Translation of "Fotolack" in English
																						Als
																											Ätzmaske
																											ist
																											für
																											ein
																											solches
																											Verfahren
																											eine
																											Maske
																											aus
																											Fotolack
																											geeignet.
																		
			
				
																						A
																											mask
																											composed
																											of
																											photo
																											lacquer
																											is
																											suitable
																											as
																											an
																											etching
																											mask
																											in
																											the
																											practices
																											of
																											such
																											a
																											method.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Nach
																											dem
																											Beschichten
																											wird
																											der
																											Fotolack
																											getrocknet.
																		
			
				
																						After
																											coating,
																											the
																											photo-sensitive
																											lacquer
																											is
																											dried.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Anschließend
																											werden
																											die
																											Metallstrukturen
																											galvanoplastisch
																											aufgebracht
																											und
																											der
																											verbleibende
																											Fotolack
																											entfernt.
																		
			
				
																						Subsequently
																											the
																											metal
																											structures
																											are
																											galvano-plastically
																											applied
																											and
																											the
																											remaining
																											photoresist
																											is
																											removed.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Auf
																											diese
																											Weise
																											wird
																											das
																											Dielektrikum
																											10
																											durch
																											den
																											Fotolack
																											11
																											planarisiert.
																		
			
				
																						The
																											dielectric
																											10
																											is
																											planarized
																											by
																											the
																											photoresist
																											in
																											this
																											way.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Analog
																											Beispiel
																											1
																											wird
																											folgender
																											bekannter
																											Fotolack
																											hergestellt:
																		
			
				
																						The
																											following,
																											known
																											photoresist
																											is
																											prepared
																											analogously
																											to
																											Example
																											1:
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Als
																											Ätzmaske
																											kann
																											Fotolack
																											oder
																											eine
																											in
																											Lift-off-Technik
																											abgeschiedene
																											dritte
																											Metallstruktur
																											dienen.
																		
			
				
																						Photoresist
																											or
																											a
																											third
																											metal
																											structure
																											deposited
																											in
																											a
																											lift-off
																											technique
																											can
																											serve
																											as
																											etching
																											mask.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Nachdem
																											der
																											nicht-aktive
																											Bereich
																											geätzt
																											ist,
																											werden
																											die
																											Fotolack-
																											und
																											ARC-Schichten
																											entfernt.
																		
			
				
																						After
																											the
																											nonactive
																											region
																											has
																											been
																											etched,
																											the
																											photoresist
																											and
																											ARC
																											layers
																											are
																											removed.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											Fotolack
																											wird
																											anschließend
																											in
																											einem
																											Sauerstoff-Plasma
																											durch
																											Veraschen
																											entfernt.
																		
			
				
																						The
																											photoresist
																											is
																											subsequently
																											removed
																											by
																											ashing
																											in
																											an
																											oxygen
																											plasma.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dazu
																											ist
																											zum
																											Beispiel
																											ein
																											Fotolack
																											auf
																											Diazochinon/Novolak-Basis
																											geeignet.
																		
			
				
																						To
																											this
																											end,
																											for
																											example,
																											a
																											photoresist
																											based
																											on
																											diazoquinone/Novolak
																											is
																											suitable.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Danach
																											wurde
																											auf
																											der
																											Basisschicht
																											9
																											eine
																											Schicht
																											aus
																											Fotolack
																											10
																											aufgebracht.
																		
			
				
																						Then
																											a
																											photoresist
																											layer
																											10
																											was
																											provided
																											on
																											the
																											base
																											layer
																											9
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											Fotolack
																											wird
																											durch
																											Belichtung
																											entfernt.
																		
			
				
																						The
																											photoresist
																											is
																											removed
																											by
																											exposure.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											so
																											strukturierte
																											Fotolack-
																											bzw.
																											dielektrische
																											Schicht
																											dient
																											als
																											Maske
																											für
																											den
																											Implantationsschritt.
																		
