Translation of "Optical alignment" in German
																						If
																											corresponding
																											optical
																											recognition
																											systems
																											are
																											provided
																											the
																											optical
																											alignment
																											can
																											also
																											be
																											detected
																											automatically.
																		
			
				
																						Bei
																											Vorsehen
																											entsprechender
																											optischer
																											Erkennungssysteme
																											ist
																											die
																											optische
																											Übereinstimmung
																											auch
																											automatisch
																											feststellbar.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						However,
																											it
																											also
																											has
																											disadvantages
																											such
																											as
																											higher
																											component
																											costs
																											and
																											optical
																											integration
																											and
																											alignment.
																		
			
				
																						Allerdings
																											birgt
																											sie
																											auch
																											Nachteile
																											wie
																											höhere
																											Komponentenkosten
																											und
																											optische
																											Integration
																											und
																											Ausrichtung.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Optical
																											bottom
																											side
																											alignment
																											is
																											normally
																											used
																											for
																											this
																											type
																											of
																											alignment.
																		
			
				
																						Für
																											diese
																											Justierung
																											wird
																											im
																											Regelfall
																											eine
																											optische
																											Rückseitenjustierung
																											verwendet.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						The
																											DS
																											Micro
																											Flow
																											Cell
																											easily
																											connects
																											to
																											all
																											ReactIR
																											base
																											units
																											without
																											the
																											need
																											for
																											optical
																											alignment.
																		
			
				
																						Die
																											DS-Mikrodurchflusszelle
																											kann
																											ohne
																											optische
																											Ausrichtung
																											problemlos
																											an
																											alle
																											ReactIR
																											-Basisgeräte
																											angeschlossen
																											werden.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Are
																											you
																											looking
																											for
																											an
																											alternative
																											to
																											complex
																											optical
																											alignment
																											systems?
																		
			
				
																						Sind
																											Sie
																											auf
																											der
																											Suche
																											nach
																											einer
																											hochpräzisen
																											Alternative
																											zu
																											komplexen
																											optischen
																											Justagesystemen?
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						On
																											the
																											one
																											hand,
																											these
																											lattice
																											defects
																											bring
																											about
																											a
																											disturbing
																											reduction
																											in
																											the
																											mechanical
																											stability
																											of
																											the
																											membrane
																											1
																											and,
																											on
																											the
																											other
																											hand,
																											cause
																											a
																											disturbing
																											scatter
																											refraction
																											of
																											the
																											visible
																											light,
																											whereby
																											the
																											above-mentioned
																											economical
																											optical
																											alignment
																											procedure
																											is
																											impeded
																											or
																											even
																											rendered
																											impossible.
																		
			
				
																						Diese
																											Gitterfehler
																											verringern
																											einerseits
																											in
																											störender
																											Weise
																											die
																											mechanische
																											Stabilität
																											der
																											Membran
																											1
																											und
																											bewirken
																											andererseits
																											eine
																											störende
																											Streubrechung
																											des
																											sichtbaren
																											Lichts,
																											wodurch
																											der
																											bereits
																											erwähnte
																											kostengünstige
																											optische
																											Justiervorgang
																											erschwert
																											wird
																											oder
																											sogar
																											unmöglich
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						As
																											such
																											error
																											sources
																											there
																											must
																											be
																											considered
																											the
																											possibility
																											that
																											measuring
																											beams,
																											which
																											in
																											fact
																											are
																											directed
																											to
																											the
																											predetermined
																											movable
																											target
																											or
																											object,
																											can
																											move
																											past
																											such
																											object
																											because
																											of
																											at
																											least
																											periodic
																											directional
																											variations
																											or,
																											respectively,
																											because
																											of
																											inaccurate
																											optical
																											alignment
																											of
																											the
																											equipment
																											at
																											such
																											object,
																											and,
																											possibly
																											can
																											be
																											reflected
																											at
																											a
																											different
																											moving
																											object
																											or
																											vehicle.
																		
			
				
																						Als
																											solche
																											Fehlerquellen
																											müssen
																											die
																											Möglichkeiten
																											betrachtet
																											werden,
																											dass
																											Meßstrahlen,
																											welche
																											zwar
																											zum
																											bestimmten
																											beweglichen
																											Objekt
																											gerichtet
																											werden,
																											zufolge
																											mindestens
																											zeitweiser
																											Richtungsschwankungen,
																											beziehungsweise
																											ungenauer
																											optischer
																											Ausrichtung
																											der
																											Vorrichtung
																											auf
																											dieses
																											Objekt,
																											an
																											diesem
																											vorbeilaufen
																											und
																											gegebenenfalls
																											an
																											einem
																											anderen
																											beweglichen
																											Objekt
																											oder
																											Fahrzeug
																											reflektiert
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											registration
																											pattern
																											R
																											is
																											not
																											only
																											a
																											prerequisite
																											for
																											the
																											electron
																											beam
																											registration
																											proposed
																											here
																											but
																											may
																											also
																											be
																											used
																											for
																											optical
																											alignment
																											methods
																											to
																											achieve
																											a
																											better
																											contrast
																											and
																											to
																											be
																											independent
																											of
																											the
																											carrier
																											substrate
																											used.
																		
