Translation of "Mos field-effect transistor" in German
																						The
																											switching
																											element
																											S
																											is
																											only
																											formed
																											by
																											the
																											MOS
																											field-effect
																											transistor
																											T2
																											in
																											this
																											embodiment.
																		
			
				
																						Das
																											Schaltelement
																											S
																											ist
																											bei
																											diesem
																											Ausführungsbeispiel
																											nur
																											durch
																											den
																											MOS-Feldeffekttransistor
																											T2
																											gebildet.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											gate
																											terminal
																											of
																											an
																											MOS
																											field
																											effect
																											transistor
																											T3
																											is
																											connected
																											to
																											a
																											counting
																											width
																											input
																											line
																											CI.
																		
			
				
																						Der
																											Gateanschluß
																											eines
																											MOS-Feldeffekttransistors
																											T3
																											ist
																											mit
																											einer
																											Zählweiteneingangsleitung
																											CI
																											verbunden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											first
																											switching
																											device
																											comprises
																											a
																											MOS
																											field-effect
																											transistor
																											and
																											the
																											second
																											switching
																											device
																											comprises
																											a
																											bipolar
																											transistor.
																		
			
				
																						Die
																											erste
																											Schaltvorrichtung
																											enthält
																											einen
																											MOS-Feldeffekttransistor
																											und
																											die
																											zweite
																											Schaltvorrichtung
																											einen
																											Bipolartransistor.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											MOS
																											field-effect
																											transistor
																											3
																											forms
																											part
																											of
																											a
																											first
																											switching
																											device.
																		
			
				
																						Der
																											MOS-Feldeffekttransistor
																											3
																											ist
																											Bestandteil
																											einer
																											ersten
																											Schaltvorrichtung.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						For
																											positive
																											values
																											of
																											the
																											voltage
																											U1,
																											the
																											MOS
																											field
																											effect
																											transistor
																											F3
																											is
																											inactive.
																		
			
				
																						Für
																											positive
																											Werte
																											der
																											Spannung
																											U1
																											ist
																											der
																											MOS-Feldeffekttransistor
																											F3
																											nicht
																											wirksam.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											MOS
																											field-effect
																											transistor
																											is
																											arranged
																											between
																											field
																											oxide
																											regions.
																		
			
				
																						Der
																											MOS-Feldeffekttransistor
																											ist
																											zwischen
																											Feldoxidbereichen
																											angeordnet.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											desired
																											output
																											current
																											can
																											then
																											be
																											drawn
																											from
																											the
																											drain
																											electrode
																											of
																											the
																											other
																											MOS
																											field-effect
																											transistor.
																		
			
				
																						Der
																											Drain-Elektrode
																											des
																											anderen
																											MOS-Feldeffekttransistors
																											kann
																											dann
																											der
																											gewünschte
																											Ausgangsstrom
																											entnommen
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											maximum
																											current
																											consumption
																											of
																											the
																											coupling
																											unit
																											3
																											is
																											limited
																											by
																											the
																											self-conducting
																											MOS
																											field
																											effect
																											transistor
																											T3.
																		
			
				
																						Der
																											maximale
																											Stromverbrauch
																											der
																											Kopplungseinheit
																											3
																											wird
																											durch
																											den
																											selbstleitenden
																											MOS-Feldeffekttransistor
																											T3
																											begrenzt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											variable
																											resistor
																											is
																											preferably
																											an
																											MOS
																											field-effect
																											transistor.
																		
			
				
																						Der
																											einstellbare
																											Widerstand
																											ist
																											vorzugsweise
																											ein
																											MOS-Feldeffekttransistor.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Such
																											a
																											semiconductor
																											component
																											has
																											already
																											been
																											described
																											in
																											the
																											form
																											of
																											an
																											MOS
																											field-effect
																											transistor
																											with
																											a
																											vertical
																											structure.
																		
