Translation of "Single crystal silicon" in German
																						The
																											sensor
																											mass
																											used
																											in
																											particularly
																											preferred
																											embodiments
																											of
																											the
																											invention
																											is
																											made
																											of
																											a
																											single
																											crystal
																											silicon.
																		
			
				
																						Bei
																											besonders
																											bevorzugten
																											Ausführungsformen
																											der
																											Erfindung
																											ist
																											die
																											Sensormasse
																											aus
																											einkristallinem
																											Silizium
																											gefertigt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											exposed
																											surface
																											of
																											the
																											substrate
																											is
																											composed
																											of
																											a
																											single-crystal
																											semiconductor,
																											particularly
																											silicon.
																		
			
				
																						Die
																											freiliegende
																											Oberfläche
																											des
																											Substrats
																											besteht
																											aus
																											einem
																											einkristallinen
																											Halbleiter,
																											insbesondere
																											Silizium.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											opening
																											63
																											is
																											filled
																											with
																											single-crystal
																											silicon
																											by
																											selective
																											epitaxy.
																		
			
				
																						Die
																											Öffnung
																											63
																											wird
																											durch
																											selektive
																											Epitaxie
																											aufgefüllt
																											mit
																											einkristallinem
																											Silizium.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Solar
																											modules
																											of
																											single-crystal
																											silicon
																											are
																											currently
																											considered
																											the
																											standard
																											with
																											respect
																											to
																											efficiency
																											and
																											long-term
																											stability.
																		
			
				
																						Bezüglich
																											Wirkungsgrad
																											und
																											Langzeitstabilität
																											gelten
																											derzeit
																											Solarmodule
																											aus
																											einkristallinem
																											Silizium
																											als
																											Standard.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Single-crystal
																											silicon
																											may
																											also
																											be
																											deposited
																											epitaxially
																											on
																											single-crystal
																											silicon-germanium.
																		
			
				
																						Es
																											kann
																											auch
																											einkristallines
																											Silizium
																											epitaktisch
																											über
																											einkristallines
																											SiliziumGermanium
																											abgeschieden
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Many
																											material
																											properties
																											of
																											polysilicon
																											are
																											very
																											similar
																											to
																											those
																											of
																											single
																											crystal
																											silicon.
																		
			
				
																						Viele
																											Materialeigenschaften
																											von
																											Polysilizium
																											sind
																											denen
																											von
																											einkristallinem
																											Silizium
																											sehr
																											ähnlich.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						A
																											trench
																											mask
																											containing
																											SiO2
																											is
																											produced
																											on
																											a
																											substrate
																											(1)
																											of
																											single-crystal
																											silicon.
																		
			
				
																						Auf
																											einem
																											Substrat
																											(1)
																											aus
																											einkristallinem
																											Silizium
																											wird
																											eine
																											SiO?-haltige
																											Grabenmaske
																											erzeugt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											gate
																											oxide
																											layer
																											is
																											intended
																											to
																											protect
																											the
																											surface
																											of
																											the
																											single-crystal
																											silicon
																											substrate
																											against
																											the
																											attack
																											of
																											the
																											etching
																											process.
																		
			
				
																						Die
																											Gateoxidschicht
																											soll
																											die
																											Oberfläche
																											des
																											einkristallinen
																											Siliziumsubstrats
																											vor
																											dem
																											Angriff
																											des
																											Ätzprozesses
																											schützen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											amorphous
																											surface
																											layer
																											is
																											obtained
																											by
																											implantation
																											of
																											germanium
																											or
																											silicon
																											ions
																											in
																											a
																											single-crystal
																											silicon
																											base
																											element.
																		
			
				
																						Die
																											amorphe
																											Oberflächenschicht
																											entsteht
																											durch
																											Implantation
																											von
																											Germanium-
																											oder
																											Silizium-Ionen
																											in
																											einem
																											einkristallinen
																											Siliziumgrundkörper.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											parts
																											of
																											the
																											holding
																											device
																											mentioned
																											above
																											are
																											manufactured
																											from
																											a
																											single-crystal
																											or
																											polycrystalline
																											silicon
																											of
																											the
																											highest
																											purity.
																		
			
				
																						Vorstehend
																											genannte
																											Teile
																											der
																											Haltevorrichtung
																											sind
																											aus
																											ein-
																											oder
																											polykristallinem
																											Silizium
																											höchster
																											Reinheit
																											gefertigt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											triac
																											includes
																											two
																											thyristors
																											that
																											operate
																											in
																											anti-parallel
																											and
																											are
																											integrated
																											into
																											a
																											single
																											silicon
																											crystal.
																		
			
				
																						Der
																											Zweiwegthyristor
																											enthält
																											zwei
																											antiparallel-arbeitende
																											Thyristoren,
																											die
																											in
																											einem
																											einzigen
																											Siliziumkristall
																											integriert
																											sind.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Both
																											a
																											SOI
																											substrate
																											as
																											well
																											as
																											a
																											single-crystal
																											silicon
																											substrate
																											are
																											suitable
																											as
																											a
																											substrate
																											wafer
																											in
																											the
																											method
																											of
																											the
																											invention.
																		
			
				
																						Als
																											Substratscheibe
																											ist
																											in
																											dem
																											erfindungsgemäßen
																											Verfahren
																											sowohl
																											ein
																											SOI-Substrat
																											als
																											auch
																											ein
																											einkristallines
																											Siliziumsubstrat
																											geeignet.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											single-crystal
																											silicon,
																											thermal
																											fluctuations
																											are
																											excited
																											to
																											a
																											clearly
																											smaller
																											degree
																											than
																											in
																											usual
																											optical
																											glasses.
																		
