Translation of "Ätzbad" in English
																						Die
																											Ansaughaltevorrichtung
																											wird
																											zusammen
																											mit
																											dem
																											Substrat
																											in
																											ein
																											Ätzbad
																											eingebracht.
																		
			
				
																						The
																											suction
																											holding
																											device
																											is
																											introduced
																											in
																											an
																											etching
																											bath
																											together
																											with
																											the
																											substrate.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											freigelegten
																											Bereiche
																											des
																											Kupferblechs
																											wurden
																											in
																											einem
																											marktüblichen
																											Ätzbad
																											geätzt.
																		
			
				
																						The
																											bared
																											areas
																											of
																											the
																											copper
																											sheet
																											were
																											etched
																											in
																											a
																											commercial
																											etching
																											bath.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Diese
																											Kupferschicht
																											wird
																											gleichfalls
																											in
																											einem
																											alkalischen
																											Ätzbad
																											selektiv
																											aufgelöst.
																		
			
				
																						This
																											copper
																											layer
																											is
																											likewise
																											selectively
																											decomposed
																											in
																											an
																											alkali
																											etching
																											bath.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Im
																											einfachsten
																											Fall
																											wird
																											der
																											Folienverbund
																											vollständig
																											in
																											das
																											Ätzbad
																											getaucht.
																		
			
				
																						In
																											the
																											most
																											simple
																											case,
																											the
																											composite
																											film
																											is
																											dipped
																											entirely
																											into
																											the
																											etching
																											bath.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Größe
																											des
																											Materialabtrags
																											an
																											der
																											Schaufeloberfläche
																											wird
																											durch
																											die
																											Behandlungsdauer
																											in
																											einem
																											Ätzbad
																											bestimmt.
																		
			
				
																						The
																											amount
																											of
																											stock
																											removal
																											at
																											the
																											blade
																											surface
																											is
																											controlled
																											by
																											the
																											duration
																											of
																											treatment
																											in
																											an
																											etching
																											bath.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Danach
																											wurde
																											in
																											einem
																											ammoniakalischen
																											Ätzbad
																											das
																											freigelegte
																											Kupfer
																											weggeätzt,
																											wobei
																											eine
																											Cu-Feinleiter-Schaltung
																											mit
																											folgenden
																											Vorteilen
																											erhalten
																											wurde:
																											Auflösung
																											bis
																											unter
																											50
																											1
																											1m
																											Leiterbahnbreite,
																											zwei
																											Kopierschritte
																											mit
																											einer
																											einzigen
																											Beschichtung,
																											Verwendung
																											praktisch
																											nur
																											einer
																											(Negativ)-Vorlage
																											und
																											ohnehin
																											vorhandener
																											Geräte.
																		
			
				
																						The
																											bared
																											copper
																											was
																											then
																											etched
																											away
																											in
																											an
																											ammoniacal
																											etching
																											bath,
																											a
																											Cu
																											microconductor
																											circuit
																											being
																											obtained
																											which
																											had
																											the
																											following
																											advantages:
																											resolution
																											to
																											a
																											conducting
																											path
																											width
																											of
																											less
																											than
																											50
																											?m,
																											two
																											copying
																											steps
																											with
																											one
																											single
																											coating,
																											use
																											of
																											virtually
																											only
																											one
																											(negative)
																											original
																											and
																											equipment
																											which
																											was
																											already
																											present.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Ein
																											bevorzugtes
																											Verfahren
																											zur
																											Herstellung
																											eines
																											solchen
																											Führungsdrahtes
																											sieht
																											vor,
																											daß
																											ein
																											stabförmiges
																											Teil
																											mit
																											glatter
																											Außenwandung
																											zumindestens
																											einmal
																											wenigstens
																											über
																											einen
																											Teil
																											seiner
																											Länge
																											kontinuierlich
																											aus
																											einem
																											sein
																											Material
																											angreifenden
																											Ätzbad
																											in
																											eine
																											nichtätzende
																											Umgebung
																											gezogen
																											wird.
																		
