Translation of "Low-k" in German
																						The
																											cavity
																											may
																											also
																											be
																											filled
																											with
																											a
																											low-k
																											material
																											for
																											the
																											same
																											purpose.
																		
			
				
																						Der
																											Hohlraum
																											kann
																											für
																											den
																											gleichen
																											Zweck
																											auch
																											mit
																											einem
																											Low-k-Material
																											aufgefüllt
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						As
																											an
																											alternative,
																											the
																											layer
																											made
																											of
																											low-k
																											material
																											may
																											be
																											modified
																											by
																											means
																											of
																											a
																											plasma
																											treatment.
																		
			
				
																						Alternativ
																											kann
																											die
																											Schicht
																											aus
																											Low-k-Material
																											mittels
																											einer
																											Plasmabehandlung
																											modifiziert
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											low-k
																											material
																											may
																											be
																											realized
																											on
																											the
																											basis
																											of
																											polymer
																											materials.
																		
			
				
																						Das
																											Low-k-Material
																											kann
																											auf
																											der
																											Basis
																											von
																											Polymermaterialien
																											realisiert
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						As
																											an
																											alternative,
																											plasma-deposited
																											low-k
																											materials
																											are
																											possible,
																											which
																											may
																											have
																											an
																											inorganic
																											character.
																		
			
				
																						Alternativ
																											sind
																											plasmaabgeschiedene
																											Low-k-
																											Materialien
																											möglich,
																											die
																											anorganischen
																											Charakter
																											haben
																											können.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						It
																											is
																											possible
																											for
																											that
																											purpose
																											to
																											use
																											silicon
																											dioxide
																											(SiO
																											2)
																											but
																											also
																											another,
																											so-called
																											low-k
																											material.
																		
			
				
																						Dafür
																											kann
																											Siliziumdioxid
																											(SiO
																											2)
																											aber
																											auch
																											ein
																											anderes,
																											sogenanntes
																											low-k-Material
																											verwendet
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						It
																											may
																											likewise
																											be
																											advantageous
																											to
																											use
																											spacers
																											made
																											of
																											a
																											low-k
																											material
																											in
																											the
																											process
																											of
																											the
																											invention.
																		
			
				
																						Es
																											kann
																											ebenfalls
																											vorteilhaft
																											sein,
																											in
																											dem
																											erfindungsgemäßen
																											Verfahren
																											Spacer
																											aus
																											einem
																											low-k-Material
																											einzusetzen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						By
																											way
																											of
																											example,
																											the
																											layer
																											made
																											of
																											low-k
																											material
																											may
																											be
																											modified
																											by
																											means
																											of
																											irradiation
																											with
																											ultraviolet
																											radiation.
																		
			
				
																						Zum
																											Beispiel
																											kann
																											die
																											Schicht
																											aus
																											Low-k-Material
																											mittels
																											Bestrahlens
																											mit
																											ultravioletter
																											Strahlung
																											modifiziert
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2