Translation of "Abbildungsebene" in English
																						Diese
																											Abbildungsebene
																											wird
																											von
																											der
																											zweiten
																											Beugungslinse
																											41
																											in
																											die
																											Zwischenbildebene
																											49
																											abgebildet.
																		
			
				
																						This
																											imaging
																											plane
																											is
																											formed
																											by
																											second
																											diffraction
																											lens
																											41
																											in
																											intermediate
																											image
																											plane
																											49
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											der
																											Abbildungsebene
																											ist
																											eine
																											Photodiode
																											als
																											Detektor
																											platziert.
																		
			
				
																						In
																											the
																											imaging
																											plane,
																											a
																											photodiode
																											is
																											positioned
																											as
																											a
																											detector.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											der
																											Abbildungsebene
																											40
																											erscheint
																											deshalb
																											dessen
																											Abbild
																											34a.
																		
			
				
																						In
																											the
																											mapping
																											plane
																											40,
																											the
																											image
																											thereof
																											34
																											a
																											therefore
																											appears.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Abbildungsebene
																											40
																											spannt
																											ein
																											Bildkoordinatensystem
																											42
																											auf.
																		
			
				
																						The
																											mapping
																											plane
																											40
																											spans
																											across
																											an
																											image
																											coordinate
																											system
																											42
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dadurch
																											kann
																											eine
																											gleichmäßig
																											hohe
																											Abbildungsqualität
																											über
																											die
																											gesamte
																											ebene
																											Abbildungsebene
																											erzeugt
																											werden.
																		
			
				
																						A
																											uniformly
																											high
																											image
																											quality
																											can
																											accordingly
																											be
																											generated
																											over
																											the
																											entire
																											plane
																											imaging
																											plane.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Ende
																											des
																											jeweiligen
																											Lichtleiters
																											ist
																											in
																											der
																											Brennebene
																											bzw.
																											Abbildungsebene
																											jeder
																											Einzeloptik
																											2
																											angeordnet.
																		
			
				
																						One
																											end
																											of
																											each
																											particular
																											wave
																											guide
																											is
																											in
																											the
																											focal
																											plane
																											of
																											each
																											discrete
																											optics
																											2.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dies
																											führt
																											beispielsweise
																											zur
																											Erzeugung
																											eindeutiger
																											Fluoreszenzen
																											an
																											den
																											aufeinanderfolgend
																											in
																											der
																											Abbildungsebene
																											21
																											abgetasteten
																											Zellen.
																		
			
				
																						This
																											leads,
																											for
																											example,
																											to
																											the
																											production
																											of
																											well
																											defined
																											fluorescences
																											of
																											the
																											cells
																											successively
																											scanned
																											in
																											the
																											image
																											plane
																											21.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											der
																											Abbildungsebene
																											21
																											entsteht
																											dann
																											eine
																											kreisförmige
																											Ablenklinie
																											84
																											des
																											Brennfleckes
																											bzw.
																											der
																											Brennflecken.
																		
			
				
																						Then
																											in
																											the
																											image
																											plane
																											21
																											a
																											circular
																											deflection
																											line
																											84
																											of
																											the
																											focal
																											spot
																											or
																											spots
																											occurs.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Besonders
																											vorteilhaft
																											ist
																											es,
																											wenn
																											die
																											Blendlichtquelle
																											in
																											einer
																											Abbildungsebene
																											des
																											Monitors
																											angeordnet
																											ist.
																		
			
				
																						It
																											is
																											particularly
																											advantageous
																											if
																											the
																											glare
																											source
																											is
																											arranged
																											in
																											an
																											imaging
																											plane
																											of
																											the
																											monitor.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						So
																											ist
																											es
																											möglich,
																											einen
																											anderen
																											Winkel
																											zwischen
																											der
																											Laserachse
																											und
																											der
																											Abbildungsebene
																											vorzugeben.
																		
			
				
																						Thus,
																											it
																											is
																											possible
																											to
																											adjust
																											a
																											different
																											angle
																											between
																											the
																											laser
																											axis
																											and
																											the
																											image
																											plane.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Visualisierungspixel
																											können
																											hierbei
																											virtuell
																											auf
																											einer
																											Abbildungsebene
																											oder
																											auf
																											einer
																											gekrümmten
																											Abbildungsfläche
																											angeordnet
																											sein.
																		
