Translation of "Freedom from defects" in German
The
essential
selection
criteria
are
flatness
and
freedom
from
defects.
Die
wesentlichen
Auswahlkriterien
sind
deren
Ebenheit
und
die
Freiheit
von
Fehlern.
EuroPat v2
The
achievable
image
quality
therefore
significantly
depends
on
the
freedom
from
defects.
Die
erzielbare
Bildqualität
hängt
daher
wesentlich
von
der
Defektfreiheit
ab.
EuroPat v2
These
compromises
are
necessary
to
be
able
to
optionally
satisfy
the
sometimes
contradictory
requirements,
such
as
the
production
of
cross-wound
bobbins
with
good
running
characteristics
and
a
high
degree
of
freedom
from
defects
while
having
the
lowest
possible
number
of
knots,
achieving
high
production
efficiency,
that
is
to
say
high
performance,
and
reliable
recording
of
all
disturbing
yarn
defects.
Diese
Kompromisse
sind
aber
erforderlich,
um
die
einander
teilweise
widersprechenden
Forderungen,
wie
Herstellung
von
Kreuzspulen
mit
guten
Ablaufeigenschaften
und
hoher
Fehlerfreiheit
bei
möglichst
geringer
Knotenzahl,
Erreichen
eines
hohen
Produktionsnutzeffekts,
also
einer
hohen
Leistung,
und
zuverlässiger
Erfassung
aller
störenden
Garnfehler,
optimal
erfüllen
zu
können.
EuroPat v2
However,
this
approach
does
not
provide
satisfactory
information
on
freedom
from
defects
across
the
entire
cross-sectional
area
of
the
section
(and
thus
in
its
entire
volume).
The
process
according
to
the
current
state
of
the
art
is
also
very
costly
and
involved,
because
a
separate
set
of
probes
is
required
for
each
planar
outer
surface,
and
the
setup
of
the
testing
apparatus
must
also
be
completely
changed
before
new
sections
with
different
geometry
or
dimensions
can
be
tested.
Eine
zufriedenstellende
Aussage
über
die
Fehlerfreiheit
im
gesamten
Profilquerschnitt
und
damit
im
gesamten
Volumen
wird
jedoch
auf
diese
Weise
nicht
erreicht
und
ist
bei
dem
Verfahren
nach
dem
Stand
der
Technik
mit
hohem
Aufwand
verbunden,
da
für
jede
ebene
Mantelfläche
ein
Satz
von
Prüfköpfen
vorgesehen
werden
muß
und
Profile
unterschiedlicher
Geometrie
oder
unterschiedlicher
Abmessungen
jeweils
eine
vollständige
Umstellung
der
Prüfanlage
notwendig
machen.
EuroPat v2
The
successful
production
of
microelectronic
components
having
a
high
integration
density
places
extreme
requirements
on
the
degree
of
flatness,
freedom
from
defects
and
roughness
of
the
semiconductor
wafer
produced
by
polishing.
Die
erfolgreiche
Herstellung
von
mikroelektronischen
Bauteilen
hoher
Integrationsdichte
stellt
extreme
Anforderungen
an
den
Grad
der
Ebenheit,
Defektfreiheit
und
Rauhigkeit
der
durch
Politur
hergestellten
Halbleiterscheibe.
EuroPat v2
The
test
algorithm
in
which
the
test
is
failed
is
executed
again
to
check
on
freedom
from
defects,
which
should
now
prevail.
Der
Testalgorithmus,
bei
dem
der
Test
fehlschlug
wird
erneut
ausgeführt
um
eine
Fehlerfreiheit,
die
nun
gegeben
sein
sollte
zu
überprüfen.
EuroPat v2
As
the
quality
of
the
silicon
layer
is
an
important
prerequisite
for
ensuring
an
acceptable
yield
in
the
manufacture
of
integrated
circuits
in
the
field
of
silicon
technology,
particularly
in
the
field
of
manufacturing
integrated
circuits,
it
is
an
object
of
the
development
to
provide
methods
which
create
a
particularly
high
layer
quality,
i.e.
evenness
and
freedom
from
defects,
for
silicon
wafers
with
an
insulating
intermediate
layer
with
acceptable
expenditure.
Da
im
dem
Gebiet
der
Siliziumtechnologie,
insbesondere
im
Bereich
der
Herstellung
von
integrierten
Schaltungen,
die
Schichtqualität
der
Silizium-Schicht
eine
wichtige
Voraussetzung
ist,
um
eine
vertretbare
Ausbeute
bei
der
Herstellung
von
integrierten
Schaltungen
sicherzustellen,
ist
es
ein
Ziel
der
Entwicklung
Verfahren
bereitzustellen,
die
eine
besonders
hohe
Schichtqualität
d.h.
