Translation of "Wafer fabrication" in German
																						The
																											region
																											105
																											essentially
																											contributes
																											to
																											the
																											mechanical
																											stability
																											of
																											a
																											wafer
																											during
																											the
																											fabrication
																											of
																											semiconductor
																											components
																											in
																											the
																											region
																											104,
																											the
																											extent
																											of
																											the
																											wafer
																											in
																											the
																											lateral
																											direction
																											exceeding
																											the
																											thickness
																											d,
																											or
																											the
																											sum
																											of
																											the
																											thicknesses
																											d
																											and
																											x,
																											by
																											several
																											orders
																											of
																											magnitude.
																		
			
				
																						Der
																											Bereich
																											105,
																											trägt
																											im
																											wesentlichen
																											zur
																											mechanischen
																											Stabilität
																											eines
																											Wafers
																											bei
																											der
																											Herstellung
																											von
																											Halbleiterbauelementen
																											in
																											dem
																											Bereich
																											104
																											bei,
																											wobei
																											die
																											Ausdehnung
																											des
																											Wafers
																											in
																											lateraler
																											Richtung
																											die
																											Dicke
																											D,
																											bzw.
																											die
																											Summe
																											aus
																											den
																											Dicken
																											D
																											und
																											x,
																											um
																											mehrere
																											Größenordnungen
																											übersteigt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											semiconductor
																											materials
																											may
																											possess
																											any
																											conventional
																											crystal
																											lattice
																											orientation
																											and
																											resistivity,
																											and
																											will
																											be
																											of
																											conventional
																											dimensions
																											as
																											used
																											in
																											the
																											wafer
																											fabrication
																											industry.
																		
			
				
																						Die
																											Halbleitermaterialien
																											können
																											jede
																											herkömmliche
																											Kristallgitterorientierung
																											und
																											alle
																											spezifischen
																											Widerstände
																											aufweisen
																											und
																											die
																											herkömmlichen
																											Abmessungen
																											haben,
																											wie
																											sie
																											bei
																											der
																											Herstellung
																											in
																											der
																											Scheibenindustrie
																											Verwendung
																											finden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						After
																											the
																											patterning
																											step,
																											which
																											is
																											usually
																											carried
																											out
																											by
																											photolithographic
																											processes,
																											a
																											second
																											insulating
																											layer
																											4,
																											a
																											first
																											conductive
																											layer
																											5
																											and
																											a
																											partial
																											protective
																											layer
																											6
																											are
																											deposited
																											on
																											the
																											wafer
																											in
																											subsequent
																											fabrication
																											steps.
																		
			
				
																						Nach
																											diesem
																											Strukturierungsschritt,
																											der
																											üblicherweise
																											mittels
																											fotolithografischer
																											Prozesse
																											durchgeführt
																											wird,
																											werden
																											in
																											nachfolgenden
																											Herstellungsschritten
																											eine
																											zweite
																											Isolierschicht
																											4,
																											eine
																											erste
																											leitende
																											Schicht
																											5
																											und
																											eine
																											Teil-Schutzschicht
																											6
																											auf
																											dem
																											Wafer
																											abgeschieden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						These
																											changes
																											reduce
																											the
																											significance
																											of
																											labour
																											costs
																											and
																											hence
																											the
																											attractiveness
																											of
																											Third
																											World
																											locations
																											relative
																											to
																											the
																											economies
																											of
																											co-locating
																											sub-automated
																											assemblies
																											and
																											wafer
																											fabrication
																											in
																											developed
																											countries.
																		
			
				
																						Diese
																											Änderungen
																											reduzieren
																											die
																											Bedeutung
																											der
																											Arbeitskosten
																											und
																											daher
																											die
																											Anziehungskraft
																											der
																											Standorte
																											in
																											der
																											Dritten
																											Welt
																											im
																											Verhältnis
																											zu
																											den
																											Einsparungen,
																											wenn
																											man
																											die
																											Standorte
																											für
																											halbautomatisierte
																											Montagen
																											und
																											Waferherstellung
																											in
																											den
																											entwickelten
																											Ländern
																											zusammenstellt.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						In
																											order
																											to
																											reduce
																											wafer
																											fabrication
																											tolerances,
																											the
																											ion
																											current
																											is
																											measured
																											and
																											the
																											irradiation
																											time
																											is
																											adjusted
																											depending
																											on
																											the
																											ion
																											current.
																		
