Translation of "Lsi circuit" in German
																						Conceptionally,
																											the
																											LSI
																											circuit
																											may
																											be
																											considered
																											a
																											development
																											or
																											extension
																											of
																											the
																											conventional
																											integrated
																											circuit.
																		
			
				
																						Im
																											Konzept
																											kann
																											die
																											LSI-Schaltung
																											als
																											Weiterentwicklung
																											oder
																											Erweiterung
																											der
																											konventionellen
																											integrierten
																											Schaltung
																											betrachtet
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Since
																											the
																											invention
																											resides
																											primarily
																											in
																											the
																											structural
																											layout
																											of
																											a
																											large-scale
																											integrated
																											(LSI)
																											circuit
																											in
																											combination
																											with
																											the
																											wiring
																											thereof
																											(personalized
																											metallization
																											layout)
																											rather
																											than
																											in
																											any
																											specific
																											semiconductor
																											process
																											for
																											forming
																											integrated
																											circuits
																											or
																											insulated
																											metallization
																											patterns,
																											the
																											processes
																											for
																											forming
																											integrated
																											circuits
																											and
																											the
																											various
																											metallization
																											levels
																											will
																											not
																											be
																											described
																											in
																											extensive
																											detail.
																		
			
				
																						Da
																											sich
																											die
																											Erfindung
																											hauptsächlich
																											auf
																											der
																											Struktur
																											von
																											hochgradig
																											integrierten
																											Schaltungen
																											(LSI-Schaltungen)
																											in
																											Verbindung
																											mit
																											ihrer
																											Verdrahtung
																											(personalisiertes
																											Metallmuster)
																											und
																											nicht
																											in
																											einem
																											spezifischen
																											Halbleiterprozeß
																											zur
																											Bildung
																											integrierter
																											Schaltungen
																											oder
																											isolierter
																											Metallmuster
																											bezieht,
																											werden
																											anschließend
																											die
																											Prozesse
																											zur
																											Herstellung
																											integrierter
																											Schaltungen
																											und
																											der
																											verschiedenen
																											Verdrahtungsebenen
																											nicht
																											so
																											ausführlich
																											beschrieben.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											term
																											"LSI
																											circuit"
																											is
																											also
																											used
																											to
																											designate
																											a
																											much
																											greater
																											number
																											of
																											integrated
																											circuit
																											components
																											as
																											compared
																											with
																											a
																											unit
																											cell.
																		
			
				
																						Der
																											Ausdruck
																											"LSI-Schaltung"
																											dient
																											auch
																											zur
																											Bezeichnung
																											einer
																											wesentlich
																											höheren
																											Anzahl
																											integrierter
																											Schaltungskomponenten
																											im
																											Vergleich
																											zu
																											einer
																											Einheitszelle.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						One
																											of
																											the
																											strongest
																											reasons
																											the
																											custom
																											design
																											approach
																											is
																											not
																											particularly
																											suited
																											or
																											efficient
																											for
																											LSI
																											semiconductor
																											devices
																											is
																											that
																											the
																											custom
																											design
																											approach
																											necessitates
																											designing,
																											for
																											each
																											individual
																											LSI
																											circuit
																											(or
																											part
																											number)
																											both
																											impurity
																											diffusion
																											masks
																											for
																											forming
																											the
																											circuit
																											elements
																											and
																											interconnection
																											masks
																											for
																											interconnecting
																											the
																											circuit
																											elements.
																		
			
				
																						Einer
																											der
																											stärksten
																											Gründe,
																											aus
																											denen
																											die
																											herkömmliche
																											Konstruktionstechnik
																											für
																											LSI-Halbleiterschaltungen
																											nicht
																											geeignet
																											oder
																											wirksam
																											ist,
																											liegt
																											darin,
																											daß
																											sie
																											für
																											jede
																											einzelne
																											LSI-Schaltung
																											die
																											Entwicklung
																											von
																											Masken
																											sowohl
																											für
																											die
																											Dotierung
																											zur
																											Ausbildung
																											der
																											Schaltungselemente
																											als
																											auch
																											für
																											die
																											Verdrahtung
																											der
																											Schaltungselemente
																											erfordert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						A
																											measuring
																											error
																											resulting
																											from
																											the
																											dislocation
																											of
																											the
																											secondary
																											electron
																											focusing
																											image
																											ZS
																											is
																											fundamentally
																											incorrectable.
																											The
																											error
																											is
																											caused
																											only
																											by
																											the
																											field
																											of
																											the
																											objective
																											lens
																											OL
																											and
																											is
																											not
																											a
																											particular
																											disadvantage
																											in
																											practice,
																											especially
																											for
																											quantitative
																											measurements
																											of
																											potential
																											at
																											nodes
																											of
																											an
																											LSI
																											circuit,
																											since
																											the
																											specimen
																											IC
																											can
																											be
																											aligned
																											precisely
																											relative
																											to
																											the
																											optical
																											axis
																											OA
																											up
																											to
																											about
																											one
																											micrometer
																											with
																											the
																											assistance
																											of
																											precision
																											mechanical
																											devices.
																		