			
				
																						Das
																											Registriermuster
																											R
																											ist
																											nicht
																											nur
																											für
																											die
																											hier
																											vorgeschlagene
																											Elektronenstrahlregistrierung
																											eine
																											notwendige
																											Voraussetzung,
																											sondern
																											kann
																											auch
																											bei
																											optischen
																											Ausrichtverfahren
																											eingesetzt
																											werden,
																											um
																											besseren
																											Kontrast
																											und
																											Unabhängigkeit
																											vom
																											verwendeten
																											Trägersubstrat
																											zu
																											erzielen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											connection
																											with
																											optical
																											beam
																											alignment
																											systems
																											for
																											communications
																											or
																											interferoimetric
																											applications
																											in
																											satellites
																											there
																											is
																											often
																											the
																											requirement
																											for
																											aligning
																											a
																											laser
																											beam
																											with
																											high
																											precision
																											between
																											a
																											base
																											station
																											and
																											a
																											counter
																											station.
																		
			
				
																						In
																											optischen
																											Strahlausrichtsystemen
																											für
																											Kommunikations-
																											oder
																											Interferometrische
																											Anwendungen
																											auf
																											Satelliten
																											besteht
																											häufig
																											die
																											Notwendigkeit,
																											einen
																											Laserstrahl
																											mit
																											hoher
																											Präzision
																											von
																											einer
																											Basisstation
																											zu
																											einer
																											Gegenstation
																											auszurichten.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						After
																											the
																											optical
																											alignment
																											of
																											both
																											of
																											the
																											field
																											lenses
																											42
																											has
																											been
																											carried
																											out,
																											the
																											carriers
																											41
																											are
																											nondetachably
																											positioned
																											in
																											the
																											mount
																											43.
																		
			
				
																						Nach
																											erfolgter
																											optischer
																											Ausrichtung
																											der
																											beiden
																											Feldlinsen
																											42
																											werden
																											die
																											Träger
																											41
																											in
																											der
																											Fassung
																											43
																											unlösbar
																											festgelegt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						According
																											to
																											a
																											particularly
																											preferred
																											embodiment
																											of
																											the
																											process
																											according
																											to
																											the
																											invention
																											the
																											optical
																											alignment
																											(or
																											coincidence)
																											of
																											the
																											object
																											reference
																											measure
																											and
																											eyepiece
																											reference
																											measure
																											is
																											manually
																											or
																											automatically
																											communicated
																											to
																											a
																											processor
																											device
																											of
																											the
																											stereomicroscope
																											by
																											means
																											of
																											which
																											the
																											magnifications
																											for
																											the
																											other
																											positions
																											are
																											then
																											calculated.
																		
			
				
																						Gemäß
																											einer
																											besonders
																											bevorzugten
																											Ausführungsform
																											des
																											erfindungsgemäßen
																											Verfahrens
																											wird
																											die
																											optische
																											Übereinstimmung
																											von
																											Objekt-Referenzmaß
																											und
																											Okular-Referenzmaß
																											manuell
																											oder
																											automatisch
																											einer
																											Prozessoreinrichtung
																											des
																											Stereomikroskops
																											mitgeteilt,
																											mittels
																											welcher
																											dann
																											die
																											Berechnung
																											der
																											Vergrößerungen
																											für
																											die
																											weiteren
																											Positionen
																											durchgeführt
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											particular,
																											it
																											is
																											advantageous
																											to
																											actuate
																											the
																											zoom
																											system
																											manually
																											in
																											order
																											to
																											obtain
																											optical
																											alignment,
																											and,
																											once
																											such
																											alignment
																											has
																											been
																											established,
																											to
																											communicate
																											this
																											to
																											the
																											processor
																											device
																											manually
																											by
																											operating
																											a
																											corresponding
																											operating
																											key
																											of
																											the
																											processor
																											device.
																		
