Translation of "Ätzverfahren" in English

Ein Ätzverfahren ist das Plasmaätzen oder reaktive Ionenätzen.
One method of etching is by process of plasma etching or reactive ion etching.
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Dieses Verfahren ist ein chemisches Ätzverfahren mit freien Radikalen und ist isotrop.
This process involves free radical chemical etching and is isotropic.
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Insbesondere das Ätzverfahren ist für einen automatischen Herstellungsvorgang geeignet.
Particularly, the etching process is suitable for an automatic production process.
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Ein Ätzverfahren ist beispielsweise das Plasmaätzen oder das reaktive lonenätzen.
One method of etching is by a process of plasma etching or reactive ion etching.
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Als Ätzverfahren eignet sich eine Plasma-Ätzung in CF 4 mit 0 2 -Zusatz.
A suitable etching method is plasma etching in CF4 with an addition of O2.
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Rein chemische Ätzverfahren eignen sich deshalb nicht zur Erzeugung von sehr feinen Strukturen.
Purely chemical etching processes are therefore unsuited to generating very fine structures.
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Die segmentierte Schicht 5 lässt sich beispielsweise durch ein Ätzverfahren herstellen.
The layer 5 can be produced, for example, by etching.
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Dies kann z.B. ein chemisches oder physikalisches Ätzverfahren sein.
For this purpose, a chemical or physical etch process may be employed.
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Das Ätzverfahren kann nun in der letzten Phase des Kollabierprozesses erfolgen.
The etching process may now be carried out in the last stage of hte collapsing process.
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Die Herstellung eines solchen Gebildes im Aufdampf- und Ätzverfahren bereitet keine Schwierigkeiten.
The production of such a formation by the vacuum metallizing or etching method does not involve any difficulties.
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Bei der Verwendung von Plattenreaktoren unterscheidet man zwei Ätzverfahren:
With the use of plate reactors, two etching techniques are possible:
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Das erforderliche Strukturieren ist z.B. durch an das Absorbermaterial angepaßte Ätzverfahren möglich.
The necessary structuring is possible by, for example, etching processes adapted to the absorber material.
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Die für Superschwarz verwendete Technik basiert auf dem chemischen Ätzverfahren einer Nickel-Phosphor-Legierung.
The technology to create super black involves chemically etching a nickel–phosphorus alloy.
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Es kann auch ein nasschemisches Ätzverfahren angewandt werden.
Wet chemical etching could also be used.
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Die Maskenöffnung in der Siliciumdioxidschicht 42 ist mittels standardmäßiger Photolithographie- und Ätzverfahren hergestellt.
The mask opening in the silicon dioxide layer 42 is formed by standard photolithography and etching techniques.
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Ein Ätzverfahren ist beispielsweise das Plasmaätzen oder das reaktive Ionenätzen.
One method of etching is by a process of plasma etching or reactive ion etching.
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Ein Ätzverfahren ist das Plasmaätzen oder reaktive lonenätzen.
One method of etching is by process of plasma etching or reactive ion etching.
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Bei dem bekannten Verfahren sind dazu zwei verschiedene Ätzverfahren notwendig.
Two different etching methods are necessary for this purpose in the case of the known method.
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Die Strukturierung der isolierenden Schicht 15 erfolgt zum Beispiel mit anisotropen Ätzverfahren.
The structuring of the insulating layer 15 is carried out, for example, using anisotropic etching methods.
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Es können auch andere Ätzverfahren wie isotropes Nassätzen oder Trockenätzen verwendet werden.
Other etching processes, such as isotropic wet etching or dry etching, can also be used.
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Darüber hinaus ist dieses naßchemische Ätzverfahren durch die erforderlichen zahlreichen Spülprozesse sehr aufwendig.
In addition, this wet-chemical etching process is very complicated, owing to the numerous rinsing processes required.
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Danach werden das Ätzverfahren und die weitere selektive Oberflächenbehandlung auf chemischem Wege durchgeführt.
Then the etching process and the further selective surface treatment can be carried out in a chemical manner.
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Die Strukturierung der Platinschicht 3 erfolgt durch ein sogenanntes plasmaunterstütztes anisotropes Ätzverfahren.
The platinum layer 3 is structured through the use of a so-called plasma-assisted anisotropic etching process.
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So können beispielsweise plasmachemische Ätzverfahren mit reinen Argonplasmen verwendet werden.
Thus, for example, plasma-chemical etching methods with pure argon plasmas can be used.
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Die Entfernung der ersten Isolierschicht 2 erfolgt mittels herkömmlichem Ätzverfahren.
The removal of the first insulating layer 2 is carried out by a conventional etching method.
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Mit einer alkalischen Ätzlösung ist ferner ein naßchemisches Ätzverfahren möglich.
With an alkali etch solution, a wet chemical etching method is also possible.
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Zum Einbringen des Hohlraums 4 kann beispielsweise ein anisotropes Ätzverfahren eingesetzt werden.
An anisotropic etching method may be used, for example, for incorporation of the cavity 4 .
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Daraufhin wird ein Graben 25 über ein Ätzverfahren eingebracht.
A trench 25 is then incorporated, using an etching method.
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Die Maße der Ausnehmungen sind bei diesem Ätzverfahren sehr genau herstellbar.
The dimensions of the recesses can be produced very accurately in this etching process.
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Somit können beim Fünf-Masken-Prozeß sämtliche Strukturierungen mit Hilfe von Ätzverfahren durchgeführt werden.
Thus in the five mask process joint structuring can be performed with the help of etching processes.
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