Translation of "Snor" in German
																						The
																											memory
																											cell
																											arrangement
																											1200
																											is
																											realized
																											as
																											SNOR
																											architecture.
																		
			
				
																						Die
																											Speicherzellen-Anordnung
																											1200
																											ist
																											SNOR-Architektur
																											realisiert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											memory
																											unit
																											is
																											organized
																											e.g.
																											as
																											a
																											NOR
																											type
																											or
																											as
																											an
																											SNOR.
																		
			
				
																						Die
																											Speichereinheit
																											ist
																											bspw.
																											als
																											NOR-Typ
																											oder
																											als
																											SNOR
																											organisiert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Accordingly,
																											a
																											significant
																											reduction
																											of
																											the
																											cell
																											area
																											is
																											produced
																											even
																											with
																											the
																											use
																											of,
																											in
																											principle,
																											area-intensive
																											SNOR
																											semiconductor
																											memory
																											cells.
																		
			
				
																						Demzufolge
																											ergibt
																											sich
																											eine
																											wesentliche
																											Verringerung
																											der
																											Zellfläche
																											selbst
																											bei
																											Verwendung
																											von
																											grundsätzlich
																											flächenintensiven
																											SNOR-Halbleiterspeicherzellen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						You
																											find
																											them
																											in
																											the
																											lifestyle
																											collection
																											of
																											wonenmetlef.nl
																											or
																											publisher
																											Snor
																											shop
																											.
																		
			
				
																						Sie
																											finden
																											sie
																											in
																											der
																											Lifestyle
																											-
																											Kollektion
																											von
																											wonenmetlef.nl
																											oder
																											Herausgeber
																											Snor
																											shop.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						The
																											present
																											invention
																											relates
																											to
																											a
																											nonvolatile
																											semiconductor
																											memory
																											cell
																											and
																											to
																											an
																											associated
																											semiconductor
																											circuit
																											configuration
																											and
																											an
																											associated
																											fabrication
																											method,
																											and
																											in
																											particular
																											to
																											a
																											flash
																											EPROM
																											memory
																											cell
																											or
																											an
																											associated
																											memory
																											with
																											a
																											SNOR
																											architecture,
																											in
																											which
																											respective
																											source
																											and
																											drain
																											lines
																											can
																											be
																											driven
																											selectively.
																		
			
				
																						Die
																											vorliegende
																											Erfindung
																											bezieht
																											sich
																											auf
																											eine
																											nichtflüchtige
																											Halbleiterspeicherzelle
																											sowie
																											eine
																											zugehörige
																											Halbleiterschaltungsanordnung
																											und
																											ein
																											zugehöriges
																											Herstellungsverfahren
																											und
																											insbesondere
																											auf
																											eine
																											Flash-EPROM-Speicherzelle
																											bzw.
																											einen
																											zugehörigen
																											Speicher
																											mit
																											SNOR-Architektur,
																											bei
																											der
																											jeweilige
																											Source-
																											und
																											Drainleitungen
																											selektiv
																											angesteuert
																											werden
																											können.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Therefore,
																											conventional
																											SNOR
																											semiconductor
																											memory
																											cells
																											usually
																											have
																											an
																											area
																											of
																											at
																											least
																											12
																											F
																											2
																											and
																											typically
																											20
																											F
																											2,
																											where
																											F
																											represents
																											a
																											smallest
																											structure
																											width
																											that
																											can
																											be
																											realized
																											lithographically.
																		
			
				
																						Üblicherweise
																											besitzen
																											daher
																											derartige
																											herkömmliche
																											SNOR-Halbleiterspeicherzellen
																											eine
																											Fläche
																											von
																											mindestens
																											12
																											F
																											2
																											und
																											typischen
																											20
																											F
																											2,
																											wobei
																											F
																											eine
																											kleinste
																											lithografisch
																											realisierbare
																											Strukturbreite
																											darstellt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											this
																											way,
																											it
																											is
																											possible
																											to
																											carry
																											out
																											further
																											“shrinks”
																											or
																											a
																											more
																											extensive
																											integration
																											of
																											the
																											semiconductor
																											circuit
																											configuration
																											since
																											the
																											SNOR
																											architecture
																											does
																											not
																											rely
																											on
																											a
																											predetermined
																											minimum
																											cell
																											transistor
																											length
																											or
																											channel
																											length.
																		