			
				
																						Insbesondere
																											ist
																											es
																											vorteilhaft,
																											eine
																											manuelle
																											Betätigung
																											des
																											Zoom-Systems
																											zur
																											Einstellung
																											einer
																											optischen
																											Übereinstimmung
																											durchzuführen,
																											und
																											bei
																											Feststellung
																											einer
																											derartigen
																											Übereinstimmung
																											durch
																											Betätigung
																											einer
																											entsprechenden
																											Bedientaste
																											der
																											Prozessoreinrichtung
																											dies
																											manuell
																											mitzuteilen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											zoom
																											position
																											obtained
																											with
																											this
																											optical
																											alignment
																											(coincidence),
																											or
																											the
																											position
																											of
																											the
																											individual
																											lens
																											members,
																											is
																											determined
																											by
																											means
																											of
																											an
																											incremental
																											indicator
																											(not
																											shown).
																		
			
				
																						Mittels
																											eines
																											(nicht
																											dargestellten)
																											Inkremental-Gebers
																											wird
																											die
																											bei
																											dieser
																											optischen
																											Übereinstimmung
																											vorliegende
																											Zoom-Stellung
																											bzw.
																											die
																											Stellung
																											der
																											einzelnen
																											Linsenglieder
																											bestimmt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						For
																											this,
																											an
																											image
																											of
																											a
																											distance
																											to
																											be
																											measured
																											in
																											the
																											object
																											plane
																											is
																											brought
																											into
																											optical
																											alignment
																											with
																											a
																											known
																											distance
																											in
																											the
																											eyepiece
																											reference
																											measurement
																											by
																											changing
																											the
																											zoom
																											position
																											of
																											the
																											zoom
																											system,
																											and
																											the
																											length
																											of
																											the
																											distance
																											to
																											be
																											measured
																											is
																											calculated
																											from
																											the
																											lateral
																											magnification
																											determined
																											for
																											this
																											zoom
																											position
																											and
																											the
																											known
																											distance
																											in
																											the
																											eyepiece
																											reference
																											measurement.
																		
			
				
																						Hierzu
																											wird
																											ein
																											Bild
																											einer
																											zu
																											vermessenden
																											Strecke
																											in
																											der
																											Objektebene
																											durch
																											Veränderung
																											der
																											Zoom-Position
																											des
																											Zoom-Systems
																											mit
																											einer
																											bekannten
																											Strecke
																											in
																											dem
																											Okular-Referenzmaß
																											zur
																											optischen
																											Übereinstimmung
																											gebracht,
																											und
																											aus
																											dem
																											für
																											diese
																											Zoom-Position
																											ermittelten
																											Abbildungsmaßstab
																											und
																											der
																											bekannten
																											Strecke
																											in
																											dem
																											Okular-Referenzmaß
																											die
																											Länge
																											der
																											zu
																											messenden
																											Strecke
																											berechnet.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						All
																											in
																											all,
																											this
																											means
																											that
																											the
																											length
																											of
																											the
																											reference
																											measurement
																											in
																											the
																											object
																											plane
																											is
																											equal
																											to
																											the
																											diameter
																											of
																											the
																											circle
																											32
																											brought
																											into
																											optical
																											alignment
																											therewith,
																											divided
																											by
																											the
																											lateral
																											magnification
																											explained
																											hereinbefore.
																		
			
				
																						Insgesamt
																											gilt,
																											daß
																											die
																											Länge
																											des
																											Referenzmaßes
																											in
																											der
																											Objektebene
																											gleich
																											dem
																											Durchmesser
																											des
																											mit
																											ihm
																											zur
																											optischen
																											Übereinstimmung
																											gebrachten
																											Kreises
																											32
																											dividiert
																											durch
																											den
																											einleitend
																											erläuterten
																											Abbildungsmaßstab
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											support
																											frame
																											for
																											the
																											radiation
																											permeable
																											carrier
																											layer
																											of
																											the
																											mask
																											has
																											markings
																											for
																											the
																											optical
																											alignment
																											of
																											the
																											radiation
																											mask
																											relative
																											to
																											the
																											semiconductor
																											substrate
																											to
																											be
																											irradiated.
																		
			
				
																						Der
																											Tragrahmen
																											für
																											die
																											strahlungsdurchlässige
																											Trägerschicht
																											weist
																											Markierungen
																											für
																											die
																											optische
																											Ausrichtung
																											der
																											Be
																											strahlungsmaske
																											bezüglich
																											des
																											zu
																											bestrahlenden
																											Halbleitersubstrats
																											auf.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						To
																											overcome
																											this
																											disadvantage,
																											either
																											the
																											corner
																											elements
																											30
																											can
																											very
																											advantageously
																											be
																											partly
																											or
																											completely
																											accessible
																											through
																											openings
																											which
																											may
																											be
																											provided
																											with
																											covers,
																											or
																											may
																											be
																											visually
																											observable
																											through
																											sufficiently
																											transparent
																											material
																											in
																											the
																											form
																											of
																											windows,
																											for
																											example
																											for
																											optical
																											alignment
																											measurements,
																											photographs,
																											etc.,
																											or,
																											as
																											mentioned
																											above,
																											the
																											corner
																											elements
																											are
																											removable
																											and
																											can
																											be
																											inserted
																											and
																											fastened
																											in
																											the
																											otherwise
																											already
																											assembled
																											housing
																											after
																											the
																											measurements
																											have
																											been
																											made.
																		