Gleichmäßigkeit
und
Defektfreiheit
für
Silizium-Wafer
mit
einer
isolierenden
Zwischenschicht
mit
vertretbarem
Aufwand
erzeugen.
EuroPat v2
SUMMARY
OF
THE
INVENTION
An
object
of
the
present
invention
is
to
provide
a
method
for
producing
a
laterally
limited,
single-crystal
region
with
selective
epitaxy
by
means
of
which
sidewall
defects
in
the
single-crystal
region
are
effectively
suppressed,
and
which
allows
the
manufacture
of
single-crystal
regions
that
have
adequate
freedom
from
defects
given
employment
as
an
active
region.
Der
Erfindung
liegt
das
Problem
zugrunde,
ein
Verfahren
zur
Herstellung
eines
seitlich
begrenzten,
einkristallinen
Gebietes
mittels
selektiver
Epitaxie
anzugeben,
mit
dem
Seitenwanddefekte
in
dem
einkristallinen
Gebiet
wirksam
unterdrückt
werden
und
daß
die
Herstellung
von
einkristallinen
Gebieten
erlaubt,
die
eine
bei
der
Verwendung
als
aktives
Gebiet
ausreichende
Defektfreiheit
aufweisen.
EuroPat v2
Compared
to
transducer
elements
which
are
manufactured
using
known
techniques,
such
as
by
sawing,
this
has
the
advantage
of
freedom
from
mechanical
defects
and
undisturbed
piezoelectric
properties
at
the
transducer
element
surface.
Dies
hat
im
Vergleich
zu
Wandlerelementen,
die
z.
B.
in
der
bekannten
Sägetechnik
hergestellt
sind,
den
Vorteil
einer
mechanischen
Defektfreiheit
und
ungestörter
piezoelektrischer
Eigenschaften
in
der
Oberfläche.
EuroPat v2
As
described
in
this
publication,
it
is
important
that
the
material
of
a
semiconductor
chip
carrying
the
LSI
circuit
have
uniformity
and
freedom
from
defects
such
that
every
individual
functional
element
of
the
integrated
circuit
is
operational.
Fraglos
ist
es
wichtig,
daß
das
Material
eines
Halbleiterchips,
das
eine
solche
hochintegrierte
Schaltung
trägt,
eine
solche
Homogenität
und
Fehlerfreiheit
besitzt,
daß
jedes
einzelnes
Funktionselement
dieser
integrierten
Schaltung
funktionstüchtig
ist.
EuroPat v2
For
this
reason,
it
is
standard
practice
to
check
substrate
wafers,
which
are
to
be
employed
for
semiconductor
circuits,
for
their
operability
and
freedom
from
defects
before
undertaking
manufacture
of
the
actual
semiconductor
chips.
Es
ist
gängige
Praxis,
für
Halbleiterschaltungen
zu
verwendende
Substratscheiben
vor
der
Herstellung
der
Halbleiterchips
auf
ihre
Brauchbarkeit
und
Fehlerfreiheit
zu
überprüfen.
EuroPat v2
The
effectiveness
of
the
passive
protection
of
the
pipe
line
via
the
coating
is
a
function
of
the
quality,
i.e.
the
freedom
from
defects,
of
the
coating.
Die
Effektivität
des
passiven
Schutzes
der
Rohrleitung
über
die
Beschichtung
ist
abhängig
von
der
Qualität,
d.
h.
von
der
Fehlerfreiheit
der
Beschichtung.
EuroPat v2
Just
as
in
conventional
ingot
teeming
practice,
the
structure,
segregation,
cleanness,
and
freedom
from
defects
depends
on
a
multitude
of
factors
including
superheat,
casting
speed
(equivalent
to
rate
of
rise
in
an
ingot
mould),
composition
and
cooling
conditions.
Genau
wie
bei
der
konventionellen
Technik
des
Block
gusses
hängen
das
Gefüge,
die
Seigerungen,
der
Reinheitsgrad
und
die
Vermeidung
von
Fehlern
von
einer
Vielzahl
von
Faktoren
ab
einschließlich
Überhitzung,
Gießgeschwindigkeit
(entsprechend
der
Füllgeschwindigkeit
in
der
Blockkokille),
che
mischer
Zusammensetzung
und
Abkühlbedingungen.
