Translation of "Ellipsometer" in German
																						Therefore,
																											an
																											ellipsometer
																											of
																											such
																											a
																											design
																											is
																											only
																											capable
																											of
																											limited
																											use.
																		
			
				
																						Ein
																											derart
																											aufgebautes
																											Ellipsometer
																											hat
																											daher
																											nur
																											eine
																											begrenzte
																											Verwendungsmöglichkeit.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Furthermore,
																											the
																											ellipsometer
																											does
																											not
																											require
																											any
																											electro-optically
																											modulated
																											elements.
																		
			
				
																						Außerdem
																											benötigt
																											das
																											Ellipsometer
																											keine
																											elektrooptisch
																											modulierten
																											Bauteile.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						That
																											further
																											enhances
																											the
																											flexibility
																											of
																											use
																											of
																											the
																											ellipsometer.
																		
			
				
																						Hierdurch
																											wird
																											die
																											vielfältige
																											Verwendbarkeit
																											des
																											Ellipsometers
																											noch
																											erhöht.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Normally,
																											repeated
																											calibration
																											measurements
																											are
																											necessary
																											for
																											the
																											adjustment
																											of
																											the
																											sample
																											and
																											ellipsometer.
																		
			
				
																						Für
																											die
																											Justierung
																											von
																											Probe
																											und
																											Ellipsometer
																											sind
																											normalerweise
																											wiederholte
																											Eichmessungen
																											erforderlich.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Details
																											of
																											the
																											structural
																											design
																											of
																											this
																											ellipsometer
																											cannot
																											be
																											inferred
																											from
																											this
																											publication.
																		
			
				
																						Einzelheiten
																											der
																											Ausführung
																											dieses
																											Ellipsometers
																											sind
																											dieser
																											Schrift
																											nicht
																											zu
																											entnehmen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											these
																											cases,
																											the
																											geometry
																											of
																											the
																											oxidation
																											oven
																											is
																											normally
																											adapted
																											to
																											the
																											structure
																											of
																											the
																											ellipsometer.
																		
			
				
																						Üblicherweise
																											wird
																											hier
																											die
																											Geometrie
																											des
																											Oxidationsofens
																											der
																											Struktur
																											des
																											Ellipsometers
																											angepasst.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Determination
																											of
																											the
																											layer
																											thickness
																											using
																											an
																											ellipsometer
																											gave
																											a
																											layer
																											thickness
																											of
																											6.3
																											nm
																											per
																											AB
																											layer
																											sequence.
																		
			
				
																						Die
																											Schichtdickenbestimmung
																											mit
																											dem
																											Ellipsometer
																											ergab
																											eine
																											Schichtdicke
																											von
																											6.3
																											nm
																											pro
																											AB-Schichtzyklus.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											layer
																											structure
																											and
																											the
																											ellipsometer
																											40
																											are
																											identical.
																		
			
				
																						Der
																											Schichtaufbau
																											und
																											das
																											Ellipsometer
																											40
																											sind
																											identisch.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											ellipsometer
																											was
																											installed
																											in
																											a
																											re-rolling
																											mill
																											and
																											linked
																											with
																											the
																											on-site
																											computer
																											system.
																		
			
				
																						Das
																											Ellipsometer
																											wurde
																											im
																											Nachwalzwerk
																											installiert
																											und
																											in
																											das
																											betriebsinterne
																											Rechnersystem
																											eingebunden.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						The
																											layer
																											thicknesses
																											reported
																											were
																											measured
																											with
																											a
																											SENpro
																											ellipsometer,
																											from
																											Sentech,
																											Berlin.
																		
			
				
																						Die
																											angegebenen
																											Schichtdicken
																											wurden
																											mit
																											einem
																											Ellipsometer
																											SENpro,
																											Firma
																											Sentech,
																											Berlin
																											gemessen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											ellipsometer
																											can
																											be
																											operated
																											with
																											different
																											laser
																											light
																											sources
																											in
																											order
																											to
																											permit
																											wavelength-dependent
																											analysis.
																		
			
				
																						Dieses
																											Ellipsometer
																											kann
																											mit
																											unterschiedlichen
																											Laser-Lichtquellen
																											betrieben
																											werden,
																											um
																											eine
																											Wellenlängen
																											abhängige
																											Analyse
																											zu
																											ermöglichen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											this
																											respect,
																											besides
																											the
																											data
																											determined
																											with
																											the
																											ellipsometer,
																											it
																											is
																											also
																											necessary
																											to
																											have
																											additional
																											information
																											which
																											makes
																											it
																											possible
																											to
																											decide
																											which
																											is
																											the
																											correct
																											thickness
																											value
																											within
																											a
																											multiplet
																											of
																											a
																											plurality
																											of
																											measurement
																											values.
																		
