bestimmt
																											wird
																											und
																											mit
																											Hilfe
																											eines
																											Energiespektrometers
																											gemessen
																											werden
																											kann.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						It
																											is
																											also
																											known
																											to
																											provide
																											means,
																											in
																											a
																											high
																											vacuum
																											electron
																											tube
																											having
																											electrodes
																											disposed
																											along
																											cylindrical
																											surfaces
																											and
																											several
																											incandescent
																											cathodes,
																											for
																											the
																											generation
																											of
																											a
																											magnetic
																											field
																											parallel
																											to
																											the
																											cylindrical
																											electrode
																											surfaces.
																											These
																											generation
																											means
																											are
																											provided
																											in
																											order
																											to
																											have
																											the
																											magnetic
																											field
																											help
																											keep
																											the
																											electron
																											stream
																											away
																											from
																											the
																											control
																											electrodes
																											at
																											positive
																											control
																											potential
																											of
																											the
																											control
																											electrodes
																											and
																											thus
																											be
																											able
																											to
																											reduce
																											the
																											control
																											power.
																		
			
				
																						Es
																											ist
																											auch
																											bereits
																											an
																											sich
																											bekannt,
																											bei
																											einer
																											steuerbaren
																											Hochvakuum-Elektronenröhre,
																											deren
																											Elektroden
																											längs
																											zylindrischen
																											Flächen
																											angeordnet
																											sind
																											und
																											die
																											mehrere
																											Glühkathoden
																											aufweist,
																											Mittel
																											zur
																											Erzeugung
																											eines
																											Magnetfeldes
																											parallel
																											zu
																											den
																											zylindrischen
																											Elektrodenoberflächen
																											vorzusehen,
																											um
																											mit
																											diesem
																											Magnetfelde
																											den
																											Elektronenstrom
																											bei
																											positivem
																											Steuerpotential
																											der
																											Steuerelektroden
																											weitgehend
																											von
																											diesen
																											abhalten
																											und
																											dadurch
																											die
																											Steuerleistung
																											vermindern
																											zu
																											können
																											(CH-PS
																											483
																											116).
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						It
																											furnishes
																											a
																											forwardly
																											directed
																											large-area
																											electron
																											stream
																											which
																											is
																											sent
																											into
																											a
																											control
																											structure
																											of
																											several
																											perforated
																											conductor
																											runs
																											placed
																											one
																											behind
																											the
																											other.
																		
			
				
																						Sie
																											liefert
																											einen
																											nach
																											vorne
																											gerichteten
																											großflächigen
																											Elektronenstrom,
																											der
																											in
																											eine
																											Steuerstruktur
																											aus
																											mehreren
																											hintereinandergesetzten,
																											perforierten
																											Leiterbahnen
																											geschickt
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						When
																											passing
																											this
																											stack
																											of
																											plates,
																											partial
																											currents
																											are
																											continuously
																											blanked
																											out
																											from
																											the
																											electron
																											stream
																											until
																											finally
																											only
																											the
																											desired
																											dot
																											beams
																											remain
																											which
																											then
																											generate
																											bright
																											spots
																											on
																											a
																											phosphorecoated
																											anode
																											which
																											is
																											at
																											a
																											potential
																											of
																											about
																											18
																											kV.
																		
			
				
																						Beim
																											Passieren
																											dieses
																											Plattenstapels
																											werden
																											aus
																											dem
																											Elektronenstrom
																											ständig
																											Teilströme
																											ausgeblendet,
																											bis
																											schließlich
																											nur
																											noch
																											die
																											gewünschten
																											Punktstrahlen
																											übrigbleiben,
																											die
																											dann
																											auf
																											einer
																											phosphorbeschichteten,
																											auf
																											einem
																											Potential
																											von
																											etwa
																											18
																											kV
																											liegenden
																											Anode
																											Leuchtflecke
																											erzeugen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											addition,
																											the
																											electron
																											stream
																											per
																											line
																											can
																											be
																											varied
																											within
																											wide
																											limits
																											by
																											a
																											small
																											variation
																											of
																											the
																											pulling
																											anode
																											voltage.
																		
