Translation of "Energy dispersive" in German
																						Electron
																											impact
																											spectrometers
																											for
																											the
																											described
																											application
																											have
																											been
																											realized
																											with
																											different
																											types
																											of
																											energy
																											dispersive
																											elements.
																		
			
				
																						Elektronenstoßspektrometer
																											für
																											die
																											beschriebenen
																											Anwendungen
																											sind
																											mit
																											verschiedenartigen
																											energiedispersiven
																											Elementen
																											realisiert
																											worden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											phases
																											which
																											are
																											present
																											can
																											be
																											identified
																											by
																											analyzing
																											the
																											composition
																											using
																											energy-dispersive
																											X-ray
																											analysis.
																		
			
				
																						Die
																											vorliegenden
																											Phasen
																											können
																											durch
																											Analyse
																											der
																											Zusammensetzung
																											mittels
																											energiedispersiver
																											Röntgenanalyse
																											identifiziert
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Samples
																											have
																											been
																											subjected
																											to
																											studies
																											by
																											scanning
																											electron
																											microscope
																											with
																											energy
																											dispersive
																											spectrometer
																											(SEM-EDS).
																		
			
				
																						Die
																											Proben
																											wurden
																											mittels
																											Elektronenmikroskop
																											mit
																											energiedispersivem
																											Spektrometer
																											(SEM-EDS)
																											untersucht.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						The
																											atomic
																											ratio
																											was
																											determined
																											by
																											means
																											of
																											EDXS
																											(energy
																											dispersive
																											X-ray
																											spectroscopy).
																		
			
				
																						Das
																											Atomverhältnis
																											wurde
																											mittels
																											EDXS
																											(Energy
																											Dispersive
																											X-Ray
																											Spectroscopy)
																											bestimmt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Advantageously,
																											this
																											qualitative
																											analysis
																											is
																											performed
																											by
																											means
																											of
																											an
																											EDX
																											method
																											(energy-dispersive
																											X-ray
																											analysis).
																		
			
				
																						Vorteilhafterweise
																											erfolgt
																											diese
																											qualitative
																											Analyse
																											mit
																											Hilfe
																											eines
																											EDX-Verfahrens
																											(energiedispersive
																											Röntgenanalyse).
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											energy-dispersive
																											X-ray
																											analysis
																											was
																											performed
																											by
																											an
																											EDAX
																											system.
																		
			
				
																						Die
																											energiedispersive
																											Röntgenanalyse
																											wurde
																											mit
																											einem
																											System
																											der
																											Firma
																											EDAX
																											durchgeführt).
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											transverse
																											section
																											was
																											investigated
																											by
																											energy-dispersive
																											analysis
																											in
																											a
																											scanning
																											electron
																											microscope.
																		
			
				
																						Der
																											Querschliff
																											wurde
																											mittels
																											energiedispersiver
																											Analyse
																											im
																											Rasterelektronenmikroskop
																											untersucht.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Once
																											again
																											Bruker
																											sets
																											standards
																											in
																											performance
																											and
																											functionality
																											in
																											energy-dispersive
																											spectrometry
																											for
																											the
																											scanning
																											electron
																											microscope.
																		
			
				
																						Wieder
																											einmal
																											setzt
																											Bruker
																											Standards
																											bei
																											Leistung
																											und
																											Funktionalität
																											in
																											der
																											energiedispersiven
																											Spektrometrie
																											für
																											Rasterelektronenmikroskope.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						The
																											spectrometers
																											range
																											from
																											energy-dispersive
																											benchtop
																											XRF
																											systems
																											to
																											wavelength-dispersive
																											high-performance
																											XRF
																											systems
																											and
																											products
																											for
																											semiconductor
																											measurement.
																		
			
				
																						Die
																											Spektrometer
																											reichen
																											von
																											energiedispersiven
																											RFA-Tischsystemen
																											bis
																											hin
																											zu
																											wellenlängendispersiven
																											Hochleistungs-RFA-Systemen
																											und
																											Produkten
																											für
																											die
																											Halbleitermesstechnik.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						The
																											X-ray
																											spectrum
																											emitted
																											by
																											the
																											sample
																											being
																											examined
																											is
																											measured
																											by
																											means
																											of
																											an
																											energy-dispersive
																											X-ray
																											spectrometer.
																		
			
				
																						Das
																											von
																											der
																											zu
																											untersuchenden
																											Probe
																											emittierte
																											Röntgenstrahlungsspektrum
																											wird
																											mittels
																											eines
																											energiedispersiven
																											Röntgenspektrometers
																											gemessen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Thereafter,
																											the
																											layer
																											thickness
																											was
																											measured,
																											and
																											the
																											elemental
																											composition
																											was
																											determined
																											using
																											an
																											EDX
																											analysis
																											(energy-dispersive
																											X-ray
																											spectroscopy).
																		
			
				
																						Anschließend
																											wurde
																											die
																											Schichtdicke
																											gemessen
																											und
																											die
																											Elementzusammensetzung
																											mit
																											einer
																											EDX-Analyse
																											(Energiedispersive
																											Röntgenspektroskopie)
																											ermittelt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											resulting
																											powder
																											was
																											likewise
																											examined
																											with
																											the
																											aid
																											of
																											transmission
																											electron
																											microscopy
																											and
																											energy-dispersive
																											X-ray
																											spectroscopy.
																		
			
				
																						Das
																											resultierende
																											Pulver
																											wurde
																											ebenfalls
																											mit
																											Hilfe
																											der
																											Transmissionselektronenmikroskopie
																											und
																											der
																											energiedispersivem
																											Röntgenspektroskopie
																											untersucht.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											setting
																											to
																											different
																											energy
																											bandwidths
																											takes
																											place
																											by
																											deflection
																											perpendicularly
																											to
																											the
																											energy-dispersive
																											direction
																											of
																											the
																											filter.
																		