			
				
																						Ein
																											solches
																											Halbleiterbauelement
																											ist
																											in
																											Form
																											eines
																											MOS-Feldeffekttransistors
																											mit
																											Vertikalstruktur
																											bereits
																											beschrieben
																											worden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Through
																											resistor
																											R3
																											and
																											the
																											very
																											low-ohmic
																											forward
																											resistance
																											of
																											the
																											MOS
																											field-effect
																											transistor,
																											the
																											direct
																											current
																											operating
																											point
																											will
																											be
																											stabilized.
																		
			
				
																						Über
																											den
																											Widerstand
																											R3
																											und
																											den
																											sehr
																											niederohmigen
																											Durchlaßwiderstand
																											des
																											MOS-Feldeffekttransistors
																											erfolgt
																											zusätzlich
																											eine
																											Gleichstromarbeitspunktstabilisierung.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						For
																											the
																											first
																											switching
																											device
																											a
																											MOS
																											field-effect
																											transistor
																											is
																											selected
																											because
																											its
																											forward
																											resistance
																											for
																											direct
																											current
																											is
																											very
																											low.
																		
			
				
																						Für
																											die
																											erste
																											Schaltvorrichtung
																											wird
																											ein
																											MOS-Feldeffekttransistor
																											gewählt,
																											weil
																											dessen
																											gleichstrommäßiger
																											Durchlaßwiderstand
																											sehr
																											niederohmig
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						A
																											self-conductive
																											MOS
																											field
																											effect
																											transistor
																											T3
																											is
																											connected
																											by
																											its
																											drain
																											terminal
																											to
																											the
																											plus
																											terminal
																											of
																											the
																											bridge
																											circuit
																											BR.
																		
			
				
																						An
																											den
																											Plus-Anschluß
																											der
																											Brückenschaltung
																											BR
																											ist
																											ein
																											selbstleitender
																											MOS-Feldeffekttransistor
																											T3
																											mit
																											seinem
																											Drain-Anschluß
																											verbunden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											gate
																											of
																											the
																											last-mentioned
																											MOS
																											field-effect
																											transistor
																											13
																											is
																											controlled
																											by
																											the
																											output
																											of
																											an
																											inverter
																											i3.
																		
			
				
																						Das
																											Gate
																											des
																											zuletzt
																											genannten
																											MOS-Feldeffekttransistors
																											13
																											ist
																											vom
																											Austang
																											eines
																											Inverters
																											i3
																											gesteuert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											drain
																											terminal
																											and
																											the
																											gate
																											terminal
																											of
																											the
																											third
																											MOS-field
																											effect
																											transistor
																											T3
																											are
																											connected
																											together
																											to
																											the
																											first
																											supply
																											potential
																											VCC.
																		
			
				
																						Der
																											Drainanschluß
																											und
																											der
																											Gateanschluß
																											des
																											dritten
																											MOS-Feldeffekttransistors
																											T3
																											liegen
																											zusammen
																											am
																											ersten
																											Versorgungspotential
																											V
																											CC
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Moreover
																											field
																											plates
																											5
																											for
																											increasing
																											the
																											breakdown
																											strength
																											are
																											additionally
																											provided
																											in
																											the
																											edge
																											region
																											of
																											this
																											MOS
																											field-effect
																											transistor.
																		
			
				
																						Außerdem
																											sind
																											im
																											Randbereich
																											dieses
																											MOS-Feldeffekttransistors
																											noch
																											Feldplatten
																											5
																											zur
																											Erhöhung
																											der
																											Durchbruchsfestigkeit
																											vorgesehen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											switch
																											is
																											advantageously
																											a
																											switching
																											semiconductor,
																											in
																											particular
																											an
																											MOS
																											field
																											effect
																											transistor
																											(MOSFET).
																		
			
				
																						Der
																											Schalter
																											ist
																											zweckmäßigerweise
																											ein
																											schaltender
																											Halbleiter,
																											insbesondere
																											ein
																											MOS-Feldeffekttransistor
																											(MOSFET).
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											resonant
																											circuit
																											including
																											capacitor
																											16
																											and
																											inductance
																											19,
																											which
																											is
																											tuned
																											to
																											the
																											frequency
																											of
																											the
																											high
																											frequency
																											signal
																											generator
																											21,
																											has
																											high
																											frequency
																											oscillations
																											induced
																											therein
																											which
																											are
																											rectified
																											by
																											diode
																											14
																											and
																											applied
																											to
																											MOS
																											field
																											effect
																											transistor
																											13
																											by
																											a
																											capacitor
																											15.
																		