			
				
																						Darüber
																											hinaus
																											läßt
																											sich
																											durch
																											geringe
																											Variation
																											der
																											Zuganodenspannung
																											der
																											Elektronenstrom
																											pro
																											Zeile
																											in
																											weiten
																											Grenzen
																											verändern.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Such
																											voltage
																											dips
																											act
																											electrically
																											like
																											a
																											brief
																											short-circuit
																											and
																											cause
																											a
																											decrease
																											in
																											the
																											kinetic
																											energy
																											of
																											the
																											electrons
																											in
																											the
																											electron
																											stream,
																											with
																											possibly
																											an
																											attendant
																											drop
																											in
																											the
																											beam's
																											intensity
																											and/or
																											the
																											range
																											of
																											the
																											electrons.
																		
			
				
																						Derartige
																											Spannungseinbrüche
																											wirken
																											elektrisch
																											wie
																											ein
																											kurzzeitiger
																											Kurzschluss
																											und
																											führen
																											dazu,
																											dass
																											die
																											kinetische
																											Energie
																											der
																											Elektronen
																											des
																											Elektronenstromes
																											abnimmt,
																											womit
																											auch
																											die
																											Strahlintensität
																											und/oder
																											die
																											Reichweite
																											der
																											Elektronen
																											abnehmen
																											können.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						If
																											two
																											or
																											more
																											electron
																											accelerators
																											are
																											used
																											in
																											a
																											device,
																											then
																											the
																											electron
																											stream
																											required
																											can
																											be
																											advantageously
																											adapted
																											exactly
																											to
																											the
																											speed
																											of
																											the
																											particles
																											and
																											the
																											gas
																											flow
																											at
																											the
																											corresponding
																											drop
																											height
																											h,
																											by
																											which
																											means
																											a
																											constant
																											dose
																											is
																											transmitted
																											at
																											this
																											point.
																		
			
				
																						Werden
																											in
																											einer
																											Einrichtung
																											zwei
																											oder
																											mehr
																											Elektronenbeschleuniger
																											eingesetzt,
																											so
																											kann
																											der
																											erforderliche
																											Elektronenstrom
																											vorteilhaft
																											exakt
																											an
																											die
																											Geschwindigkeit
																											der
																											Partikel
																											und
																											des
																											Gasstromes
																											bei
																											entsprechender
																											Fallhöhe
																											h
																											angepasst
																											werden,
																											wodurch
																											an
																											jedem
																											Ort
																											eine
																											konstante
																											Dosis
																											übertragen
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						If,
																											in
																											such
																											a
																											device
																											configuration,
																											an
																											additional
																											electron
																											beam
																											generator
																											is
																											also
																											used
																											whose
																											second
																											cathode
																											is
																											configured
																											segmented,
																											or
																											an
																											electron
																											beam
																											generator
																											that
																											includes
																											wire-shaped
																											electrodes
																											213,
																											then
																											the
																											ring-shaped
																											electron
																											beam
																											of
																											the
																											ring-shaped
																											electron
																											beam
																											generator
																											can
																											be
																											regulated
																											by
																											segment
																											such
																											that
																											possible
																											differences
																											in
																											the
																											electron
																											stream
																											that
																											are
																											captured
																											at
																											different
																											segments
																											of
																											the
																											cylindrical
																											electron
																											reflectors
																											can
																											be
																											balanced
																											out.
																		
			
				
																						Wird
																											bei
																											einer
																											solchen
																											Vorrichtungskonfiguration
																											auch
																											noch
																											ein
																											ringförmiger
																											Elektronenstrahlerzeuger
																											verwendet,
																											dessen
																											zweite
																											Kathode
																											segmentiert
																											ausgebildet
																											ist
																											oder
																											ein
																											Elektronenstrahlerzeuger,
																											der
																											drahtförmige
																											Elektroden
																											213
																											aufweist,
																											dann
																											kann
																											der
																											ringförmige
																											Elektronenstrahl
																											des
																											ringförmigen
																											Elektronenstrahlerzeugers
																											segmentweise
																											derart
																											geregelt
																											werden,
																											dass
																											mögliche
																											Unterschiede
																											beim
																											Elektronenstrom,
																											der
																											auf
																											verschiedenen
																											Segmenten
																											des
																											zylinderförmigen
																											Elektronenreflektors
																											erfasst
																											wird,
																											ausgeglichen
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Herein,
																											a
																											spark
																											is
																											ignited
																											between
																											a
																											target
																											providing
																											the
																											metallic
																											elements,
																											which
																											is
																											used
																											as
																											the
																											cathode,
																											and
																											an
																											anode,
																											by
																											means
																											of
																											which
																											a
																											high-density
																											electron
																											stream
																											is
																											extracted
																											from
																											the
																											target
																											surface.
																		