			
				
																						Die
																											Einstellung
																											auf
																											unterschiedliche
																											Energiebandbreiten
																											erfolgt
																											durch
																											Auslenkung
																											senkrecht
																											zur
																											energiedispersiven
																											Richtung
																											des
																											Filters.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											proportion
																											is
																											easily
																											measurable,
																											for
																											example,
																											by
																											energy-dispersive
																											x-ray
																											spectroscopy
																											(EDX)
																											on
																											the
																											scanning
																											electron
																											microscope.
																		
			
				
																						Dieser
																											Anteil
																											ist
																											leicht
																											durch
																											beispielsweise
																											Energiedispersive
																											Röntgenspektroskopie
																											(EDX)
																											am
																											Rasterelektronenmikroskop
																											messbar.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Transmission
																											Electron
																											Microscopy
																											(Philips
																											CM
																											200
																											FEG-UT
																											with
																											energy
																											dispersive
																											X-ray
																											spectroscopy)
																											is
																											applied
																											to
																											study
																											the
																											microstructure.
																		
			
				
																						Transmissionselektronenmikroskopie
																											(Philips
																											CM
																											200
																											FEG-UT
																											mit
																											energiedispersiver
																											Röntgenspektroskopie)
																											dient
																											zur
																											mikrostrukturellen
																											Analyse.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						The
																											present
																											invention
																											further
																											encompasses
																											an
																											electron
																											impact
																											spectrometer
																											having
																											electrostatic
																											cylinder-condenser-deflection
																											units
																											as
																											energy
																											dispersive
																											units,
																											in
																											which
																											an
																											inventive
																											beam
																											guide
																											is
																											provided
																											and
																											which
																											is
																											conceived
																											especially
																											for
																											collision
																											or
																											impact
																											energies
																											between
																											1
																											and
																											1000
																											eV.
																		
			
				
																						Sie
																											umfaßt
																											ferner
																											ein
																											Elektronenstoßspektrometer
																											mit
																											elektrostatischen
																											Zylinderkondensator-Ablenkeinheiten
																											als
																											energiedispersive
																											Einheiten,
																											in
																											dem
																											eine
																											erfindungsgemäße
																											Strahlführung
																											vorgesehen
																											wird
																											und
																											das
																											insbesondere
																											für
																											Stoßenergien
																											zwischen
																											1
																											und
																											1000
																											eV
																											konzipiert
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											present
																											invention
																											balances
																											out
																											the
																											system
																											conditioned
																											disadvantages
																											of
																											cylinder
																											condensers,
																											which
																											consist
																											therein
																											that
																											these
																											energy-dispersive
																											elements
																											focus
																											only
																											in
																											one
																											plane.
																		
			
				
																						Durch
																											die
																											Erfindung
																											wird
																											der
																											Systembedingte
																											Nachteil
																											von
																											Zylinderkondensatoren,
																											der
																											darin
																											besteht,
																											daß
																											diese
																											energiedispersiven
																											Elemente
																											nur
																											in
																											einer
																											Ebene
																											fokussieren,
																											susgeglichen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Furthermore,
																											the
																											present
																											invention
																											makes
																											possible
																											the
																											utilization
																											of
																											especially
																											easy
																											to
																											finish
																											and
																											produce
																											cylinder
																											condensers
																											as
																											energy
																											dispersive
																											elements
																											without
																											loss
																											of
																											current
																											and
																											resolution.
																		
			
				
																						Ferner
																											ermöglicht
																											die
																											Erfindung
																											die
																											Verwendung
																											von
																											besonders
																											einfach
																											zu
																											fertigenden
																											Zylinderkondensatoren
																											als
																											energiedispersive
																											Elemente
																											ohne
																											Verlust
																											an
																											Strom
																											und
																											Auflösung.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Such
																											energy
																											dispersive
																											system
																											is
																											self-focusing,
																											which
																											means
																											electrons
																											of
																											the
																											desired
																											energy
																											passing
																											the
																											input
																											diaphragm
																											3,3'
																											are
																											focused
																											upon
																											the
																											output
																											diaphragm
																											4,
																											4'.
																		
			
				
																						Solche
																											energiedispersiven
																											Systeme
																											sind
																											selbstfokussierend,
																											das
																											seißt
																											Elektronen
																											der
																											erwünschten
																											Energie
																											werden
																											von
																											der
																											Eintrittsblende
																											3,
																											3'
																											auf
																											die
																											Austrittsblende
																											4,
																											4'
																											abgebildet.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											the
																											case
																											of
																											cylinder
																											condensers
																											as
																											energy
																											dispersive
																											elements,
																											the
																											input
																											diaphragm
																											and
																											the
																											output
																											diaphragm
																											conventionally
																											are
																											formed
																											with
																											longitudinal
																											slits
																											("slitted
																											diaphragms"),
																											and
																											the
																											self-focusing
																											occurs
																											only
																											in
																											the
																											plane
																											perpendicular
																											to
																											the
																											cylinder
																											axis
																											(viewing
																											plane
																											in
																											FIG.
																		
			
				
																						Im
																											Falle
																											von
																											Zylinderkondensatoren
																											als
																											energiedispersive
																											Elemente
																											sind
																											Ein-
																											und
																											Ausgangsblende
																											üblicherweise
																											in
																											der
																											Form
																											von
																											Längsschlitzen
																											(»Schlitzblenden«)
																											ausgebildet
																											und
																											die
																											Selbstfokussierung
																											erfolgt
																											nur
																											in
																											der
																											Ebene
																											senkrecht
																											zur
																											Zylinderachse,
																											(Aufsichtebene
																											in
																											Fig.
															 
				
		 EuroPat v2