			
				
																						Der
																											auf
																											die
																											Frequenz
																											der
																											hochfrequenten
																											Schwingungen
																											abgestimmte
																											Resonanzschwingkreis
																											mit
																											der
																											Kapazität
																											16
																											und
																											der
																											Induktivität
																											19
																											führt
																											eine
																											hochfrequente
																											Spannung,
																											die
																											über
																											die
																											Diode
																											14
																											gleichgerichtet
																											wird
																											und
																											den
																											MOS-Feldeffekttransistor
																											13
																											an
																											einem
																											Ladekondensator
																											15
																											speist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											circuit
																											is
																											constructed
																											in
																											an
																											easily
																											integratable
																											form
																											and
																											has
																											a
																											MOS
																											field-effect
																											transistor
																											Tr1
																											as
																											the
																											actual
																											switching
																											member
																											of
																											the
																											switch
																											142.
																		
			
				
																						Die
																											Schaltung
																											ist
																											in
																											einer
																											leicht
																											integrierbaren
																											Form
																											ausgebildet
																											und
																											besitzt
																											als
																											eigentliches
																											Schaltglied
																											des
																											Schalters
																											142
																											einen
																											MOS-Feldeffekttransistor
																											Tr
																											1
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											invention
																											relates
																											to
																											a
																											monolithically
																											integrated
																											semiconductor
																											memory
																											with
																											a
																											matrix
																											of
																											identical
																											memory
																											cells
																											arranged
																											in
																											rows
																											of
																											a
																											set
																											of
																											row
																											members
																											and
																											in
																											columns
																											or
																											a
																											set
																											of
																											column
																											members,
																											each
																											in
																											the
																											form
																											of
																											an
																											MOS-field
																											effect
																											transistor
																											of
																											the
																											enhancement
																											type
																											and
																											a
																											storage
																											capacity
																											represented
																											by
																											an
																											MOS-capacitor,
																											wherein
																											one
																											comparator
																											each
																											and
																											a
																											comparison
																											cell
																											which
																											is
																											likewise
																											represented
																											by
																											a
																											memory
																											cell
																											of
																											the
																											above-mentioned
																											type,
																											is
																											assigned
																											to
																											either
																											each
																											matrix
																											column
																											or
																											each
																											matrix
																											row.
																		
			
				
																						Die
																											Erfindung
																											betrifft
																											einen
																											monolithisch
																											integrierten
																											Halbleiterspeicher
																											mit
																											einer
																											Matrix
																											aus
																											zeilen-
																											und
																											spaltenweise
																											angeordneten
																											und
																											einander
																											gleichen
																											Speicherzellen
																											in
																											Gestalt
																											jeweils
																											eines
																											MOS-Feldeffekttransistors
																											vom
																											Anreicherungstyp
																											und
																											einer
																											z.B.
																											durch
																											einen
																											MOS-Kondensator
																											gegebenen
																											Speicherkapazität,
																											bei
																											dem
																											entweder
																											jeder
																											Matrixspalte
																											oder
																											jeder
																											Matrixzeile
																											je
																											ein
																											Komparator
																											und
																											eine
																											-
																											ebenfalls
																											durch
																											eine
																											Speicherzelle
																											der
																											genannten
																											Art
																											gegebene
																											-
																											Vergleichszelle
																											zugeordnet
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											gate
																											of
																											the
																											one
																											MOS
																											field
																											effect
																											transistor
																											of
																											each
																											evaluation
																											circuit
																											is
																											connected
																											with
																											the
																											input
																											signal,
																											the
																											gate
																											of
																											the
																											respectively
																											other
																											MOS
																											transistor
																											is
																											connected
																											with
																											a
																											constant
																											current
																											which
																											determines
																											the
																											current
																											flowing
																											through
																											the
																											transistor
																											and,
																											therefore,
																											the
																											respective
																											evaluation
																											coefficients
																											by
																											means
																											of
																											its
																											magnitude.
																		