EUbookshop v2
It
is
also
especially
advantageous
that,
because
of
the
small
center-to-center
spacing
of
the
sensing
points,
these
are
arranged
in
such
a
fine
grid
that
the
structures
of
the
opposed
test
specimen,
e.g.,
conductive
path
structures
and
pads
of
the
test
specimen,
can
be
electromechanically
imaged
and
visually
or
automatically
checked
for
freedom
from
defects.
Es
ist
daher
möglich,
die
Tastpunkte
in
einem
sehr
geringen
Abstand
zueinander
anzuordnen,
daß
die
Strukturen
des
gegenüberliegenden
Prüflings,
beispielsweise
von
Leiterbahnstrukturen
und
Pads
des
Prüflings,
abgebildet
und
visuell
oder
selbsttätig
auf
Fehlerfreiheit
geprüft
werden
können.
EuroPat v2
Furthermore,
the
sensing
points
can
be
arranged
on
such
a
fine
grid
that
the
conductive
path
structures
and
pads
of
the
test
specimen
which
are
freely
disposed
opposite
the
sensing
points
can
be
mapped
in
a
grid-like
fashion
and
visually
or
automatically
checked
for
freedom
from
defects.
Auch
können
die
Tastpunkte
in
so
engem
Raster
angeordnet
sein,
daß
die
den
Tastpunkten
frei
gegenüberliegenden
Leiterbahnstrukturen
und
Pads
der
Prüflinge
rasterartig
abgebildet
und
visuell
oder
selbsttätig
auf
Fehlerfreiheit
geprüft
werden
können.
EuroPat v2
During
testing,
the
conductive
path
26--as
well
as
every
other
conductive
path--of
the
test
specimen
is
checked
for
freedom
from
defects,
i.e.,
that
it
has
no
interruption
and
that
no
short
circuit
to
other
conductive
paths
exists.
Bei
der
Prüfung
wird
die
Leiterbahn
26
-
wie
auch
jede
andere
Leiterbahn
-
des
Prüflings
auf
Fehlerfreiheit
geprüft,
d.h.
daß
sie
keine
Unterbrechung
hat
und
auch
kein
Kurzschluß
zu
anderen
Leiterbahnen
besteht.
EuroPat v2
Using
testing
devices
in
accordance
with
the
invention
such
as,
for
example,
that
of
FIG.
1,
it
is
also
possible
to
perform
numerical
or
other
measurements
on
or
with
tests
specimens,
e.g.,
measurements
relating
to
the
maintenance
of
predetermined
tolerances
for
electrical
properties,
to
additionally
or
exclusively
check
test
specimens
for
freedom
from
defects
in
this
respect.
Es
ist
auch
möglich,
mit
erfindungsgemäßen
Prüfvorrichtungen,
bspw.
mit
der
nach
Fig.
1,
auch
Prüfungen
unter
Vornahme
zahlenmäßiger
oder
sonstiger
Messungen
an
Prüflingen
vorzunehmen
oder
mit
vorzunehmen,
bspw.
auch
Messungen
auf
Einhaltung
vorbestimmter
Toleranzen
elektrischer
Eigenschaften,
um
Prüflinge,
auch
oder
nur
in
solcher
Hinsicht
auf
ihre
Fehlerfreiheit
zu
prüfen.
EuroPat v2
When
a
test
specimen
contains
integrated
circuits,
impedances,
capacitances
or
the
like,
for
instance,
the
properties
of
such
electrical
components,
or
all
or
at
least
one
of
their
functions,
can
be
measured
and
checked
for
freedom
from
defects
which,
as
already
mentioned,
is
understood
to
include
the
maintenance
of
predetermined
tolerances,
e.g.,
the
magnitude
of
resistances
and
the
like.
Wenn
ein
Prüfling
bspw.
integrierte
Schaltkreise,
Impedanzen,
Kapazitäten
oder
dgl.
aufweist,
können
die
Eigenschaften
solcher
elektrischer
Komponenten
oder
ihre
gesamten
oder
mindestens
eine
ihrer
Funktionen
auf
Fehlerfreiheit
gemessen
und
geprüft
werden,
worunter,
wie
erwähnt,
auch
die
Einhaltung
vorbestimmter
Toleranzen,
bspw.
der
Größe
von
Widerständen
oder
dgl.,
mit
verstanden
ist.