			
				
																						According
																											to
																											a
																											preferred
																											process
																											for
																											producing
																											such
																											a
																											guide
																											wire,
																											a
																											rod-shaped
																											part
																											with
																											a
																											smooth
																											outer
																											wall
																											is
																											drawn
																											continuously
																											and
																											at
																											least
																											once
																											over
																											part
																											of
																											its
																											length
																											from
																											an
																											etching
																											bath
																											attacking
																											its
																											material
																											into
																											a
																											non-etching
																											environment.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											freiliegenden
																											Bereiche
																											des
																											Aluminiums
																											wurden
																											in
																											einem
																											Ätzbad
																											aus
																											1.5
																											I
																											reiner
																											Phosphorsäure,
																											150
																											ml
																											Eisessig,
																											150
																											ml
																											Salpetersäure
																											und
																											200
																											ml
																											entionisiertem
																											Wasser
																											bei
																											60
																											°C
																											und
																											einer
																											Behandlungszeit
																											von
																											1
																											Minute
																											weggeätzt.
																		
			
				
																						The
																											bared
																											areas
																											of
																											the
																											aluminum
																											were
																											etched
																											away
																											for
																											1
																											minute
																											at
																											60°
																											C.
																											in
																											an
																											etching
																											bath
																											comprising
																											1.5
																											liters
																											of
																											pure
																											phosphoric
																											acid,
																											150
																											ml
																											of
																											glacial
																											acetic
																											acid,
																											150
																											ml
																											of
																											nitric
																											acid
																											and
																											200
																											ml
																											of
																											deionized
																											water.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Danach
																											können
																											die
																											Abstandsscheiben
																											2
																											in
																											ihrem
																											Außendurchmesser
																											durch
																											Ätzen
																											auf
																											die
																											benötigte
																											Rillentiefe
																											verringert
																											werden,
																											indem
																											man
																											z.B.
																											den
																											Rakelstab
																											in
																											ein
																											Ätzbad
																											teilweise
																											eintauchen
																											und
																											dabei
																											rotieren
																											läßt,
																											solange
																											bis
																											die
																											nötige
																											Rillentiefe
																											erreicht
																											ist.
																		
			
				
																						Thereafter,
																											the
																											spacer
																											disks
																											2
																											can
																											be
																											reduced
																											in
																											their
																											outside
																											diameter
																											to
																											the
																											desired
																											groove
																											depth
																											by
																											etching,
																											in
																											that
																											the
																											doctor
																											bar
																											is
																											partly
																											immersed
																											in
																											an
																											etching
																											bath
																											and
																											rotated
																											until
																											the
																											required
																											groove
																											depth
																											is
																											reached.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											freiliegenden
																											Bereiche
																											des
																											Aluminiums
																											wurden
																											in
																											einem
																											Ätzbad
																											aus
																											1,5
																											1
																											reiner
																											Phosphorsäure,
																											150
																											ml
																											Eisessig,
																											150
																											ml
																											Salpetersäure
																											und
																											200
																											ml
																											entionisiertem
																											Wasser
																											bei
																											60°C
																											und
																											einer
																											Behandlungszeit
																											von
																											1
																											Minute
																											weggeätzt.
																		
			
				
																						The
																											bared
																											areas
																											of
																											the
																											aluminum
																											were
																											etched
																											away
																											for
																											1
																											minute
																											at
																											60°
																											C.
																											in
																											an
																											etching
																											bath
																											comprising
																											1.5
																											liters
																											of
																											pure
																											phosphoric
																											acid,
																											150
																											ml
																											of
																											glacial
																											acetic
																											acid,
																											150
																											ml
																											of
																											nitric
																											acid
																											and
																											200
																											ml
																											of
																											deionized
																											water.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Man
																											erhielt
																											ein
																											Resistmuster,
																											welches
																											ebenfalls
																											eine
																											ausgezeichnete
																											Beständigkeit
																											gegenüber
																											dem
																											Ätzbad
																											für
																											das
																											Aluminium
																											aufwies.
																		