			
				
																						Insofern
																											benötigt
																											man
																											neben
																											den
																											mit
																											dem
																											Ellipsometer
																											ermittelten
																											Daten
																											noch
																											zusätzliche
																											Angaben,
																											mit
																											deren
																											Hilfe
																											man
																											entscheiden
																											kann,
																											welches
																											der
																											richtige
																											Dickenwert
																											innerhalb
																											eines
																											Multipletts
																											mehrerer
																											Messwerte
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Although
																											the
																											ellipsometer
																											is
																											relatively
																											simple
																											in
																											design,
																											the
																											measuring
																											operation
																											turns
																											out
																											to
																											be
																											relatively
																											complicated,
																											particularly
																											because
																											the
																											measurement
																											values
																											must
																											be
																											determined
																											in
																											dependence
																											on
																											polarizer
																											and
																											analyzer
																											settings,
																											and
																											because,
																											after
																											the
																											measuring
																											operation,
																											extensive
																											calculations
																											are
																											still
																											required
																											in
																											order
																											to
																											arrive
																											at
																											the
																											actual
																											measurement
																											values.
																		
			
				
																						Obgleich
																											das
																											Ellipsometer
																											relativ
																											einfach
																											aufgebaut
																											ist,
																											erweist
																											sich
																											der
																											Messvorgang
																											als
																											relativ
																											kompliziert,
																											insbesondere
																											deshalb,
																											weil
																											die
																											Messwerte
																											in
																											Abhängigkeit
																											von
																											Polarisator-
																											und
																											Analysatoreinstellungen
																											ermittelt
																											werden
																											müssen
																											und
																											danach
																											noch
																											umfassende
																											Berechnungen
																											notwendig
																											sind,
																											bis
																											man
																											die
																											tatsächlichen
																											Messwerte
																											erhält.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											upper
																											curve
																											was
																											obtained
																											by
																											means
																											of
																											a
																											conventional
																											ellipsometer,
																											a
																											measuring
																											time
																											of
																											about
																											5
																											minutes
																											being
																											required
																											for
																											each
																											point
																											on
																											the
																											curve.
																		
			
				
																						Die
																											obere
																											Kurvendarstellung
																											wurde
																											mit
																											Hilfe
																											eines
																											herkömmlichen
																											Ellipsometers
																											gewonnen,
																											wobei
																											für
																											jeden
																											Punkt
																											dieser
																											Darstellung
																											etwa
																											5
																											Minuten
																											Meßzeit
																											erforderlich
																											waren.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						If
																											measuring
																											results
																											are
																											required
																											which
																											without
																											interpretation
																											and
																											marginal
																											conditions
																											being
																											considered
																											permit
																											clear
																											statements
																											on
																											polarization
																											direction
																											and
																											ellipticity
																											it
																											is
																											possible
																											to
																											select
																											a
																											device
																											which
																											is
																											obtained
																											by
																											adding
																											a
																											further
																											detector
																											additionally
																											measuring
																											the
																											intensity
																											in
																											one
																											of
																											the
																											polarization
																											directions,
																											instead
																											of
																											the
																											above
																											described
																											device
																											comprising
																											only
																											one
																											Wollaston
																											prism
																											and
																											one
																											analyzer
																											and
																											not
																											permitting
																											a
																											clear
																											correlation
																											of
																											the
																											measured
																											amplitudes
																											to
																											the
																											x-direction
																											or
																											y-direction
																											as
																											also
																											known
																											from
																											the
																											ellipsometer.
																		
			
				
																						Werden
																											Meßergebnisse
																											gefordert,
																											die
																											ohne
																											Interpretation
																											und
																											ohne
																											Berücksichtigung
																											von
																											Randbedingungen
																											eindeutige
																											Aussagen
																											über
																											Polarisationsrichtung
																											und
																											Ellipsität
																											zulassen,
																											so
																											kann
																											anstelle
																											der
																											oben
																											beschriebenen
																											Vorrichtung
																											mit
																											nur
																											einem
																											Wollaston-Prisma
																											und
																											einem
																											Analysator,
																											bei
																											der
																											die
																											Zuordnung
																											der
																											gemessenen
																											Amplituden
																											zur
																											x-Richtung
																											bzw.
																											y-Richtung,
																											wie
																											auch
																											vom
																											Ellipsometer
																											bekannt,
																											nicht
																											eindeutig
																											ist,
																											eine
																											Vorrichtung
																											gewählt
																											werden,
																											die
																											durch-Hinzufügen
																											eines
																											weiteren
																											Detektors
																											erhalten
																											wird,
																											der
																											die
																											Intensität
																											in
																											einer
																											der
																											Polarisationsrichtungen
																											zusätzlich
																											mißt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											regard
																											to
																											ellipsometric
																											methods,
																											a
																											distinction
																											is
																											made
																											in
																											particular
																											in
																											regard
																											to
																											the
																											instrument
																											used
																											(also
																											referred
																											to
																											as
																											the
																											ellipsometer)
																											and
																											the
																											procedures
																											used
																											for
																											extracting
																											and
																											interpreting
																											the
																											measurement
																											data.
																		