			
				
																						Das
																											Gate
																											des
																											einen
																											MOS-Feldeffekttransistors
																											jeder
																											Bewertungsschaltung
																											wird
																											mit
																											dem
																											Eingangssignal
																											belegt,
																											das
																											Gate
																											des
																											anderen
																											jeweils
																											mit
																											einer
																											Gleichspannung,
																											die
																											durch
																											ihre
																											Größe
																											den
																											durch
																											die
																											Transistoren
																											fließenden
																											Strom
																											und
																											damit
																											den
																											jeweiligen
																											Bewertungskoeffizienten
																											bestimmt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											analogy
																											to
																											an
																											MOS
																											field-effect
																											transistor,
																											they
																											can
																											be
																											brought
																											into
																											interaction
																											with
																											the
																											channel
																											zone
																											located
																											under
																											the
																											gate
																											electrodes
																											by
																											means
																											of
																											a
																											source
																											or
																											drain
																											zone
																											doped
																											oppositely
																											to
																											the
																											part
																											of
																											the
																											semiconductor
																											crystal
																											disposed
																											below
																											the
																											gate
																											electrodes.
																		
			
				
																						Sie
																											können
																											in
																											Analogie
																											zu
																											einem
																											MOS-Feldeffekttransistor
																											über
																											eine
																											entgegengesetzt
																											zu
																											dem
																											unter
																											den
																											Gateelektroden
																											befindlichen
																											Teil
																											des
																											Ealbleiterkristalls
																											dotierten
																											Source-
																											bzw.
																											Drainbereich
																											mit
																											der
																											sich
																											unter
																											den
																											Gataelektroden
																											befindlichen
																											Kanalzone
																											in
																											Interaktion
																											gebracht
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											gate
																											of
																											one
																											of
																											the
																											MOS
																											field
																											effect
																											transistors
																											of
																											each
																											evaluation
																											circuit
																											is
																											connected
																											to
																											the
																											input
																											signal,
																											the
																											gate
																											of
																											the
																											other
																											MOS
																											field
																											effect
																											transistor
																											is
																											respectively
																											connected
																											to
																											a
																											DC
																											voltage
																											which
																											determines,
																											by
																											its
																											magnitude,
																											the
																											current
																											flowing
																											through
																											the
																											transistors,
																											and
																											thereby
																											determines
																											the
																											respective
																											evaluation
																											coefficient.
																		
			
				
																						Das
																											Gate
																											des
																											einen
																											MOS-Feldeffekttransistors
																											jeder
																											Bewertungsschaltung
																											wird
																											mit
																											dem
																											Eingangssignal
																											belegt,
																											das
																											Gate
																											des
																											anderen
																											jeweils
																											mit
																											einer
																											Gleichspannung,
																											die
																											durch
																											ihre
																											Größe
																											den
																											durch
																											die
																											Transistoren
																											fließenden
																											Strom
																											und
																											damit
																											den
																											jeweiligen
																											Bewertungskoeffizienten
																											bestimmt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											invention
																											relates
																											to
																											a
																											method
																											of
																											producing
																											a
																											monolithically
																											integrated
																											two-transistor
																											memory
																											cell
																											in
																											accordance
																											with
																											MOS
																											technology,
																											in
																											which
																											a
																											first
																											MOS
																											field
																											effect
																											transistor,
																											provided
																											for
																											information
																											storage,
																											is
																											equipped
																											with
																											both
																											a
																											control
																											gate
																											and
																											a
																											floating
																											gate
																											disposed
																											between
																											the
																											control
																											gate
																											and
																											the
																											surface
																											of
																											the
																											silicon
																											crystal
																											accommodating
																											the
																											memory
																											cell,
																											whereas
																											the
																											second
																											MOS
																											field
																											effect
																											transistor
																											is
																											provided
																											only
																											with
																											a
																											control
																											gate;
																											the
																											two
																											control
																											gates
																											and
																											the
																											floating
																											gate
																											are
																											formed
																											by
																											masked
																											etching
																											technology
																											of
																											a
																											doped
																											polycrystalline
																											silicon
																											layer
																											deposited
																											on
																											an
																											SiO2
																											film
																											supporting
																											the
																											respective
																											gate;
																											and
																											an
																											erase
																											area
																											apart
																											from
																											the
																											current-carrying
																											channel
																											of
																											the
																											two
																											MOS
																											field
																											effect
																											transistors
																											of
																											the
																											memory
																											cell
																											is
																											provided
																											for
																											the
																											floating
																											gate
																											of
																											the
																											first
																											MOS
																											field
																											effect
																											transistor.
																		