			
				
																						Here,
																											visualization
																											pixels
																											may
																											be
																											arranged
																											virtually
																											on
																											an
																											imaging
																											plane
																											or
																											on
																											a
																											curved
																											imaging
																											surface.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						3A
																											eine
																											Öffnung
																											11
																											zum
																											Durchlaß
																											der
																											Abbildungsstrahlen
																											eines
																											optischen
																											Projektionssystems,
																											wie
																											es
																											bei
																											der
																											Herstellung
																											von
																											Halbleiterwafern
																											Verwendung
																											findet,
																											und
																											seine
																											untere
																											Fläche
																											ist
																											als
																											Abbildungsebene
																											12
																											in
																											bezug
																											auf
																											das
																											optische
																											System
																											definiert,
																											zu
																											welcher
																											die
																											Oberfläche
																											des
																											Werkstücks
																											7
																											planparallel
																											auszurichten
																											ist.
																		
			
				
																						The
																											bottom
																											surface
																											of
																											support
																											plate
																											4
																											is
																											normally
																											planar
																											which
																											can
																											conveniently
																											be
																											positioned
																											to
																											define
																											a
																											reference
																											plane
																											such
																											as
																											the
																											image
																											or
																											focal
																											plane
																											12
																											of
																											the
																											optical
																											system
																											in
																											which
																											the
																											top
																											surface
																											of
																											a
																											wafer
																											7
																											is
																											to
																											be
																											placed.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											von
																											dem
																											Gegenstand
																											5
																											ausgehenden
																											und
																											die
																											Teilpupillen
																											68
																											und
																											69
																											durchdringenden
																											Lichtstrahlbündel
																											sind
																											mit
																											71
																											und
																											72
																											bezeichnet
																											Mittels
																											eines
																											Spiegels
																											73
																											werden
																											diese
																											Bündel
																											auf
																											eine
																											gegenüber
																											einer
																											Abbildungsebene
																											einen
																											Parallelversatz
																											aufweisende
																											Hilfsebene
																											76
																											projiziert,
																											in
																											der
																											zwei
																											lineare
																											CTD-Bildsensoren
																											77
																											und
																											78
																											angeordnet
																											sind.
																		
			
				
																						The
																											groups
																											of
																											light
																											beams
																											which
																											emanate
																											from
																											the
																											object
																											5
																											and
																											traverse
																											the
																											subsidiary
																											pupillar
																											openings
																											68
																											and
																											69
																											are
																											designated
																											by
																											reference
																											numerals
																											71
																											and
																											72.
																											Components
																											74
																											and
																											75
																											of
																											such
																											groups
																											of
																											light
																											beams
																											are
																											partially
																											reflected
																											by
																											means
																											of
																											a
																											partially
																											silvered
																											mirror
																											73
																											and
																											projected
																											onto
																											an
																											auxiliary
																											plane
																											76
																											which
																											is
																											displaced
																											relative
																											to
																											an
																											image
																											plane,
																											and
																											in
																											which
																											two
																											linear
																											CTD
																											image
																											sensors
																											77
																											and
																											78
																											are
																											arranged.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Unter
																											Abbildungsebene
																											wird
																											eine
																											Bitdebene
																											verstanden,
																											auf
																											die
																											der
																											Gegenstand
																											5
																											mit
																											maximaler
																											Bildschärfe
																											abgebildet
																											wird.
																		
			
				
																						The
																											term
																											image
																											plane
																											is
																											to
																											be
																											understood
																											as
																											a
																											plane
																											under
																											which
																											the
																											object
																											5
																											is
																											focused
																											with
																											maximum
																											definition.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Beim
																											STEM-Betrieb
																											wird
																											die
																											Elektronenquelle
																											durch
																											die
																											letzte
																											Kondensorlinse
																											in
																											die
																											Abbildungsebene
																											der
																											KOE-Vorfeldlinse
																											abgebildet,
																											welche
																											die
																											Elektronenquelle
																											verkleinert
																											in
																											das
																											Objekt
																											abbildet.
																		