			
				
																						Um
																											Fertigungstoleranzen
																											der
																											Wafer
																											zu
																											reduzieren,
																											wird
																											der
																											lonenstrom
																											gemessen
																											und
																											die
																											Bestrahlungsdauer
																											in
																											Abhängigkeit
																											von
																											dem
																											lonenstrom
																											angepasst.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											layer
																											17
																											can
																											be
																											applied
																											to
																											the
																											rear
																											side
																											of
																											the
																											wafer
																											during
																											fabrication
																											of
																											the
																											semiconductor
																											chip
																											4,
																											for
																											example,
																											by
																											electroplating
																											or
																											in
																											the
																											form
																											of
																											a
																											film.
																		
			
				
																						Die
																											Schicht
																											17
																											kann
																											während
																											der
																											Herstellung
																											des
																											Halbleiterchips
																											4
																											beispielsweise
																											durch
																											Electroplating
																											oder
																											in
																											Form
																											einer
																											Folie
																											auf
																											die
																											Rückseite
																											des
																											Wafers
																											aufgebracht
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						It
																											should
																											be
																											noted
																											that
																											in
																											the
																											context
																											of
																											the
																											invention,
																											the
																											opening
																											can
																											also
																											be
																											an
																											opening
																											through
																											the
																											active
																											zone,
																											produced
																											in
																											the
																											semiconductor
																											layer
																											sequence
																											on-wafer
																											during
																											the
																											fabrication
																											of
																											the
																											optoelectronic
																											component.
																		
			
				
																						Es
																											sei
																											angemerkt,
																											dass
																											als
																											Durchbruch
																											im
																											Rahmen
																											der
																											Erfindung
																											auch
																											ein
																											während
																											der
																											Herstellung
																											des
																											optoelektronischen
																											Bauelements
																											im
																											Waferverbund
																											in
																											der
																											Halbleiterschichtenfolge
																											erzeugter
																											Durchbruch
																											durch
																											die
																											aktive
																											Zone
																											angesehen
																											werden
																											kann.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						After
																											this
																											patterning
																											step,
																											which
																											is
																											usually
																											carried
																											out
																											by
																											photolithographic
																											processes,
																											a
																											second
																											insulating
																											layer
																											4,
																											a
																											first
																											conductive
																											layer
																											5
																											and
																											a
																											protective
																											layer
																											6
																											are
																											deposited
																											on
																											the
																											wafer
																											in
																											subsequent
																											fabrication
																											steps.
																		
			
				
																						Nach
																											diesem
																											Strukturierungsschritt,
																											der
																											üblicherweise
																											mittels
																											fotolithografischer
																											Prozesse
																											durchgeführt
																											wird,
																											werden
																											in
																											nachfolgenden
																											Herstellungsschritten
																											eine
																											zweite
																											Isolierschicht
																											4,
																											eine
																											erste
																											leitende
																											Schicht
																											5
																											und
																											eine
																											Schutzschicht
																											6
																											auf
																											dem
																											Wafer
																											abgeschieden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											order,
																											on
																											the
																											one
																											hand,
																											to
																											ensure
																											sufficient
																											mechanical
																											stability
																											of
																											the
																											wafer
																											during
																											fabrication,
																											which
																											can
																											only
																											be
																											ensured
																											by
																											means
																											of
																											a
																											certain
																											thickness,
																											and,
																											on
																											the
																											other
																											hand,
																											to
																											minimize
																											the
																											effects
																											of
																											this
																											thickness
																											required
																											for
																											fabrication
																											on
																											the
																											component,
																											further
																											procedures
																											are
																											generally
																											known
																											in
																											addition
																											to
																											the
																											abovementioned
																											possibility
																											of
																											applying
																											epitaxial
																											layers
																											which
																											determine
																											the
																											electrical
																											properties
																											to
																											a
																											substrate
																											which
																											is
																											a
																											good
																											conductor.
																		
			
				