			
				
																						The
																											photoresist
																											or
																											dielectric
																											layer
																											structured
																											in
																											this
																											way
																											serves
																											as
																											a
																											mask
																											for
																											the
																											implantation
																											step.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dadurch
																											kann
																											der
																											Fotolack
																											an
																											den
																											belichteten
																											Stellen
																											abgelöst
																											werden.
																		
			
				
																						As
																											a
																											result,
																											the
																											photoresist
																											can
																											be
																											removed
																											in
																											the
																											exposed
																											parts.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Als
																											Ätzmaske
																											für
																											ein
																											solches
																											Verfahren
																											ist
																											eine
																											Maske
																											aus
																											Fotolack
																											geeignet.
																		
			
				
																						A
																											mask
																											of
																											photoresist
																											is
																											suitable
																											as
																											etching
																											mask
																											for
																											such
																											a
																											procedure.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Auf
																											der
																											Substratoberfläche
																											wird
																											zunächst
																											eine
																											ganzflächige
																											Beschichtung
																											mit
																											derartigem
																											Fotolack
																											vorgenommen.
																		
			
				
																						A
																											surface-wide
																											coating
																											with
																											such
																											a
																											photoresist
																											is
																											first
																											undertaken
																											on
																											the
																											substrate
																											surface.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dazu
																											kann
																											ein
																											Streifen
																											Metallblech
																											allseitig
																											mit
																											einem
																											Fotolack
																											beschichtet
																											werden.
																		
			
				
																						To
																											achieve
																											this,
																											a
																											strip
																											of
																											sheet
																											metal
																											can
																											be
																											coated
																											with
																											photoresist
																											on
																											all
																											sides.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dieser
																											Fotolack
																											ist
																											vorzugsweise
																											SU8,
																											dessen
																											getrocknete
																											Schichten
																											hydrophob
																											sind.
																		
			
				
																						The
																											photoresist
																											SU-8
																											is
																											preferred,
																											because
																											its
																											cured
																											layers
																											are
																											hydrophobic.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Diese
																											wird
																											im
																											Schritt
																											106
																											durch
																											Aufschleudern
																											von
																											Fotolack
																											erneut
																											beschichtet.
																		
			
				
																						The
																											latter
																											is
																											coated
																											again
																											by
																											spin
																											coating
																											with
																											photoresist,
																											in
																											step
																											106
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Gemäß
																											Figur
																											5A
																											ist
																											auf
																											dem
																											Träger
																											3
																											strukturiert
																											ein
																											Fotolack
																											9
																											aufgebracht.
																		
			
				
																						In
																											accordance
																											with
																											FIG.
																											5A,
																											a
																											photoresist
																											9
																											is
																											applied
																											on
																											the
																											carrier
																											3
																											in
																											patterned
																											fashion.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											Fotolack
																											kann
																											aber
																											auch
																											mit
																											dem
																											Ätzresist
																											überlappen.
																		
			
				
																						The
																											photoresist
																											can
																											also,
																											however,
																											overlap
																											with
																											the
																											etch
																											resist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											einer
																											erfindungsgemäßen
																											Ausführungsform
																											wird
																											der
																											Pulverlack
																											zusätzlich
																											zum
																											Fotolack
																											verwendet.
																		
			
				
																						The
																											powder
																											coating
																											material
																											may
																											be
																											used
																											in
																											addition
																											to
																											the
																											photoresist.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											Fotolack
																											wird
																											in
																											einem
																											Ofen
																											oder
																											auf
																											einer
																											Heizplatte
																											ausgehärtet.
																		
			
				
																						The
																											photoresist
																											is
																											cured
																											in
																											a
																											furnace
																											or
																											on
																											a
																											heating
																											plate.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											Analogie
																											zum
																											Fotolack
																											erfolgt
																											die
																											chemische
																											Veränderung
																											durch
																											den
																											lokalen
																											Elektronenstrom.
																		
			
				
																						In
																											analogy,
																											with
																											the
																											photoresist,
																											the
																											chemical
																											modification
																											takes
																											place
																											by
																											local
																											electron
																											flow.
															 
				
		 EuroPat v2