			
				
																						For
																											STEM-operation,
																											the
																											electron
																											source
																											is
																											imaged
																											by
																											the
																											last
																											condenser
																											lens
																											into
																											the
																											imaging
																											plane
																											of
																											the
																											SFCO
																											prefield
																											lens
																											which
																											images
																											the
																											electron
																											source
																											demagnified
																											into
																											the
																											object.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Auf
																											der
																											anderen
																											Seite
																											des
																											Fernrohres
																											sitzt
																											die
																											Hilfsoptik
																											16,
																											die
																											ein
																											unendlich
																											fernes
																											Bild
																											in
																											der
																											Abbildungsebene
																											16a
																											abbildet.
																		
			
				
																						On
																											the
																											other
																											side
																											of
																											the
																											telescope
																											there
																											is
																											the
																											auxiliary
																											optical
																											system
																											16
																											which
																											projects
																											an
																											infinitely
																											remote
																											image
																											in
																											the
																											imaging
																											plane
																											16a.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Weiterhin
																											werden
																											die
																											beiden
																											Abbildungen
																											über
																											ein
																											in
																											einer
																											Abbildungsebene
																											des
																											Gegenstandes
																											angeordnetes
																											und
																											innerhalb
																											derselben
																											bewegbares
																											Gitter
																											abgeleitet,
																											was
																											den
																											mechanischen
																											Aufwand
																											erhöht.
																		
			
				
																						Moreover,
																											the
																											two
																											images
																											are
																											derived
																											over
																											a
																											grid
																											which
																											is
																											arranged
																											in
																											an
																											image
																											plane
																											of
																											the
																											object
																											and
																											is
																											mobile
																											within
																											the
																											latter,
																											which
																											increases
																											the
																											mechanical
																											outlay.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Unter
																											Abbildungsebene
																											wird
																											eine
																											Bildebene
																											verstanden,
																											auf
																											die
																											der
																											Gegenstand
																											5
																											mit
																											maximaler
																											Bildschärfe
																											abgebildet
																											wird.
																		
			
				
																						The
																											term
																											image
																											plane
																											is
																											to
																											be
																											understood
																											as
																											a
																											plane
																											under
																											which
																											the
																											object
																											5
																											is
																											focused
																											with
																											maximum
																											definition.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Zum
																											Betreiben
																											des
																											beschriebenen
																											Systems
																											wird
																											zunächst
																											die
																											Grundplatte
																											4
																											in
																											bezug
																											auf
																											die
																											vorgegebene
																											Abbildungsebene
																											12
																											ausgerichtet,
																											nämlich
																											durch
																											Justage
																											des
																											Fokussierringes
																											113
																											mittels
																											des
																											Hebelarms
																											116A,
																											während
																											die
																											Abtastköpfe
																											5
																											in
																											ihre
																											Wirkstellung
																											eingeschwenkt
																											sind.
																		
			
				
																						In
																											operation,
																											the
																											alignment
																											of
																											the
																											XY?
																											plate
																											surface
																											119
																											is
																											preset
																											in
																											the
																											reference
																											plane
																											12
																											(e.g.
																											image
																											or
																											focal
																											plane)
																											by
																											means
																											of
																											the
																											focus
																											ring
																											adjustment
																											by
																											adjustment
																											of
																											lever
																											arm
																											116
																											utilizing
																											an
																											optical
																											flat
																											with
																											the
																											air
																											probes
																											5
																											in
																											position.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											auf
																											das
																											Ziel
																											gerichtete
																											Visierlinie
																											und
																											damit
																											auch
																											der
																											auf
																											die
																											Visierlinie
																											ausgerichtete
																											Laserstrahl,
																											beschreiben
																											in
																											der
																											Abbildungsebene
																											(=
																											Detektorebene)
																											eine
																											Linie
																											quer
																											zur
																											Detektorzeile.
																		