			
				
																						The
																											resulting
																											resist
																											image
																											was
																											likewise
																											very
																											resistant
																											to
																											the
																											etching
																											bath
																											for
																											the
																											aluminum.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Anschließend
																											wird
																											in
																											einem
																											handelsüblichen
																											Ätzbad
																											bei
																											40-50°C
																											die
																											nicht
																											abgedeckte
																											Kupferschicht
																											weggeätzt,
																											dann
																											mit
																											Wasser
																											gespült
																											und
																											getrocknet.
																		
			
				
																						Thereafter,
																											the
																											uncovered
																											copper
																											layer
																											is
																											etched
																											away
																											in
																											a
																											commercial
																											etching
																											bath
																											at
																											40
																											to
																											50
																											°
																											C.
																											and
																											the
																											board
																											is
																											then
																											rinsed
																											wih
																											water
																											and
																											dried.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Danach
																											wurde
																											in
																											einem
																											ammoniakalischen
																											Ätzbad
																											das
																											freigelegte
																											Kupfer
																											weggeätzt,
																											wobei
																											eine
																											Cu-Feinleiter-Schaltung
																											mit
																											folgenden
																											Vorteilen
																											erhalten
																											wurde:
																											Auflösung
																											bis
																											unter
																											50
																											/
																											um
																											Leiterbahnbreite,
																											zwei
																											Kopierschritte
																											mit
																											einer
																											einzigen
																											Beschichtung,
																											Verwendung
																											praktisch
																											nur
																											einer
																											(Negativ)-Vorlage
																											und
																											ohnehin
																											vorhandener
																											Geräte.
																		
			
				
																						The
																											bared
																											copper
																											was
																											then
																											etched
																											away
																											in
																											an
																											ammoniacal
																											etching
																											bath,
																											a
																											Cu
																											microconductor
																											circuit
																											being
																											obtained
																											which
																											had
																											the
																											following
																											advantages:
																											resolution
																											to
																											a
																											conducting
																											path
																											width
																											of
																											less
																											than
																											50
																											?m,
																											two
																											copying
																											steps
																											with
																											one
																											single
																											coating,
																											use
																											of
																											virtually
																											only
																											one
																											(negative)
																											original
																											and
																											equipment
																											which
																											was
																											already
																											present.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Gehäuse
																											mit
																											eingeschobenem
																											Einsatz
																											wird
																											durch
																											die
																											Haltevorrichtungen
																											4
																											an
																											der
																											Transportvorrichtung
																											einer
																											handelsüblichen
																											Ätzanlage
																											befestigt
																											und
																											in
																											das
																											Reinigungs-
																											oder
																											Ätzbad
																											gebracht,
																											das
																											gegebenenfalls
																											auch
																											aufgeheizt
																											oder
																											nach
																											Verschließen
																											unter
																											Druck
																											gesetzt
																											werden
																											kann.
																		
			
				
																						The
																											housing
																											with
																											insert
																											pushed
																											in
																											is
																											attached
																											by
																											means
																											of
																											the
																											holding
																											devices
																											4
																											to
																											the
																											conveyor
																											devices
																											of
																											a
																											commercial
																											etching
																											system
																											and
																											introduced
																											into
																											the
																											cleaning
																											or
																											etching
																											bath,
																											which
																											may
																											optionally
																											also
																											be
																											heated
																											or,
																											after
																											sealing,
																											placed
																											under
																											pressure.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											einem
																											Ätzbad,
																											bestehend
																											z.B.
																											aus
																											einer
																											Jod-Kaliumjodid-Lösung,
																											werden
																											die
																											nicht
																											vom
																											Lack
																											abgedeckten
																											Flächen
																											der
																											Goldschicht
																											38
																											entfernt.
																		