EuroPat v2
Now
checking
of
the
test
specimen
24,
e.g.,
a
chip,
for
freedom
from
defects
takes
place
by
means
of
the
testing
circuit
system
of
this
testing
device.
Nunmehr
erfolgt
die
Prüfung
des
Prüflings
24,
bspw.
eines
Chips,
auf
Fehlerfreiheit
durch
die
Prüfschaltung
dieser
Prüfvorrichtung.
EuroPat v2
"Essential
contractual
obligations"
are
deemed
to
be:
the
timely
delivery
and
installation
of
the
delivery
item,
its
freedom
from
defects
which
impair
its
functionality
or
usability
more
than
merely
insignificantly,
as
well
as
consultancy,
protection
and
care
duties
that
enable
the
Client
to
properly
use
the
delivery
item
or
which
aims
to
protect
the
lives
and
health
of
the
Client's
personnel
or
its
property
from
significant
damage.
Vertragswesentlich
sind
die
Verpflichtung
zur
rechtzeitigen
Lieferung
und
Installation
des
Liefergegenstands,
dessen
Freiheit
von
Mängeln,
die
seine
Funktionsfähigkeit
oder
Gebrauchstauglichkeit
mehr
als
nur
unerheblich
beeinträchtigen,
sowie
Beratungs-,
Schutz-
und
Obhutspflichten,
die
dem
Auftraggeber
die
vertragsgemäße
Verwendung
des
Liefergegenstands
ermöglichen
sollen
oder
den
Schutz
von
Leib
oder
Leben
von
Personal
des
Auftraggebers
oder
den
Schutz
von
dessen
Eigentum
vor
erheblichen
Schäden
bezwecken.
ParaCrawl v7.1
By
use
of
the
method
according
to
the
invention,
for
the
coating
with
magnesium
stearate
an
implant
may
be
manufactured
which
is
characterized
by
freedom
from
defects
in
the
body
surface
as
the
result
of
subsequent
sealing.
Mittels
des
erfindungsgemäßen
Verfahrens
kann
bei
der
Beschichtung
mit
Magnesiumstearat
ein
Implantat
hergestellt
werden,
das
sich
durch
Defektfreiheit
der
Körperoberfläche
durch
nachträgliches
Versiegeln
auszeichnet.
EuroPat v2
That
disadvantage
can
be
only
partially
compensated
by
a
suitable
configuration
in
respect
of
the
SIC
doping,
because
in
that
respect
limits
are
imposed
in
respect
of
the
profile
steepness,
conductivity
and
freedom
from
defects,
which
do
not
exist
in
relation
to
a
buried
layer,
in
particular
an
epitaxially
buried
layer.
Dieser
Nachteil
lässt
sich
nur
teilweise
durch
geeignete
Gestaltung
der
SIC-Dotierung
ausgleichen,
weil
hierbei
Grenzen
in
der
Profilsteilheit,
Leitfähigkeit
und
Defektfreiheit
gesetzt
sind,
die
bei
einer
Buried
Layer,
insbesondere
einer
epitaktisch
vergrabenen
Buried
Layer
nicht
bestehen.
EuroPat v2
This
can
involve
image
compression
algorithms
in
order
to
“cut
out”
the
relevant
image
information
or
a
“complete
image
processing”
in
which
only
the
output
signal
is
to
be
communicated
(i.e.
that
for
example,
a
freedom
from
defects
within
the
tolerable
frame
exists
or
that
a
defect
exists
and
preferably
where
it
is
located).
Hierbei
kann
es
sich
um
Bildkompressionsalgorithmen
handeln,
um
ein
"Herausschneiden"
der
relevanten
Bildinformationen
oder
um
eine
"vollständige
Bildbearbeitung",
bei
der
nur
noch
das
Ausgabesignal
zu
kommunizieren
ist
(also
dass
beispielsweise
eine
Fehlerfreiheit
innerhalb
des
tolerierbaren
Rahmens
vorliegt
oder
dass
ein
Fehler
vorliegt
und,
vorzugsweise,
wo
dieser
vorliegt).
EuroPat v2
On
account
of
the
potentially
safety-critical
applications
for
many
control
units,
very
stringent
demands
are
placed
on
the
reliability
and
freedom
from
defects
of
the
control
program.
Aufgrund
der
potentiell
sicherheitskritischen
Anwendungen
bei
vielen
Steuergeräten
werden
an
die
Zuverlässigkeit
und
die
Fehlerfreiheit
des
Steuerprogramms
sehr
hohe
Anforderungen
gestellt.
EuroPat v2