			
				
																						Der
																											aus
																											dieser
																											prinzipiell
																											nicht
																											korrigierbaren
																											und
																											allein
																											durch
																											das
																											Feld
																											der
																											Objektivlinse
																											OL
																											verursachten
																											Verschiebung
																											des
																											Sekundäretektronenfokus
																											ZS
																											resultierende
																											Meßfehler
																											ist
																											in
																											der
																											Praxis
																											inbesondere
																											bei
																											quantitativen
																											Potentialmessungen
																											an
																											Knotenpunkten
																											einer
																											hochintegrierten
																											Schaltung
																											nicht
																											vom
																											besonderen
																											Nachteil,
																											da
																											man
																											die
																											Probe
																											IC
																											mit
																											Hilfe
																											feinmechanischer
																											Einrichtungen
																											bis
																											auf
																											etwa
																											1
																											um
																											genau
																											relativ
																											zur
																											optischen
																											Achse
																											OA
																											ausrichten
																											kann.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						As
																											described
																											in
																											this
																											publication,
																											it
																											is
																											important
																											that
																											the
																											material
																											of
																											a
																											semiconductor
																											chip
																											carrying
																											the
																											LSI
																											circuit
																											have
																											uniformity
																											and
																											freedom
																											from
																											defects
																											such
																											that
																											every
																											individual
																											functional
																											element
																											of
																											the
																											integrated
																											circuit
																											is
																											operational.
																		
			
				
																						Fraglos
																											ist
																											es
																											wichtig,
																											daß
																											das
																											Material
																											eines
																											Halbleiterchips,
																											das
																											eine
																											solche
																											hochintegrierte
																											Schaltung
																											trägt,
																											eine
																											solche
																											Homogenität
																											und
																											Fehlerfreiheit
																											besitzt,
																											daß
																											jedes
																											einzelnes
																											Funktionselement
																											dieser
																											integrierten
																											Schaltung
																											funktionstüchtig
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Transistors
																											of
																											this
																											type
																											are
																											used
																											in
																											LSI
																											circuits
																											for
																											high
																											switching
																											speeds.
																		
			
				
																						Solche
																											Transistoren
																											werden
																											in
																											LSI-Schaltungen
																											für
																											hohe
																											Schaltgeschwindigkeiten
																											verwendet.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Transistors
																											of
																											this
																											kind
																											are
																											used
																											in
																											LSI
																											circuits
																											for
																											high
																											switching
																											speeds.
																		
			
				
																						Solche
																											Transistoren
																											werden
																											in
																											LSI-Schaltungen
																											für
																											hohe
																											Schaltgeschwindigkeiten
																											verwendet.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Direct
																											drive
																											by
																											microprocessors
																											or
																											LSI
																											circuits
																											is
																											therefore
																											out
																											of
																											the
																											question.
																		
			
				
																						Eine
																											direkte
																											Ansteuerung
																											durch
																											Mikroprozessoren
																											oder
																											LSI-Schaltungen
																											kommt
																											daher
																											nicht
																											in
																											Betracht.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Modern
																											hearing
																											aid
																											circuits
																											are
																											distinguished
																											by
																											LSI
																											active
																											circuits
																											having
																											only
																											minimal
																											outside
																											wiring.
																		
			
				
																						Moderne
																											Hörgeräteschaltungen
																											zeichnen
																											sich
																											durch
																											hochintegrierte
																											aktive
																											Schaltungen
																											mit
																											nur
																											noch
																											minimaler
																											Außenbeschaltung
																											aus.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						With
																											the
																											introduction
																											of
																											LSI
																											circuits,
																											however,
																											it
																											has
																											become
																											possible
																											—
																											and
																											even
																											quite
																											simple
																											—
																											to
																											produce
																											iterative
																											circuits,
																											and
																											it
																											now
																											seems
																											feasible
																											that
																											they
																											will
																											be
																											brought
																											into
																											general
																											use.
																		