			
				
																						Die
																											Erfindung
																											betrifft
																											ein
																											Verfahren
																											zum
																											Herstellen
																											einer
																											monolithisch
																											integrierten
																											Zwei-Transistor-Speicherzelle
																											in
																											MOS-Technik,
																											bei
																											der
																											ein
																											für
																											die
																											Informationsspeicherung
																											vorgesehener
																											erster
																											MOS-Feldeffekttransistor
																											sowohl
																											mit
																											einem
																											Steuergate
																											als
																											auch
																											mit
																											einem
																											zwischen
																											dem
																											Steuergate
																											und
																											der
																											Oberfläche
																											des
																											die
																											Speicherzelle
																											aufnehmenden
																											Siliciumkristalls
																											angeordneten
																											schwebenden
																											Gate
																											versehen
																											wird,
																											während
																											der
																											zweite
																											MOS-Feldeffekttransistor
																											nur
																											ein
																											Steuergate
																											erhält,
																											bei
																											dem
																											ferner
																											die
																											beiden
																											Steuergates
																											und
																											das
																											schwebende
																											Gate
																											aus
																											einer
																											auf
																											einer
																											das
																											betreffende
																											Gate
																											tragenden
																											SiOp-Schicht
																											abgeschiedenen
																											Schicht
																											aus
																											dotiertem
																											polykristallinen
																											Silicium
																											durch
																											maskierte
																											Ätztechnik
																											geformt
																											werden
																											und
																											bei
																											dem
																											schließlich
																											für
																											das
																											schwebende
																											Gate
																											des
																											ersten
																											MOS-Feldeffekttransistors
																											ein
																											sich
																											abseits
																											des
																											stromführenden
																											Kanals
																											der
																											beiden
																											MOS-Feldeffekttransistoren
																											der
																											Speicherzelle
																											angeordneter
																											Löschbereich
																											vorgesehen
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Then
																											a
																											layer
																											of
																											doped
																											polycrystalline
																											silicon,
																											forming
																											the
																											base
																											of
																											the
																											floating
																											gate
																											of
																											the
																											first
																											MOS
																											field
																											effect
																											transistor
																											and
																											possibly
																											also
																											of
																											the
																											control
																											gate
																											of
																											the
																											second
																											MOS
																											field
																											effect
																											transistor,
																											is
																											deposited
																											on
																											the
																											gate
																											oxide
																											film.
																		
			
				
																						Dann
																											wird
																											auf
																											der
																											Gateoxydschicht
																											eine
																											Schicht
																											aus
																											dotiertem
																											polykristallinen
																											Silicium
																											abgeschieden,
																											die
																											die
																											Grundlage
																											des
																											schwebenden
																											Gates
																											des
																											ersten
																											MOS-Feldeffekttransistors
																											und
																											ggf.
																											auch
																											des
																											Steuergates
																											des
																											zweiten
																											MOS-Feldeffekttransistors
																											bildet.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											control
																											gate
																											of
																											the
																											first
																											MOS
																											field
																											effect
																											transistor
																											is
																											then
																											made
																											from
																											the
																											second
																											polycrystalline
																											silicon
																											layer,
																											using
																											photoresist
																											etching
																											technology.
																		
			
				
																						Aus
																											der
																											zweiten
																											polykristallinen
																											Siliciumschicht
																											wird
																											dann
																											das
																											Steuergate
																											des
																											ersten
																											MOS-Feldeffekttransistors
																											unter
																											Anwendung
																											einer
																											Photolack-Ätztechnik
																											gestaltet.
															 
				
		 EuroPat v2