																						Um
																											einerseits
																											eine
																											ausreichende
																											mechanische
																											Stabilität
																											des
																											Wafers
																											bei
																											der
																											Herstellung
																											zu
																											gewährleisten,
																											die
																											nur
																											durch
																											eine
																											gewisse
																											Dicke
																											sichergestellt
																											werden
																											kann,
																											und
																											andererseits
																											die
																											Auswirkungen
																											dieser
																											zur
																											Herstellung
																											erforderlichen
																											Dicke
																											auf
																											das
																											Bauelement
																											möglichst
																											gering
																											zu
																											halten,
																											sind
																											neben
																											der
																											genannten
																											Möglichkeit,
																											auf
																											ein
																											gut
																											leitendes
																											Substrat
																											Epitaxie-Schichten
																											aufzubringen,
																											die
																											die
																											elektrischen
																											Eigenschaften
																											bestimmen,
																											weitere
																											Vorgehensweisen
																											allgemein
																											bekannt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						However,
																											the
																											implantation
																											of
																											the
																											oxygen
																											ions
																											produces
																											crystal
																											defects
																											(damage)
																											in
																											the
																											thin
																											layer
																											of
																											silicon,
																											and
																											this
																											damage
																											has
																											adverse
																											effects
																											on
																											the
																											SOI
																											wafer
																											during
																											subsequent
																											fabrication
																											of
																											electronic
																											components.
																		
			
				
																						Durch
																											die
																											Implantation
																											der
																											Sauerstoff-Ionen
																											werden
																											jedoch
																											Kristallfehler
																											("Damage")
																											in
																											der
																											dünnen
																											Siliciumschicht
																											erzeugt,
																											die
																											sich
																											bei
																											einer
																											nachfolgenden
																											Herstellung
																											von
																											elektronischen
																											Bauelementen
																											auf
																											der
																											SOI-Scheibe
																											nachteilig
																											auswirken.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											smaller
																											an
																											integrated
																											circuit,
																											the
																											higher
																											the
																											effective
																											yield
																											per
																											wafer
																											during
																											fabrication.
																		
			
				
																						Je
																											kleiner
																											eine
																											integrierte
																											Schaltung
																											ist,
																											desto
																											höher
																											ist
																											auch
																											die
																											effektive
																											Ausbeute
																											pro
																											Wafer
																											bei
																											der
																											Herstellung.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											company
																											already
																											won
																											the
																											prestigious
																											award
																											in
																											1984
																											for
																											the
																											ELSAM
																											acoustic
																											microscope
																											and
																											again
																											in
																											2002
																											for
																											the
																											DUV
																											high-resolution
																											microscope
																											objective
																											for
																											photomask
																											and
																											wafer
																											fabrication.
																		
			
				
																						Bereits
																											1984
																											wurde
																											das
																											Unternehmen
																											für
																											das
																											Akustomikroskop
																											ELSAM
																											und
																											2002
																											für
																											das
																											DUV-Hochauflösungsobjektiv
																											für
																											Fotomasken-
																											und
																											Waferherstellung
																											mit
																											dem
																											renommierten
																											Preis
																											ausgezeichnet.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						With
																											inspection,
																											guidance
																											and
																											identification
																											applications
																											throughout
																											wafer
																											manufacture,
																											cell
																											fabrication
																											and
																											module
																											assembly
																											processes,
																											Cognex
																											is
																											a
																											leader
																											in
																											supporting
																											manufacturing
																											in
																											the
																											alternative
																											energy
																											market.
																		
			
				
																						Mit
																											Prüf-,
																											Steuerungs-
																											und
																											Identifikationsanwendungen
																											in
																											der
																											Wafer-Herstellung,
																											Solarzellenfertigung
																											und
																											bei
																											Modulmontageprozessen
																											ist
																											Cognex
																											ein
																											maßgeblicher
																											Unterstützer
																											von
																											Herstellern
																											im
																											Bereich
																											erneuerbarer
																											Energien.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Wafer
																											fabrication
																											includes
																											many
																											repeated
																											processes
																											to
																											produce
																											complete
																											integrated
																											electronic
																											circuits
																											on
																											the
																											wafer
																											substrate
																											surface
																											and
																											subsequently
																											sectioning
																											into
																											individual
																											wafer
																											dice.
																		
			
				
																						Die
																											Herstellung
																											von
																											Wafern
																											umfasst
																											zahlreiche,
																											sich
																											wiederholende
																											Prozesse,
																											um
																											vollständige
																											elektronische
																											Bauteile
																											und
																											integrierte
																											Schaltkreise
																											auf
																											der
																											Oberfläche
																											des
																											Wafersubstrats
																											zu
																											erzeugen,
																											wonach
																											der
																											Wafer
																											vereinzelt
																											wird.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Conventional
																											solar
																											modules
																											of
																											crystalline
																											silicon
																											are
																											based
																											on
																											wafer
																											fabrication
																											with
																											subsequent
																											electrical
																											wiring,
																											resulting
																											in
																											relatively
																											small
																											power
																											units
																											of
																											approximately
																											1
																											W,
																											silicon
																											wafers
																											then
																											needing,
																											as
																											a
																											rule,
																											to
																											be
																											circuited
																											into
																											50-100
																											W
																											modules.
																		
