Translation of "Etching process" in German
One
method
of
etching
is
by
process
of
plasma
etching
or
reactive
ion
etching.
Ein
Ätzverfahren
ist
das
Plasmaätzen
oder
reaktive
Ionenätzen.
EuroPat v2
Particularly,
the
etching
process
is
suitable
for
an
automatic
production
process.
Insbesondere
das
Ätzverfahren
ist
für
einen
automatischen
Herstellungsvorgang
geeignet.
EuroPat v2
After
consumption
of
HCl
by
the
etching
process,
hydrochloric
acid
and
KCl
solution
are
added
as
required.
Nach
dem
Verbrauch
der
Salzsäure
durch
den
Ätzprozeß
werden
Salzsäure
und
KCI-Lösung
zugesetzt.
EuroPat v2
Yet
further,
the
progress
of
the
etching
process
can
be
readily
observed
via
the
fully
or
partially
transparent
wall.
Der
Ätzvorgang
kann
außerdem
durch
die
voll
oder
teilweise
durchsichtige
Apparatur
beobachtet
werden.
EuroPat v2
Etching
with
argon
ions
is
an
etching
process
with
low
etching
rate
and
small
selectivity.
Das
lonenätzen
mit
Argonionen
ist
ein
Ätzprozess
mit
niedriger
Ätzrate
und
geringer
Selektivität.
EuroPat v2
However,
according
to
the
etching
process
a
separate
electron
beam
tester
is
necessary
for
the
actual
potential
measurement.
Für
die
eigentliche
Potentialmessung
ist
jedoch
nach
dem
Ätzvorgang
ein
gesonderter
Elektronenstrahltester
erforderlich.
EuroPat v2
The
ion
energy
and,
thus,
the
etching
process
is
controlled
via
the
wafer
holder.
Über
den
Scheibenhalter
wird
die
Ionenenergie
und
damit
der
Ätzprozeß
gesteuert.
EuroPat v2
In
the
etching
process,
these
layers
are
already
materially
bonded
to
the
carrier.
Beim
Ätzvorgang
sind
diese
Schichten
bereits
mit
der
Trägerfolie
stoffschlüssig
verbunden.
EuroPat v2
The
etching
process
may
now
be
carried
out
in
the
last
stage
of
hte
collapsing
process.
Das
Ätzverfahren
kann
nun
in
der
letzten
Phase
des
Kollabierprozesses
erfolgen.
EuroPat v2
The
opening
in
the
mask
layer
is
particularly
produced
with
an
anisotropic
etching
process.
Die
Öffnung
in
der
Maskenschicht
wird
insbesondere
durch
einen
anisotropen
Ätzprozeß
erzeugt.
EuroPat v2
The
dimensioning
and
lateral
limitation
of
the
active
stripe
is
defined
by
the
etching
process.
Die
Abmessung
und
seitliche
Begrenzung
des
aktiven
Streifens
wird
durch
den
Ätzprozeß
bestimmt.
EuroPat v2
This
etching
process
can
proceed,
for
example,
through
reactive
ion
etching.
Dieser
Ätzprozeß
kann
beispielsweise
durch
reaktives
Ionenätzen
erfolgen.
EuroPat v2
In
that
way
the
inlet
and
outlet
holes
can
be
produced
simply
by
an
etching
process.
Dabei
können
die
Einlaß-
und
Auslaßlöcher
einfach
durch
einen
Ätzprozeß
erzeugt
werden.
EuroPat v2
The
active
stripe
3
remains
undamaged
in
this
etching
process.
Der
aktive
Streifen
3
bleibt
bei
diesem
Ätzprozeß
unversehrt.
EuroPat v2