			
				
																						In
																											einkristallinem
																											Silizium
																											werden
																											thermische
																											Fluktuationen
																											deutlich
																											weniger
																											angeregt
																											als
																											in
																											den
																											üblichen
																											optischen
																											Gläsern.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						One
																											such
																											reference
																											material,
																											single-crystal
																											silicon,
																											has
																											also
																											been
																											investigated
																											within
																											the
																											scope
																											of
																											the
																											project.
																		
			
				
																						Ein
																											solches
																											Referenzmaterial,
																											einkristallines
																											Silizium,
																											ist
																											in
																											dem
																											Projekt
																											ebenfalls
																											untersucht
																											worden.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Each
																											thin,
																											blue-tinted
																											PV
																											cell
																											is
																											cut
																											from
																											a
																											single
																											silicon
																											crystal
																											or
																											a
																											block
																											of
																											crystals.
																		
			
				
																						Jede
																											dünne,
																											blau
																											gefärbte
																											PV-Zelle
																											besteht
																											aus
																											einem
																											einzigen
																											Siliziumkristall
																											oder
																											einem
																											Verbund
																											von
																											Kristallen.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Monocrystalline
																											solar
																											panels
																											tend
																											to
																											be
																											very
																											costly
																											to
																											produce
																											since
																											they
																											require
																											a
																											single
																											silicon
																											crystal
																											grown
																											in
																											a
																											very
																											complicated
																											process.
																		
			
				
																						Monokristalline
																											Solarplatten
																											sind
																											in
																											der
																											Regel
																											sehr
																											teuer
																											in
																											der
																											Produktion,
																											da
																											sie
																											ein
																											einzelnes
																											Siliziumkristall
																											erfordern,
																											das
																											in
																											einem
																											sehr
																											komplizierten
																											Verfahren
																											gezüchtet
																											wird.
															 
				
		 EUbookshop v2
			
																						A
																											further
																											possibility
																											for
																											cutting
																											the
																											costs
																											of
																											solar
																											cells,
																											particularly
																											when
																											single-crystal
																											and
																											polycrystalline
																											silicon
																											is
																											used,
																											consists
																											of
																											drastically
																											reducing
																											the
																											thickness
																											of
																											the
																											semiconductive
																											substrate
																											and
																											thus
																											the
																											material
																											expenditure.
																		
			
				
																						Eine
																											weitere
																											Möglichkeit
																											der
																											Senkung
																											der
																											Solarzellenkosten
																											insbesondere
																											bei
																											Verwendung
																											von
																											ein-
																											und
																											polykristallinem
																											Silizium
																											besteht
																											darin,
																											die
																											Dicke
																											des
																											Halbleitersubstrats
																											und
																											damit
																											den
																											Materialaufwand
																											drastisch
																											zu
																											reduzieren.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Single-crystal
																											silicon
																											that
																											is
																											processed
																											by
																											etching
																											is
																											a
																											promising
																											material
																											for
																											the
																											future
																											of
																											micromechanics
																											which
																											is
																											also
																											referred
																											to
																											as
																											microsystem
																											technology.
																		
			
				
																						Einkristallines
																											Silizium,
																											das
																											durch
																											Ätzen
																											bearbeitet
																											wird,
																											ist
																											ein
																											zukunftsversprechendes
																											Material
																											für
																											die
																											Mikromechanik,
																											die
																											auch
																											als
																											Mikrosystemtechnik
																											bezeichnet
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											member
																											K
																											is
																											composed,
																											for
																											example,
																											of
																											an
																											upper
																											wafer
																											St1
																											of
																											single-crystal
																											silicon
																											having
																											the
																											crystal
																											orientation
																											(100)
																											and
																											of
																											a
																											lower
																											wafer
																											St2
																											of
																											single-crystal
																											silicon
																											having
																											the
																											crystal
																											orientation
																											(110)
																											that
																											have
																											their
																											flat
																											sides
																											connected
																											to
																											one
																											another
																											by
																											a
																											connection
																											V.
																											The
																											connection
																											V
																											can
																											be
																											produced
																											by
																											various
																											methods
																											including:
																		
			
				
																						Der
																											Körper
																											K
																											besteht
																											beispielsweise
																											aus
																											einer
																											oberen
																											Scheibe
																											St1
																											aus
																											einkristallinem
																											Silizium
																											der
																											Kristallorientierung
																											(100)
																											und
																											aus
																											einer
																											unteren
																											Scheibe
																											St2
																											aus
																											einkristallinem
																											Silizium
																											der
																											Kristallorientierung
																											(110),
																											die
																											beide
																											flachseitig
																											durch
																											eine
																											Verbindung
																											V
																											miteinander
																											verbunden
																											sind.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						To
																											manufacture
																											shallow
																											pn-junctions
																											in
																											silicon,
																											methods
																											are
																											also
																											used
																											whereby
																											surface
																											zones
																											of
																											single-crystal
																											silicon
																											are
																											turned
																											into
																											an
																											amorphous
																											state
																											by
																											implantation
																											of
																											silicon
																											or
																											germanium
																											ions.
																		
			
				
																						Zur
																											Herstellung
																											flacher
																											pn-Übergänge
																											in
																											Silizium
																											werden
																											auch
																											Verfahren
																											angewandt,
																											bei
																											denen
																											Oberflächenzonen
																											von
																											einkristallinem
																											Silizium
																											durch
																											Implantation
																											von
																											Silizium-
																											oder
																											Germanium-Ionen
																											in
																											einen
																											amorphen
																											Zustand
																											gebracht
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2