			
				
																						Herkömmliche
																											Solarmodule
																											aus
																											kristallinem
																											Silizium
																											basieren
																											auf
																											einer
																											Waferherstellung
																											und
																											einer
																											nachfolgenden
																											elektrischen
																											Verdrahtung.
																											Hieraus
																											entstehen
																											relative
																											kleine
																											Leistungseinheiten
																											von
																											ca.
																											1
																											W
																											Silizium-Wafern,
																											die
																											dann
																											in
																											der
																											Regel
																											zu
																											50
																											-
																											100
																											W
																											Modulen
																											verschaltet
																											werden
																											müssen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						As
																											a
																											comparison,
																											wafers
																											were
																											fabricated
																											using
																											the
																											same
																											fabrication
																											sequence
																											but
																											with
																											grinding
																											of
																											the
																											front
																											on
																											a
																											wafer
																											holder
																											having
																											a
																											hard
																											support.
																		
			
				
																						Zum
																											Vergleich
																											wurden
																											Scheiben
																											mit
																											gleicher
																											Fertigungsabfolge,
																											aber
																											mit
																											Schleifen
																											der
																											Vorderseite
																											auf
																											einem
																											Scheibenhalter
																											mit
																											harter
																											Auflage,
																											gefertigt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						After
																											contact
																											metallization
																											layers
																											have
																											been
																											applied
																											to
																											the
																											wafer
																											fabricated
																											in
																											such
																											a
																											way,
																											the
																											wafer
																											is
																											separated
																											into
																											individual
																											light-emitting
																											diode
																											chips
																											or
																											semiconductor
																											laser
																											chips.
																		
			
				
																						Nach
																											einem
																											Aufbringen
																											von
																											Kontaktmetallisierungen
																											auf
																											den
																											derart
																											hergestellten
																											Wafer
																											wird
																											dieser
																											in
																											einzelne
																											Leuchtdiodenchips
																											oder
																											Halbleiterlaserchips
																											vereinzelt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Many
																											difficulties
																											which
																											occur
																											when
																											breaking
																											or
																											etching
																											wafers
																											fabricated
																											by
																											means
																											of
																											planar
																											epitaxy,
																											in
																											particular
																											Ga(In,Al)N
																											epitaxial
																											wafers
																											for
																											fabricating
																											a
																											very
																											wide
																											variety
																											of
																											light-emitting
																											diode
																											or
																											semiconductor
																											laser
																											chips,
																											are
																											circumvented
																											by
																											this
																											method.
																		
			
				
																						Viele
																											Schwierigkeiten,
																											die
																											beim
																											Brechen
																											bzw.
																											Ätzen
																											von
																											mittels
																											planarer
																											Epitaxie
																											hergestellten
																											Scheiben,
																											insbesondere
																											von
																											Ga(in,Al)N-Epitaxiewafern
																											zur
																											Herstellung
																											von
																											Leuchtdioden-
																											oder
																											Halbleiterlaserchips
																											verschiedenster
																											Art
																											auftreten,
																											werden
																											mit
																											diesem
																											Verfahren
																											umgangen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											invention
																											relates
																											to
																											a
																											method
																											for
																											the
																											production
																											of
																											vertical
																											electrical
																											contact
																											connections
																											(micro-vias,
																											via=vertical
																											interconnect
																											access)
																											in
																											semiconductor
																											wafers
																											for
																											the
																											fabrication
																											of
																											semiconductor
																											devices,
																											i.e.,
																											of
																											contacts
																											on
																											the
																											front
																											side
																											of
																											the
																											wafer
																											through
																											the
																											semiconductor
																											wafer,
																											to
																											the
																											rear
																											side
																											of
																											the
																											wafer.
																		
			
				
																						Die
																											Erfindung
																											betrifft
																											ein
																											Verfahren
																											zur
																											Erzeugung
																											von
																											vertikalen
																											elektrischen
																											Kontaktverbindungen
																											(Mikro-Vias,
																											via
																											=
																											vertical
																											interconnect
																											access)
																											in
																											Halbleiterwafern
																											zur
																											Herstellung
																											von
																											Halbleiter-Bauelementen,
																											das
																											heißt
																											von
																											Kontakten
																											auf
																											der
																											Wafer-Vorderseite
																											durch
																											den
																											Halbleiter-Wafer
																											hindurch
																											zur
																											Wafer-Rückseite.
															 
				
		 EuroPat v2