			
				
																						The
																											line
																											of
																											sight
																											directed
																											to
																											the
																											target
																											and,
																											threfore,
																											the
																											laser
																											beam
																											aligned
																											to
																											the
																											line
																											of
																											sight
																											describe
																											a
																											line
																											in
																											the
																											imaging
																											plane
																											(detector
																											plane)
																											at
																											right
																											angles
																											to
																											the
																											detector
																											row.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dabei
																											kommt
																											es
																											der
																											vorliegenden
																											Erfindung
																											zugute,
																											daß
																											sie
																											eine
																											Zeilenkamera
																											verwendet,
																											die
																											jeweils
																											nur
																											einen
																											sehr
																											schmalen
																											Streifen
																											aus
																											der
																											Oberfläche
																											eines
																											Gegenstandes
																											erfaßt,
																											wobei
																											das
																											Gesamtbild
																											der
																											Oberfläche
																											des
																											Gegenstandes
																											aus
																											einer
																											Vielzahl
																											aufeinanderfolgender,
																											paralleler
																											Streifen
																											zusammengesetzt
																											wird,
																											die
																											sich
																											aus
																											zeitlich
																											nacheinander
																											aufgenommenen
																											Bildzeilen
																											ergeben,
																											wenn
																											der
																											Gegenstand
																											durch
																											die
																											Abbildungsebene
																											hindurchbewegt
																											wird,
																											während
																											die
																											Kamera
																											mit
																											einer
																											vorgegebenen
																											Frequenz
																											nacheinander
																											die
																											einzelnen
																											Zeilen
																											aufnimmt
																											und
																											die
																											Bilddaten
																											entsprechend
																											zwischenspeichert.
																		
			
				
																						In
																											this
																											respect
																											it
																											is
																											of
																											advantage
																											to
																											use
																											a
																											line
																											camera
																											which
																											captures
																											only
																											a
																											very
																											narrow
																											strip
																											of
																											the
																											surface
																											of
																											an
																											article,
																											wherein
																											the
																											overall
																											image
																											of
																											the
																											surface
																											of
																											an
																											article
																											is
																											made
																											up
																											of
																											a
																											plurality
																											of
																											successive
																											parallel
																											strips
																											formed
																											from
																											successively
																											recorded
																											picture
																											lines
																											as
																											the
																											article
																											is
																											moved
																											through
																											the
																											image
																											plane,
																											while
																											the
																											camera
																											successively
																											records
																											the
																											individual
																											lines
																											at
																											a
																											pre-set
																											frequency
																											and
																											buffer
																											stores
																											the
																											image
																											data.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Insbesondere
																											werden
																											örtliche
																											Inhomogenitäten
																											der
																											Flüssigkristallmatrix
																											und
																											Inhomogenitäten
																											bei
																											der
																											Ausleuchtung
																											in
																											der
																											Abbildungsebene
																											bzw.
																											Kopierebene
																											sowie
																											insbesondere
																											die
																											spezifische
																											Spannungs-Transmissionskurve
																											des
																											Flüssigkristalls
																											berücksichtigt.
																		
			
				
																						Especially,
																											local
																											inhomogeneities
																											of
																											the
																											liquid
																											crystal
																											matrix
																											and
																											inhomogeneities
																											upon
																											illumination
																											in
																											the
																											exposure
																											plane
																											or
																											copying
																											plane
																											as
																											well
																											as
																											especially
																											the
																											specific
																											voltage
																											transmission
																											curve
																											of
																											the
																											liquid
																											crystal
																											are
																											considered.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Meßpunkte,
																											die
																											in
																											derselben
																											Abbildungsebene
																											des
																											Auflichtmeßsensors
																											liegen,
																											können
																											dann
																											ohne
																											weitere
																											Verfahrbewegungen
																											durch
																											den
																											Auflichtmeßsensor
																											vermessen
																											werden.
																		
			
				
																						Measuring
																											points
																											which
																											are
																											situated
																											in
																											the
																											same
																											imaging
																											plane
																											as
																											the
																											incident
																											light
																											measuring
																											sensor
																											can
																											be
																											measured
																											by
																											the
																											incident
																											light
																											measuring
																											sensor
																											without
																											any
																											further
																											displacing
																											movements.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Liegen
																											die
																											Meßpunkte
																											nicht
																											in
																											einer
																											Ebene
																											parallel
																											zur
																											Abbildungsebene,
																											so
																											können
																											die
																											über
																											den
																											Abbildungsmaßstab
																											oder
																											über
																											die
																											Verfahrwege
																											ermittelten
																											vorläufigen
																											Koordinaten
																											durch
																											Veränderung
																											der
																											Drehlage
																											des
																											Körpers
																											100
																											und
																											Wiederholungen
																											der
																											Messungen
																											mit
																											dem
																											Durchlichtmeßsensor
																											14
																											und
																											dem
																											Auflichtmeßsensor
																											16
																											aus
																											den
																											beiden
																											unterschiedlichen
																											Betrachtungsrichtungen
																											sowie
																											unter
																											Berücksichtigung
																											des
																											gemessenen
																											Drehwinkels
																											korrigiert
																											werden.
																		