			
				
																						Durch
																											die
																											Einführung
																											von
																											LSI
																											(Large
																											Scale
																											Integration)
																											Schaltungen
																											ist
																											es
																											jedoch
																											möglich
																											geworden
																											—
																											und
																											sogar
																											ganz
																											einfach
																											—,
																											iterative
																											Schaltkreise
																											zu
																											bauen,
																											und
																											es
																											erscheint
																											mittlerweise
																											sogar
																											vorstellbar,
																											daß
																											sie
																											allgemeine
																											Verwendung
																											finden
																											können.
															 
				
		 EUbookshop v2
			
																						Particularly
																											illuminating
																											references
																											regarding
																											the
																											localization
																											of
																											faults
																											in
																											LSI
																											circuits
																											are
																											obtained
																											by
																											means
																											of
																											quantitative
																											measurements
																											of
																											the
																											chronological
																											curve
																											of
																											potential
																											at
																											selected
																											nodes
																											of
																											the
																											components
																											to
																											be
																											tested.
																		
			
				
																						Besonders
																											aufschlußreiche
																											Hinweise
																											zur
																											Lokalisierung
																											von
																											Fehlern
																											in
																											hochintegrierten
																											Schaltungen
																											erhält
																											man
																											durch
																											quantitative
																											Messungen
																											des
																											zeitlichen
																											Potentialverlaufes
																											an
																											ausgewählten
																											Knotenpunkten
																											der
																											zu
																											untersuchenden
																											Bauelemente.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						An
																											exact
																											knowledge
																											of
																											the
																											signal
																											curve
																											f(t)
																											in,
																											for
																											example,
																											LSI
																											circuits
																											is
																											required
																											in
																											order
																											to
																											be
																											able
																											to
																											recognize
																											and
																											eliminate
																											weak
																											points
																											and
																											design
																											errors
																											within
																											the
																											semiconductor
																											components
																											during
																											the
																											development
																											phase
																											by
																											comparing
																											measured
																											and
																											theoretically
																											anticipated
																											voltage
																											values.
																		
			
				
																						Eine
																											genaue
																											Kenntnis
																											des
																											Verlaufes
																											des
																											Probesignals
																											f(t),
																											beispielsweise
																											in
																											hochintegrierten
																											Schaltungen,
																											ist
																											erforderlich,
																											um
																											schon
																											frühzeitig
																											während
																											der
																											Entwicklungsphase
																											Schwachstellen
																											und
																											Konstruktionsfehler
																											innerhalb
																											der
																											Halbleiterbauelemente
																											durch
																											Vergleich
																											gemessener
																											und
																											theoretisch
																											erwarteter
																											Spannungswerte
																											erkennen
																											und
																											beseitigen
																											zu
																											können.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											disclosed
																											retarding
																											field
																											spectrometers
																											preferably
																											are
																											used
																											for
																											quantitative
																											measurements
																											of
																											voltages
																											in
																											LSI
																											circuits
																											and
																											are
																											generally
																											formed
																											of
																											an
																											extraction
																											electrode,
																											one
																											or
																											more
																											retarding
																											field
																											electrodes,
																											and
																											a
																											deflection
																											unit
																											for
																											accelerating
																											the
																											secondary
																											electrons
																											in
																											the
																											direction
																											of
																											a
																											scintillator.
																		
			
				
																						Diese
																											vorzugsweise
																											für
																											quantitative
																											Potentialmessungen
																											in
																											hochintegrierten
																											Schaltungen
																											eingesetzten
																											Gegenfeld-Spektrometer
																											bestehen
																											üblicherweise
																											aus
																											einer
																											Absaugelektrode,
																											einer
																											oder
																											mehreren
																											Gegenfeldelektroden
																											und
																											einer
																											Ablenkeinheit
																											zur
																											Beschleunigung
																											der
																											Sekundärelektronen
																											in
																											Richtung
																											eines
																											Szintillators.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						LSI
																											circuits
																											are
																											also
																											discussed
																											in
																											this
																											publication,
																											particularily
																											techniques
																											for
																											realizing
																											such
																											circuits
																											on
																											semiconductor
																											chips
																											of
																											corresponding
																											size.
																		
			
				
																						Auch
																											in
																											dieser
																											Druckschrift
																											sind
																											hochintegrierte
																											Schaltungen
																											abgehandelt,
																											wie
																											sie
																											auf
																											Halbleiterchips
																											entsprechender
																											Größe
																											realisiert
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2