			
				
																						In
																											an
																											etch
																											bath,
																											comprised
																											for
																											example
																											of
																											an
																											iodide-potassium-iodide
																											solution,
																											the
																											surfaces
																											of
																											the
																											gold
																											layer
																											38
																											not
																											covered
																											by
																											the
																											resin
																											are
																											removed.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Walze
																											14
																											mit
																											dem
																											auf
																											ihr
																											befindlichen
																											Blech
																											2
																											wird
																											nun
																											in
																											ein
																											Ätzbad
																											17
																											getaucht
																											und
																											in
																											Richtung
																											des
																											Pfeils
																											22
																											um
																											ihre
																											Achse
																											gedreht.
																		
			
				
																						The
																											roll
																											14
																											with
																											the
																											metal
																											sheet
																											2
																											on
																											it
																											is
																											then
																											immersed
																											in
																											an
																											etching
																											bath
																											17
																											and
																											rotated
																											in
																											the
																											direction
																											of
																											the
																											arrow
																											22
																											about
																											its
																											axis.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											dieses
																											Ätzbad
																											wird
																											von
																											einer
																											Strahlungsquelle
																											eine
																											Strahlung
																											derart
																											eingestrahlt,
																											daß
																											sie
																											im
																											wesentlichen
																											senkrecht
																											auf
																											die
																											Substratoberfläche
																											des
																											Nutzwafers
																											einfällt.
																		
			
				
																						By
																											means
																											of
																											a
																											radiation
																											source,
																											radiation
																											is
																											introduced
																											into
																											this
																											etching
																											bath
																											in
																											such
																											a
																											way
																											that
																											it
																											will
																											impinge
																											substantially
																											perpendicularly
																											to
																											the
																											substrate
																											surface
																											of
																											the
																											usable
																											wafer.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Während
																											dieser
																											Ätzvorgänge
																											muß
																											die
																											Trägerfolie
																											von
																											einer
																											die
																											Ätzflüssigkeit
																											abhaltenden
																											Schutzschicht
																											überzogen
																											sein,
																											damit
																											das
																											Ätzbad
																											nicht
																											schnell
																											unwirksam
																											wird.
																		
			
				
																						During
																											these
																											etching
																											operations,
																											the
																											carrier
																											of
																											the
																											layer
																											must
																											be
																											coated
																											with
																											a
																											protective
																											layer
																											keeping
																											the
																											etching
																											fluid
																											out
																											so
																											that
																											the
																											etching
																											bath
																											does
																											not
																											loose
																											its
																											effectiveness
																											too
																											quickly.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Zur
																											Oberflächenbehandlung
																											wird
																											die
																											Platte
																											samt
																											Rahmen
																											in
																											einem
																											sauren
																											Ätzbad
																											(TRINORM
																											"Fe"®,
																											SCHERING
																											AG/
																											Berlin)
																											abgeätzt,
																											in
																											Fließwasser
																											gespült
																											und
																											in
																											einem
																											Entfettungsbad
																											mit
																											Unterkupferung
																											allseiting
																											mit
																											0,4
																											µm
																											Kupfer
																											beschichtet.
																		
			
				
																						For
																											surface
																											treatment,
																											the
																											plate
																											together
																											with
																											the
																											frame
																											is
																											pickled
																											in
																											an
																											acid
																											etching
																											bath
																											(TRINORM
																											"Fe"(™),
																											Schering
																											Ag,
																											Berlin),
																											rinsed
																											in
																											flowing
																											water
																											and
																											coated
																											in
																											a
																											degreasing
																											bath
																											with
																											0.4
																											?m
																											copper
																											on
																											all
																											sides.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											zwei
																											Vorratsbehältern
																											werden
																											verdünnte
																											Salzsäure
																											und
																											Natriumchlorat
																											bereitgehalten
																											und
																											durch
																											eine
																											automatische
																											Regeleinrichtung
																											dem
																											Ätzbad
																											in
																											der
																											erforderlichen
																											Menge
																											zugesetzt.
																		
