Translation of "Photolithography" in German
Openings
are
made
in
the
thermal
silicon
dioxide
layer
by
conventional
photolithography
and
etching
techniques.
Durch
Anwendung
der
konventionellen
Photolithographie-
und
Ätztechnik
werden
in
diese
Siliziumdioxidscnicht
Fenster
eingeätzt.
EuroPat v2
These
openings
are
formed
by
the
conventional
photolithography
and
etching
techniques.
Diese
Öffnungen
werden
mittels
der
üblichen
Photolithographie-
und
Ätztechniken
erzeugt.
EuroPat v2
Photolithography
steps
and
additional
masks,
however,
considerably
reduce
the
economic
feasibility
of
the
process.
Fotolithographieschritte
und
zusätzliche
Masken
verringern
jedoch
in
erheblichem
Maße
die
Wirtschaftlichkeit
des
Prozesses.
EuroPat v2
In
a
special
variant,
certain
surface
areas
of
the
master
are
covered
by
means
of
photolithography.
In
einer
speziellen
Variante
werden
bestimmte
Flächenbereiche
des
Masters
mittels
der
Fotolithographie
abgedeckt.
EuroPat v2
After
the
annealing
of
the
implants
the
base
electrodes
are
manufactured
by
means
of
conventional
photolithography.
Nach
dem
Ausheilen
der
Implantate
wurden
die
Basiselektroden
mittels
herkömmlicher
Photolithographie
hergestellt.
EuroPat v2
This
mask
16
corresponds
to
a
mask
such
as
is
employed
for
photolithography.
Diese
Maske
16
entspricht
einer
solchen
Maske,
die
für
Fotolithografie
verwendet
wird.
EuroPat v2
The
spacing
a
is
independent
of
the
resolution
or
of
the
adjustment
tolerance
of
a
photolithography.
Der
Abstand
a
ist
unabhängig
vom
Auflösungsvermögen
oder
der
Justiertoleranz
einer
Photolithographie.
EuroPat v2
2A,
contact
opening
6
in
dielectric
layer
5
is
made
by
means
of
photolithography.
2A
wird
in
der
dielektrischen
Schicht
5
mittels
Photolithographie
die
Kontaktöffnung
6
hergestellt.
EuroPat v2
The
mask
opening
in
the
silicon
dioxide
layer
42
is
formed
by
standard
photolithography
and
etching
techniques.
Die
Maskenöffnung
in
der
Siliciumdioxidschicht
42
ist
mittels
standardmäßiger
Photolithographie-
und
Ätzverfahren
hergestellt.
EuroPat v2
However,
self-adjustment
is
lost
and
photolithography
steps
become
necessary.
Es
geht
jedoch
die
Selbstjustierung
verloren
und
es
werden
Fotolithographieschritte
notwendig.
EuroPat v2
Only
the
location
and
size
of
the
first
opening
are
defined
by
photolithography.
Lediglich
die
Lage
und
Größe
der
ersten
Öffnung
werden
photolithographisch
definiert.
EuroPat v2
Next,
a
mask
for
production
of
the
holding
element
4
is
fabricated
by
photolithography.
Als
nächstes
wird
photolithographisch
eine
Maske
zur
Herstellung
des
Halteelements
4
erzeugt.
EuroPat v2
Subsequently,
there
occurs
the
structuring
of
the
capacitor
layer
using
photolithography.
Anschließend
erfolgt
die
Strukturierung
der
Kondensatorschicht
mittels
Photolithographie.
EuroPat v2
The
invention
relates
to
a
device
for
aligning
masks
in
photolithography.
Die
Erfindung
betrifft
eine
Vorrichtung
zum
Ausrichten
von
Masken
in
der
Fotolithographie.
EuroPat v2
They
made
it
possible
to
significantly
increase
the
possible
uses
for
polyimides
in
photolithography.
Damit
konnten
die
Anwendungsmöglichkeiten
von
Polyimiden
in
der
photolithographischen
Technik
entscheidend
erweitert
werden.
EuroPat v2
Photolithography
has
made
an
appreciable
contribution
to
the
development
of
electronics.
Die
Photolithographie
hat
wesentlich
zur
Entwicklung
der
Elektronik
beigetragen.
EuroPat v2
Photolithography
may
in
particular
be
used
in
the
etching
method.
Photolithographie
kann
insbesondere
bei
Ätzverfahren
verwendet
werden.
EuroPat v2
Such
layers
can
be
structured
by
way
of
photolithography,
for
example.
Solche
Schichten
können
beispielsweise
mit
Fotolithografie
strukturiert
werden.
EuroPat v2