			
				
																						If
																											the
																											measuring
																											points
																											are
																											not
																											situated
																											in
																											a
																											plane
																											parallel
																											to
																											the
																											imaging
																											plane,
																											then
																											the
																											preliminary
																											coordinates
																											which
																											are
																											determined
																											through
																											the
																											imaging
																											scale
																											or
																											via
																											the
																											paths
																											of
																											displacement
																											can
																											be
																											corrected
																											by
																											changing
																											the
																											rotational
																											position
																											of
																											the
																											object
																											100
																											and
																											repeating
																											the
																											measurements
																											with
																											the
																											transmitted
																											light
																											measuring
																											sensor
																											14
																											and
																											the
																											incident
																											light
																											measuring
																											sensor
																											16
																											from
																											the
																											two
																											different
																											directions
																											of
																											observation
																											and
																											by
																											taking
																											into
																											account
																											the
																											measured
																											angle
																											of
																											rotation.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Man
																											erkennt
																											daran,
																											daß
																											die
																											Abbildungsebene,
																											welche
																											definiert
																											wird
																											durch
																											die
																											Zeilenrichtung
																											und
																											die
																											optische
																											Achse
																											der
																											Kamera,
																											die
																											Transportebene
																											exakt
																											senkrecht
																											zur
																											Vorschubrichtung
																											schneiden,
																											als
																											auch
																											um
																											die
																											optische
																											Achse
																											bzw.
																											eine
																											Senkrechte
																											zur
																											Transportebene
																											um
																											einen
																											Winkel
																											verdreht
																											sein
																											kann.
																		
			
				
																						It
																											can
																											be
																											seen
																											that
																											the
																											image
																											plane,
																											defined
																											by
																											the
																											line
																											direction
																											and
																											the
																											optical
																											axis
																											of
																											the
																											camera,
																											cuts
																											the
																											conveyor
																											plane
																											exactly
																											perpendicular
																											to
																											the
																											conveying
																											direction,
																											and
																											can
																											be
																											turned
																											through
																											an
																											angle
																											about
																											the
																											optical
																											axis
																											or
																											a
																											perpendicular
																											to
																											the
																											conveyor
																											plane.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dabei
																											fällt
																											die
																											Schnittebene
																											(=Papierebene)
																											der
																											Figur
																											3
																											mit
																											der
																											Abbildungsebene
																											10
																											der
																											Videokamera
																											1
																											zusammen.
																		
			
				
																						The
																											sectional
																											plane
																											(plane
																											of
																											the
																											paper)
																											of
																											FIG.
																											3
																											coincides
																											with
																											the
																											image
																											plane
																											10
																											of
																											video
																											camera
																											1.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Bei
																											einer
																											gegebenen
																											Position
																											der
																											Sensorzeile
																											6
																											ist
																											die
																											Schärfentiefe
																											ausreichend
																											groß,
																											um
																											Informationen
																											auch
																											von
																											Oberflächen
																											erfassen
																											zu
																											können,
																											deren
																											Abstand
																											zur
																											Kamera
																											während
																											des
																											Durchlaufs
																											durch
																											die
																											Abbildungsebene
																											um
																											einige
																											cm
																											variiert.
																		
			
				
																						For
																											a
																											given
																											position
																											of
																											line
																											sensor
																											6,
																											the
																											depth
																											of
																											field
																											is
																											sufficiently
																											large
																											to
																											be
																											able
																											to
																											capture
																											information
																											from
																											surfaces
																											which
																											vary
																											in
																											their
																											distance
																											from
																											the
																											camera
																											by
																											a
																											few
																											centimeters
																											during
																											passage
																											through
																											the
																											image
																											plane.
															 
				
		 EuroPat v2