			
				
																						In
																											two
																											separate
																											supply
																											containers,
																											dilute
																											hydrochloric
																											acid
																											and
																											sodium
																											chlorate
																											are
																											kept
																											ready
																											and
																											are
																											respectively
																											added
																											to
																											the
																											etching
																											bath
																											in
																											required
																											amounts
																											by
																											means
																											of
																											an
																											automatic
																											regulating
																											device.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											einem
																											Ätzbad
																											können
																											dann
																											nachfolgend
																											mikroskopische
																											Reliefstrukturen
																											in
																											die
																											Münzoberfläche
																											eingeätzt
																											werden,
																											wonach
																											der
																											fotoempfindliche
																											Kunststoff
																											wieder
																											entfernt
																											wird.
																		
			
				
																						In
																											an
																											etching
																											bath,
																											thin
																											microscopic
																											relief
																											structures
																											are
																											then
																											etched
																											into
																											the
																											coin
																											surface,
																											whereupon
																											the
																											light
																											sensitive
																											plastic
																											is
																											again
																											removed.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Verfahren
																											nach
																											Anspruch
																											1,
																											dadurch
																											gekennzeichnet,
																											daß
																											das
																											Oberflächenbehandlungsbad
																											ein
																											Glänzbad,
																											Ätzbad
																											oder
																											Beizbad
																											ist,
																											das
																											den
																											Aluminiumlegierungsschichten
																											einen
																											unterschiedlichen
																											Oberflächeneffekt
																											gibt.
																		
			
				
																						A
																											process
																											according
																											to
																											claim
																											1,
																											characterised
																											in
																											that
																											the
																											surface
																											treatment
																											bath
																											is
																											a
																											polishing
																											bath,
																											etching
																											bath
																											or
																											pickling
																											bath
																											which
																											gives
																											the
																											aluminium
																											alloy
																											layers
																											a
																											different
																											surface
																											effect.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Wenn
																											nur
																											eine
																											von
																											mehreren
																											in
																											das
																											Ätzbad
																											eingetauchten
																											Schaufeln
																											eine
																											Dickenreduzierung
																											und
																											damit
																											zum
																											Zweck
																											des
																											Auswuchtens
																											eine
																											Gewichtsreduzierung
																											erfahren
																											soll,
																											werden
																											die
																											übrigen
																											Schaufeln
																											mit
																											einer
																											gegenüber
																											dem
																											Ätzmedium
																											chemisch
																											resistenten
																											Markierung
																											abgedeckt.
																		
			
				
																						If
																											the
																											reduction
																											in
																											thickness,
																											and
																											thus,
																											for
																											the
																											purpose
																											of
																											balancing,
																											the
																											reduction
																											in
																											weight,
																											is
																											to
																											be
																											confined
																											to
																											only
																											one
																											of
																											several
																											blades
																											immersed
																											in
																											the
																											etching
																											bath,
																											the
																											other
																											blades
																											are
																											covered
																											by
																											a
																											masking
																											agent
																											which
																											is
																											chemically
																											resistant
																											to
																											the
																											etchant.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						So
																											wird
																											der
																											Folienkörper
																											22
																											beispielsweise
																											einem
																											Ätzbad
																											zugeführt,
																											in
																											dem
																											die
																											metallische
																											Schicht
																											11
																											und
																											die
																											metallische
																											Schicht
																											13,
																											welche
																											unterhalb
																											der
																											nicht
																											belichteten
																											Bereiche
																											122
																											der
																											photoaktivierbaren
																											Schicht
																											12
																											bzw.
																											unterhalb
																											der
																											nicht
																											belichteten
																											Bereiche
																											142
																											der
																											photoaktivierbaren
																											Schicht
																											14
																											angeordnet
																											sind,
																											entfernt
																											werden.
																		
