Translation of "Focusing coil" in German
The
convergence
and
focussing
is
magnetic
and
occurs
by
means
of
a
focusing
coil
around
a
part
of
the
helical
electrode
situated
on
the
display
screen
side.
Die
Konvergenz
und
die
Fokussierung
sind
magnetisch
und
erfolgen
mittels
einer
Fokussierungsspule
um
den
an
der
Bildschirmseite
liegenden
Teil
der
Wendelelektrode.
EuroPat v2
In
order
for
the
subfield
T
2,
which
is
offset
from
the
optical
axis
41
by
the
amount
M,
to
be
imaged,
the
dynamic
focusing
coil
65,
however,
provides
a
magnetic
focusing
field
such
that
the
object
area
27
is
imaged
onto
an
image
area
31
2
which
is
shifted
in
respect
of
the
image
area
31
1
for
the
subfield
T
1
such
that
a
center
of
the
imaged
subfield
T
2
?
intersects
the
wafer
25
and
is
focused
onto
the
same,
respectively.
Für
die
Abbildung
des
um
den
Betrag
M
von
der
optischen
Achse
41
weg
versetzten
Teilfelds
T2
stellt
allerdings
die
dynamische
Fokusspule
65
ein
magnetisches
fokussierendes
Feld
derart
bereit,
dass
die
Objektfläche
27
auf
eine
Bildfläche
31
2
abgebildet
wird,
welche
gegenüber
der
Bildfläche
31
1
für
das
Teilfeld
T1
derart
verlagert
ist,
dass
ein
Zentrum
des
abgebildeten
Teilfelds
T2'
den
Wafer
25
schneidet
bzw.
auf
diesen
fokussiert
ist.
EuroPat v2
In
order
to
compensate
for
aberrations
between
the
object
plane
27
and
the
image
plane
31,
a
so-called
dynamic
focusing
coil
65
is
provided
which
is
disposed
within
the
focusing
lens
57
.
Zur
Kompensation
von
Abbildungsfehlern
zwischen
Objektebene
27
und
Bildebene
31
ist
eine
sogenannte
dynamische
Fokusspule
65
vorgesehen,
welche
innerhalb
der
Fokussierlinse
57
angeordnet
ist.
EuroPat v2
In
FIG.
7
c,
too,
the
subfield
T
1
is
imaged
without
the
influence
of
the
dynamic
focusing
coil
65
and
the
deflection
lens
device
63,
as
it
was
also
the
case
in
FIGS.
7
a
and
7
b
.
Auch
in
Figur
7c
erfolgt
die
Abbildung
des
Teilfelds
T1
ohne
Einfluss
der
dynamischen
Fokussierspule
65
und
der
Ablenklinseneinrichtung
63,
wie
dies
auch
in
den
Figuren
7a
und
7b
der
Fall
war.
EuroPat v2
However,
they
comprise
pole
shoes
and
are
thus
relatively
inert
so
that
the
compensation
by
the
separate
dynamic
focusing
coil
65
can
be
effected
with
more
precision.
Allerdings
weisen
diese
Polschuhe
auf
und
sind
deshalb
relativ
träge,
so
dass
die
Kompensation
durch
die
separate
dynamische
Fokusspule
65
präziser
möglich
ist.
EuroPat v2
The
focusing
coil
is
connected
to
analog
unit
17
and
digital
control
unit
18
in
a
manner
described
in
detail
in
connection
with
FIGS.
Die
Fokussierspule
ist
dabei
an
der
Analogsteuereinheit
17
und
der
digitalen
Steuereinheit
18
in
der
Weise
angeschlossen,
wie
dies
im
einzelnen
in
Verbindung
mit
Fig.
EuroPat v2
Further,
a
focusing
lens
44
is
provided
for
dynamic
focusing,
and
a
coil
arrangement
46
is
provided
as
a
stigmator.
Ferner
ist
eine
Fokussierlinse
44
für
die
dynamische
Fokussierung
und
eine
Spulenanordnung
46,
die
als
Stigmator
wirkt,
vorgesehen.
EuroPat v2
Therefore,
the
document
proposes
measuring
the
temperature
changes
in
real
time
and
automatically
controlling
the
current
value
of
a
focusing
coil.
Daher
wird
in
der
Druckschrift
vorgeschlagen,
die
Temperaturänderungen
in
Echtzeit
zu
messen
und
den
Stromwert
einer
Fokussierungsspule
automatisch
zu
steuern.
EuroPat v2
The
dynamic
focusing
coil
65
serves
to
compensate
for
a
malfocus
and
is
driven
by
means
of
a
driver
58
such
that
its
field
changes
with
a
substantially
quadratic
dependency
on
the
deflection
of
the
subfield
M.
Such
a
compensation
of
a
malfocus
dependent
upon
the
deflection
M
of
the
subfield
could
also
be
effected
with
the
focusing
lenses
55
and
57
alone.
Die
dynamische
Fokusspule
65
dient
zur
Kompensation
eines
Fokusfehlers
und
wird
mittels
eines
Treibers
58
derart
angesteuert,
dass
sich
ihr
Feld
mit
einer
im
Wesentlichen
quadratischen
Abhängigkeit
von
der
Auslenkung
des
Teilfelds
M
ändert.
Eine
solche
Kompensation
eines
Fokusfehlers
in
Abhängigkeit
von
der
Auslenkung
M
des
Teilfelds
könnte
auch
mit
den
Fokussierlinsen
55
und
57
selbst
erfolgen.
EuroPat v2
An
electron
beam
generated
by
the
electron
gun
4
and
focused
by
the
coils
5
and
6
is
deflected
by
the
deflection
system
7
and
8
such
that
it
sweeps
the
specimen
10
in
a
line
grid
pattern.
Ein
mittels
4
erzeugter
und
durch
die
Spulen
5
und
6
fokussierter
Elektronenstrahl
13
wird
mittels
der
Ablenksysteme
7,
8
so
beeinflußt,
daß
er
die
Probe
10
in
einem
Zeilenraster
überstreicht.
EuroPat v2
Once
again
as
an
example,
two
X-ray
tubes
are
shown,
with
the
corresponding
cathodes
54
a,
54
b
and
the
optional
focusing
electrodes
or
coils
55
a,
55
b
.
Wiederum
exemplarisch
sind
zwei
Röntgenröhren
dargestellt
mit
den
entsprechenden
Kathoden
54a,
54b
und
den
optionalen
Fokussierelektroden
oder
Spulen
55a,
55b.
EuroPat v2
A
magnifying
or
enlarging
coil
10'
is
arranged
around
a
photo-cathode
50
at
the
radiation
input
of
a
photo-cathode
tube
60,
and
behind
the
magnifying
coil
10'
focusing
and
deflecting
coils
20
are
arranged
around
the
tube
60
for
electron
multiplication.
Bildfeldebene
auf
die
folgende
Bildfeldebene
(Phosphor)
abgebildet.
Um
die
Photokathode
50
am
Strahlungseingang
ist
die
Vergrößerungsspule
10
und
hinter
dieser
Focussierungs-
und
Ablenkspulen
20
um
die
Röhre
60
zur
Elektronen-Vervielfachung
herum
angeordnet.
EuroPat v2