			
				
																						In
																											der
																											Ellipsometrie
																											wird
																											insbesondere
																											unterschieden
																											im
																											Hinblick
																											auf
																											das
																											verwendete
																											Instrument
																											(das
																											Ellipsometer)
																											und
																											die
																											Verfahren
																											zur
																											Gewinnung
																											und
																											Auswertung
																											der
																											Meßdaten.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						An
																											ellipsometer
																											essentially
																											comprises
																											a
																											light
																											source
																											for
																											emitting
																											polarised
																											light,
																											a
																											testpiece
																											and
																											an
																											analyser
																											which
																											analyses
																											polarisation
																											of
																											the
																											light
																											after
																											it
																											has
																											been
																											reflected
																											at
																											the
																											testpiece
																											or
																											after
																											it
																											has
																											been
																											transmitted
																											through
																											the
																											testpiece.
																		
			
				
																						Ein
																											Ellipsometer
																											besteht
																											im
																											wesentlichen
																											aus
																											einer
																											Lichtquelle,
																											welche
																											polarisiertes
																											Licht
																											ausstrahlt,
																											aus
																											der
																											Probe
																											und
																											einem
																											Analysator,
																											welcher
																											die
																											Polarisation
																											des
																											Lichts
																											nach
																											seiner
																											Reflexion
																											an
																											der
																											Probe
																											bzw.
																											nach
																											dem
																											Durchtritt
																											durch
																											die
																											Probe
																											analysiert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						It
																											will
																											be
																											seen
																											therefore
																											that
																											the
																											invention
																											provides
																											a
																											novel
																											photometric
																											ellipsometric
																											method
																											and
																											a
																											novel
																											photometric
																											ellipsometer,
																											wherein
																											a
																											polarisation
																											modulating
																											device
																											is
																											altered
																											in
																											discrete
																											predetermined
																											steps
																											in
																											regard
																											to
																											its
																											properties
																											which
																											influence
																											the
																											polarisation
																											of
																											the
																											light
																											beam,
																											in
																											the
																											form
																											of
																											reflecting
																											surfaces
																											which
																											have
																											different
																											optical
																											properties
																											and
																											on
																											to
																											which
																											the
																											radiation
																											impinges
																											at
																											an
																											acute
																											angle,
																											in
																											particular
																											at
																											an
																											angle
																											of
																											incidence
																											of
																											from
																											45°
																											to
																											80°,
																											with
																											measurements
																											being
																											made
																											in
																											respect
																											of
																											the
																											respective
																											intensities
																											which
																											correspond
																											to
																											the
																											discrete
																											step
																											values
																											and
																											which
																											are
																											received
																											by
																											a
																											detector.
																		
			
				
																						Durch
																											die
																											Erfindung
																											wird
																											ein
																											neues
																											photometrisches
																											Ellipsometrieverfahren
																											und
																											ein
																											neues
																											photometrisches
																											Ellipsometer
																											geschaffen,
																											bei
																											denen
																											ein
																											Polarisationsmodulator
																											hinsichtlich
																											seiner
																											die
																											Polarisation
																											des
																											Lichtstrahls
																											beeinflussenden
																											Eigenschaften
																											in
																											Form
																											von
																											unterschiedliche
																											optische
																											Eigenschaften
																											aufweisenden
																											reflektierenden
																											Flächen,
																											auf
																											die
																											die
																											Strahlung
																											mit
																											spitzem
																											Einfallswinkel,
																											insbesondere
																											mit
																											einem
																											Ein-
																											fallswinkel
																											von
																											45
																											bis
																											80,
																											auftrifft,
																											in
																											diskreten
																											vorbestimnten
																											Stufen
																											geändert
																											wird
																											und
																											jeweils
																											die
																											den
																											diskreten
																											Stufenwerten
																											entsprechenden
																											Intensitäten,
																											welche
																											von
																											einem
																											Detektor
																											empfangen
																											werden,
																											gemessen
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											ellipsometer
																											according
																											to
																											the
																											present
																											invention
																											employs
																											two
																											or
																											more
																											polarisation
																											modulating
																											elements,
																											for
																											use
																											with
																											different
																											predetermined
																											properties,
																											which
																											are
																											discrete
																											relative
																											to
																											each
																											other,
																											for
																											influencing
																											the
																											polarisation
																											of
																											the
																											elliptical
																											light.
																		
			
				
																						Beim
																											erfindungsgemäßen
																											Ellipsometer
																											kommen
																											zwei
																											oder
																											mehrere
																											Polarisationsmodulatorelemente
																											zum
																											Einsatz
																											mit
																											voneinander
																											abgestuften
																											unterschiedlichen
																											vorbestirrmten,
																											die
																											Polarisation
																											des
																											elliptischen
																											Lichts
																											beeinflussenden
																											Eigenschaften
																											zur
																											Anwendung.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Furthermore
																											the
																											measurement
																											accuracy
																											of
																											an
																											ellipsometer
																											is
																											limited
																											since
																											the
																											cell
																											containing
																											the
																											liquid
																											can
																											influence
																											the
																											state
																											of
																											polarisation
																											of
																											the
																											light.
																		
			
				
																						Zudem
																											ist
																											im
																											Falle
																											des
																											Ellipsometers
																											die
																											Messgenauigkeit
																											beschraenkt,
																											da
																											die
																											Messkuevette
																											den
																											Polarisationszustand
																											des
																											Lichtes
																											beeinflusst.
															 
				
		 EuroPat v2