			
				
																						Auf
																											diese
																											Weise
																											können
																											weitere
																											"shrinks"
																											bzw.
																											eine
																											weitergehende
																											Integration
																											der
																											Halbleiter-Schaltungsanordnung
																											durchgeführt
																											werden,
																											da
																											die
																											SNOR-Architektur
																											nicht
																											auf
																											eine
																											vorbestimmte
																											Mindest-Zelltransistorlänge
																											bzw.
																											Kanallänge
																											angewiesen
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						BACKGROUND
																											The
																											present
																											invention
																											relates
																											to
																											a
																											bit
																											line
																											structure
																											and
																											to
																											a
																											production
																											method
																											therefor,
																											and
																											in
																											particular
																											to
																											a
																											sub-100
																											nm
																											bit
																											line
																											structure
																											and
																											an
																											associated
																											production
																											method,
																											as
																											can
																											be
																											used
																											in
																											a
																											non-volatile
																											SNOR
																											memory
																											circuit
																											for
																											the
																											respective
																											selective
																											driving
																											of
																											source
																											and
																											drain
																											lines.
																		
			
				
																						Die
																											vorliegende
																											Erfindung
																											bezieht
																											sich
																											auf
																											eine
																											Bitleitungsstruktur
																											sowie
																											ein
																											Verfahren
																											zu
																											deren
																											Herstellung
																											und
																											insbesondere
																											auf
																											eine
																											Sub-100nm-Bitleitungsstruktur
																											sowie
																											ein
																											zugehöriges
																											Herstellungsverfahren,
																											wie
																											es
																											in
																											einer
																											nicht
																											flüchtigen
																											SNOR-Speicherschaltung
																											zur
																											jeweiligen
																											selektiven
																											Ansteuerung
																											von
																											Source-
																											und
																											Drainleitungen
																											verwendet
																											werden
																											kann.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											this
																											way,
																											it
																											is
																											possible
																											to
																											carry
																											out
																											further
																											shrinks
																											or
																											more
																											extensive
																											integration
																											of
																											semiconductor
																											circuit
																											arrangements,
																											since
																											the
																											SNOR
																											architecture
																											does
																											not
																											rely
																											on
																											a
																											predetermined
																											minimum
																											cell
																											transistor
																											length
																											or
																											channel
																											length.
																		
			
				
																						Auf
																											diese
																											Weise
																											können
																											weitere
																											Shrinks
																											bzw.
																											eine
																											weitergehende
																											Integration
																											von
																											Halbleiterschaltungsanordnungen
																											durchgeführt
																											werden,
																											da
																											die
																											SNOR-Architektur
																											nicht
																											auf
																											eine
																											vorbestimmte
																											Mindest-Zelltransistorlänge
																											bzw.
																											Kanallänge
																											angewiesen
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											present
																											invention
																											relates
																											to
																											a
																											bit
																											line
																											structure
																											and
																											to
																											a
																											method
																											of
																											fabrication
																											thereof,
																											and
																											in
																											particular
																											to
																											a
																											sub-100
																											nm
																											bit
																											line
																											structure
																											and
																											an
																											associated
																											fabrication
																											method
																											that
																											can
																											be
																											used
																											in
																											a
																											nonvolatile
																											Selective
																											NOR
																											(“SNOR”)
																											memory
																											circuit
																											for
																											in
																											each
																											case
																											selectively
																											driving
																											source
																											and
																											drain
																											lines.
																		
			
				
																						Die
																											vorliegende
																											Erfindung
																											bezieht
																											sich
																											auf
																											eine
																											Bitleitungsstruktur
																											sowie
																											ein
																											Verfahren
																											zu
																											deren
																											Herstellung
																											und
																											insbesondere
																											auf
																											eine
																											sub-100nm-Bitleitungsstruktur
																											sowie
																											ein
																											zugehöriges
																											Herstellungsverfahren
																											wie
																											es
																											in
																											einer
																											nichtflüchtigen
																											SNOR-Speicherschaltung
																											zur
																											jeweiligen
																											selektiven
																											Ansteuerung
																											von
																											Source-
																											und
																											Drainleitungen
																											verwendet
																											werden
																											kann.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Further
																											shrinks
																											or
																											more
																											extensive
																											integration
																											of
																											semiconductor
																											circuit
																											arrangements
																											can
																											be
																											carried
																											out
																											in
																											this
																											way,
																											since
																											the
																											SNOR
																											architecture
																											does
																											not
																											rely
																											on
																											a
																											predetermined
																											minimum
																											cell
																											transistor
																											length
																											or
																											channel
																											length.
																		
			
				
																						Auf
																											diese
																											Weise
																											können
																											weitere
																											Shrinks
																											bzw.
																											eine
																											weitergehende
																											Integration
																											von
																											Halbleiterschaltungsanordnungen
																											durchgeführt
																											werden,
																											da
																											die
																											SNOR-Architektur
																											nicht
																											auf
																											eine
																											vorbestimmte
																											Mindest-Zelltransistorlänge
																											bzw.
																											Kanallänge
																											angewiesen
																											ist.
															 
				
		 EuroPat v2