			
				
																						Zur
																											Behebung
																											dieses
																											Nachteils
																											können
																											die
																											Eckkörper
																											30
																											sehr
																											vorteilhaft
																											entweder
																											zumindest
																											teilweise
																											durch
																											ggfs.
																											abdeckbare
																											Öffnungen
																											oder
																											ausreichend
																											transparentes
																											Material
																											fensterartig
																											optisch
																											durchgängig
																											sein,
																											für
																											z.B.
																											optische
																											Ausrichtmessungen
																											fotografische
																											Aufnahmen
																											etc.
																											oder,
																											wie
																											schon
																											oben
																											erwähnt,
																											es
																											sind
																											die
																											Eckkörper
																											entfernbar
																											und
																											nach
																											dem
																											Messen
																											in
																											das
																											sonst
																											bereits
																											zusammengesetzte
																											Gehäuse
																											einsetzbar
																											und
																											befestigbar.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						It
																											is
																											to
																											be
																											noted
																											that
																											silicon
																											nitride
																											layer
																											12
																											is
																											transparent,
																											permitting
																											the
																											optical
																											alignment
																											of
																											photolithographic
																											masks
																											applied
																											to
																											the
																											patterned
																											surface
																											of
																											substrate
																											11.
																		
			
				
																						Es
																											wird
																											jedoch
																											hervorgehoben,
																											daß
																											die
																											Siliciumnitridschicht
																											transparent
																											ist,
																											so
																											daß
																											sich
																											optische
																											Ausrichtungsmöglichkeiten
																											für
																											die
																											auf
																											die
																											gemusterte
																											Oberfläche
																											des
																											Substrats
																											11
																											anzuwendenden
																											photolithographischen
																											Masken
																											benutzen
																											lassen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						For
																											checking
																											the
																											optical
																											alignment
																											of
																											two
																											light
																											sources
																											in
																											the
																											course
																											of
																											coherent
																											heterodyne
																											reception,
																											an
																											arrangement
																											is
																											furthermore
																											known
																											from
																											EP
																											0
																											831
																											604
																											A1,
																											having
																											a
																											local
																											laser
																											and
																											two
																											detectors,
																											each
																											of
																											which
																											comprises
																											two
																											identical
																											detector
																											halves,
																											which
																											are
																											respectively
																											separated
																											by
																											a
																											strip-shaped
																											interruption,
																											or
																											gaps,
																											in
																											the
																											photo
																											diode
																											electrode
																											face
																											between
																											the
																											adjoining
																											halves,
																											wherein
																											the
																											gaps
																											of
																											the
																											two
																											detectors
																											are
																											arranged
																											orthogonally
																											in
																											respect
																											to
																											each
																											other.
																		
			
				
																						Zur
																											Kontrolle
																											der
																											optischen
																											Ausrichtung
																											zweier
																											Lichtwellen
																											bei
																											kohärentem
																											Überlagerungsempfang
																											ist
																											ferner
																											aus
																											der
																											EP-0
																											831
																											604-A1
																											eine
																											Vorrichtung
																											mit
																											einem
																											lokalen
																											Laser
																											und
																											mit
																											zwei
																											Detektoren
																											bekannt,
																											die
																											je
																											zwei
																											identische
																											Detektorhälften
																											umfassen,
																											die
																											jeweils
																											durch
																											eine
																											streifenförmige
																											Unterbrechung
																											oder
																											Lücken
																											in
																											der
																											Photodiodenelektrodenfläche
																											zwischen
																											den
																											benachbarten
																											Hälften
																											getrennt
																											sind,
																											wobei
																											die
																											Lücken
																											der
																											zwei
																											Detektoren
																											orthogonal
																											zueinander
																											angeordnet
																											sind.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Given
																											too
																											great
																											a
																											deviation
																											of
																											the
																											collimator
																											axis,
																											a
																											preadjustment
																											by
																											means
																											of
																											a
																											mechanical
																											or
																											optical
																											alignment
																											can
																											be
																											made
																											possible
																											if
																											necessary.
																		
			
				
																						Bei
																											zu
																											großer
																											Ablage
																											der
																											Kollimatorachse
																											kann
																											ggf.
																											eine
																											Voreinstellung
																											durch
																											eine
																											mechanische
																											oder
																											optische
																											Ausrichthilfe
																											ermöglicht
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2