Translation of "Submicrometer" in German

Positive images (submicrometer structures) of the photomask are obtained.
Es werden positive Abbilder (Submikrometerstrukturen) der Auflösungsmaske erhalten.
EuroPat v2
The accuracy is in the submicrometer range over the whole structure height.
Die Genauigkeit liegt über die gesamte Strukturhöhe im Submikrometerbereich.
EuroPat v2
In this connection, permissible tolerances must be within the micrometer or submicrometer range.
Zulässige Toleranzen können dabei im Mikrometer- oder Submikrometerbereich liegen.
EuroPat v2
In the top resist good structures are obtained in the submicrometer range.
Im Top-Resist werden dabei saubere Strukturen im Sub­mikrometerbereich erhalten.
EuroPat v2
The positioning accuracy is in the submicrometer range.
Die Positionsgenauigkeit liegt dabei im Submikrometerbereich.
EuroPat v2
The finely dispersed silica is a commercial flame-hydrolyzed silica having a particle size in the submicrometer range.
Die feindisperse Kieselsäure ist eine handelsübliche flammhydrolisierte Kieselsäure mit einer Teilchengröße im Submikrometerbereich.
EuroPat v2
The vaporizing fog generator generates particles in the submicrometer range.
Der Verdampfungsnebelgenerator erzeugt Partikel im Submikrometerbereich.
ParaCrawl v7.1
The sidewalls serve to form sidewall structures of silicon nitride or oxide with dimensions in the submicrometer range.
Die Seitenwände dienen zur Ausbildung von Seitenwandstrukturen aus Siliciumnitrid oder Oxid mit Abmessungen im Submikrometerbereich.
EuroPat v2
Due to the low depth of field, light-optical methods can only be utilized within limits for defect recognition in submicrometer structures.
Aufgrund der geringen Tiefenschärfe sind lichtoptische Verfahren für die Defekterkennung in Submikrometerstrukturen nur noch begrenzt einsetzbar.
EuroPat v2
The cutting accuracy depends on the diameter of the laser focus and lies in the micrometer and submicrometer ranges.
Die Schnittgenauigkeit hängt vom Durchmesser des Laserfokus ab und liegt im Mikrometer- und Submikrometerbereich.
EuroPat v2
In circular grinding, for example, a highly precise positioning of the tool with accuracies in the submicrometer range is required.
Beim Rundschleifen beispielsweise ist ein hochpräzises Positionieren des Werkzeugs mit Genauigkeiten im Submikrometerbereich gefordert.
EuroPat v2
In addition, the diffusion paths are extremely short in the selected micrometer and submicrometer size ranges.
Bei der gewählten Größe im Mikrometer- und Submikrometerbereich sind die Diffusionswege zudem extrem kurz.
EuroPat v2
This effect becomes very clear in particular in the case of the preferred fine-grained particles in the submicrometer or nano range.
Dieser Effekt ist insbesondere bei den bevorzugten Feinkornpartikeln im Submikrometer- oder Nanobereich sehr deutlich.
EuroPat v2
With the present invention, corresponding particles may be formed also in the submicrometer range (smaller than 1 ?m).
Mit der Erfindung können entsprechende Partikeln auch im Submikrometerbereich (kleiner 1µm) geformt werden.
EuroPat v2
This effect is very clear in particular in the case of the preferred fine-grained particles in the submicrometer or nano range.
Dieser Effekt ist insbesondere bei den bevorzugten Feinkornpartikeln im Submikrometer- oder Nanobereich sehr deutlich.
EuroPat v2
If particles within the submicrometer range shall be produced, usually sieving and screening methods come to their limits.
Sollen Partikel im Submikrometerbereich hergestellt werden, geraten Sieb- und Sichtungsverfahren im Allgemeinen an ihre Grenzen.
EuroPat v2
The masks used in the processes previously employed for the production of such submicrometer structures were fabricated by direct write electron or ion beam lithography.
Die in den Verfahren zur Herstellung solcher Submikrometerstrukturen bisher verwendeten Masken wurden mittels direkt schreibender Elektronenstrahl- oder Ionenstrahllithographie hergestellt.
EuroPat v2
By means of the reverse process, structures whose smallest dimensions are in the micrometer and the submicrometer range can be transferred into chromium layers with sharp edges.
Mit dem Umkehrprozeß lassen sich Strukturen, deren kleinste Abmessungen im Mikrometer- und Submikrometerbereich liegen, scharfkantig in Chromschichten übertragen.
EuroPat v2
Following the method of making structures with dimensions in the submicrometer range, structures of a polymeric layer with horizontal and substantially vertical surfaces are first made on a substrate.
Im Verlaufe des Verfahrens zum Herstellen von Strukturen mit Abmessungen im Submikrometerbereich werden auf einem Substrat zunächst Bereiche einer Polymerschicht mit horizontalen und im wesentlichen vertikalen Oberflächen ausgebildet.
EuroPat v2
It is the object of the invention to provide an uncomplicated and reliable reverse process for making chromium masks, with which patterns of very high edge sharpness and with high imaging precision can be transferred also in those cases where the pattern elements have dimensions in the micrometer and submicrometer range.
Es ist die Aufgabe der Erfindung, einen einfachen und sicheren Umkehrprozess zur Herstellung von Chrommasken anzugeben, mit welchem Muster mit sehr guter Kantenschärfe und mit hoher Abbildungsgenauigkeit auch dann übertragen werden können, wenn die Musterelemente Abmessungen im Mikrometer- und im Submikrometerbereich aufweisen.
EuroPat v2