			
				
																						Thus
																											the
																											film
																											body
																											22
																											is
																											fed
																											for
																											example
																											to
																											an
																											etching
																											bath
																											in
																											which
																											the
																											metallic
																											layer
																											11
																											and
																											the
																											metallic
																											layer
																											13
																											which
																											are
																											arranged
																											beneath
																											the
																											unexposed
																											regions
																											122
																											of
																											the
																											photoactivatable
																											layer
																											12
																											or
																											beneath
																											the
																											unexposed
																											regions
																											142
																											of
																											the
																											photoactivatable
																											layer
																											14
																											are
																											removed.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Struktur
																											der
																											Prägeoberfläche
																											selbst
																											wird
																											mittels
																											einer
																											Maske
																											aus
																											einem
																											Ätzresist
																											und
																											einem
																											Ätzbad
																											oder
																											Oberflächenabtragung
																											mittels
																											eines
																											Lasers
																											oder
																											Wasserstrahls
																											hergestellt.
																		
			
				
																						The
																											structure
																											of
																											the
																											stamping
																											surface
																											itself
																											is
																											produced
																											by
																											means
																											of
																											a
																											mask
																											of
																											etch
																											resist
																											and
																											an
																											etch
																											bath
																											or
																											by
																											surface
																											removal
																											using
																											a
																											laser
																											or
																											water
																											jet.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Verwendung
																											eines
																											Wasserstrahls
																											zur
																											Herstellung
																											der
																											Oberflächenstruktur
																											der
																											Prägeoberfläche
																											ist
																											ebenfalls
																											eine
																											Alternative
																											zu
																											einem
																											Ätzbad,
																											die
																											insbesondere
																											den
																											Vorteil
																											vergleichsweise
																											geringer
																											Herstellungskosten
																											aufweist,
																											da
																											weder
																											große
																											Mengen
																											ätzender
																											Chemikalien
																											verwendet
																											und
																											anschließend
																											entsorgt
																											werden
																											müssen,
																											noch
																											energiereiche
																											Laserapparaturen
																											bereitgestellt
																											werden
																											müssen.
																		
			
				
																						The
																											use
																											of
																											a
																											water
																											jet
																											to
																											produce
																											the
																											surface
																											structure
																											of
																											the
																											stamping
																											surface
																											is
																											another
																											alternative
																											to
																											an
																											etch
																											bath,
																											which
																											in
																											particular
																											has
																											the
																											advantage
																											of
																											incurring
																											relatively
																											low
																											production
																											costs
																											because
																											it
																											neither
																											involves
																											the
																											use
																											of
																											large
																											quantities
																											of
																											etching
																											chemicals
																											which
																											then
																											have
																											to
																											be
																											disposed
																											of,
																											nor
																											does
																											it
																											involve
																											the
																											provision
																											of
																											laser
																											apparatuses
																											requiring
																											energy
																											consumption.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											hierbei
																											aufzutragende
																											Maske
																											wird
																											vorzugsweise
																											aus
																											einem
																											UV-Lack
																											hergestellt,
																											der
																											mit
																											einer
																											UV-Lampe
																											zumindest
																											teilweise,
																											vorzugsweise
																											vollständig
																											durchgehärtet
																											wird,
																											um
																											die
																											notwendige
																											Widerstandsfähigkeit
																											gegenüber
																											einem
																											Ätzbad
																											zu
																											gewährleisten.
																		
			
				
																						The
																											mask
																											applied
																											for
																											this
																											purpose
																											is
																											preferably
																											made
																											from
																											a
																											UV
																											coating
																											which
																											is
																											at
																											least
																											partially
																											but
																											preferably
																											completely
																											cured
																											by
																											a
																											UV
																											lamp
																											in
																											order
																											to
																											guarantee
																											that
																											it
																											will
																											be
																											capable
																											of
																											withstanding
																											an
																											etch
																											bath.
															 
				
		 EuroPat v2