			
				
																						Dabei
																											wird
																											zwischen
																											einem
																											die
																											metallischen
																											Elemente
																											liefernden
																											Target,
																											welches
																											als
																											Kathode
																											eingesetzt
																											wird
																											und
																											einer
																											Anode
																											ein
																											Funken
																											gezündet
																											über
																											den
																											aus
																											der
																											Targetoberfläche
																											ein
																											Elektronenstrom
																											hoher
																											Dichte
																											herausgezogen
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Using
																											such
																											an
																											apparatus,
																											wherein
																											a
																											ring-shaped,
																											transparent
																											bulk
																											material
																											stream
																											is
																											generated,
																											which
																											is
																											impinged
																											by
																											accelerated
																											electrons
																											of
																											a
																											ring-shaped
																											electron-stream
																											generator,
																											more
																											compact
																											system
																											dimensions
																											can
																											be
																											realized
																											than
																											with
																											an
																											apparatus
																											from
																											the
																											prior
																											art,
																											wherein
																											an
																											identical-length,
																											transparent,
																											linear
																											bulk
																											material
																											stream
																											is
																											impinged
																											with
																											accelerated
																											electrons
																											from
																											linear
																											emitters.
																		
			
				
																						Mittels
																											solch
																											einer
																											Vorrichtung,
																											bei
																											der
																											ein
																											ringförmiger,
																											transparenter
																											Schüttgutstrom
																											erzeugt
																											wird,
																											der
																											mit
																											beschleunigten
																											Elektronen
																											eines
																											ringförmigen
																											Elektronenstrahlerzeugers
																											beaufschlagt
																											wird,
																											lassen
																											sich
																											kompaktere
																											Anlagenabmaße
																											realisieren
																											als
																											mit
																											einer
																											Vorrichtung
																											aus
																											dem
																											Stand
																											der
																											Technik,
																											bei
																											der
																											ein
																											gleichlanger,
																											transparenter,
																											linearer
																											Schüttgutstrom
																											mit
																											beschleunigten
																											Elektronen
																											aus
																											Linearstrahlern
																											heraus
																											beaufschlagt
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						On
																											the
																											negative
																											electrode,
																											electrons
																											are
																											released
																											in
																											an
																											oxidation
																											process,
																											resulting
																											in
																											an
																											electron
																											stream
																											flowing
																											via
																											an
																											external
																											load
																											to
																											the
																											positive
																											electrode,
																											which
																											takes
																											up
																											a
																											corresponding
																											quantity
																											of
																											electrons.
																		
			
				
																						An
																											der
																											negativen
																											Elektrode
																											werden
																											in
																											einem
																											Oxidationsprozess
																											Elektronen
																											freigesetzt,
																											resultierend
																											in
																											einem
																											Elektronenstrom
																											über
																											einen
																											äußeren
																											Verbraucher
																											zur
																											positiven
																											Elektrode,
																											von
																											der
																											eine
																											entsprechende
																											Menge
																											an
																											Elektronen
																											aufgenommen
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											signal
																											interrupts
																											the
																											electron
																											stream
																											68
																											to
																											the
																											metal
																											electrode
																											102
																											so
																											that
																											the
																											instantaneous
																											value
																											of
																											the
																											light-proportional
																											elementary
																											charges
																											accumulated
																											on
																											the
																											metal
																											electrode
																											102
																											are
																											“frozen”.
																		
			
				
																						Dieses
																											Signal
																											unterbricht
																											den
																											Elektronenstrom
																											68
																											zur
																											Metallelektrode
																											102,
																											so
																											dass
																											der
																											Momentanwert
																											der
																											auf
																											der
																											Metallelektrode
																											102
																											akkumulierten
																											lichtproportionalen
																											Elementarladungen
																											"eingefroren"
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2