Translation of "Abrastern" in English

Beim Abrastern der Probe werden so gleichzeitig mehrere Ebenen der Probe erfaßt.
By scanning the sample, several planes of the sample are scanned at the same time.
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Dies beschleunigt das Abtasten (oder Abrastern) der Auflagefläche.
This accelerates the scanning (or raster scanning) of the support surface.
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Möglich ist auch das Abrastern des Volumens eines Zylinders oder eines Würfels.
It is also possible to raster the volume of a cylinder or a cube.
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Das Abrastern erfolgt schneller, als es der zeitlichen Auflösung der Detektion entspricht.
The scanning takes place at a faster speed than the time resolution of the detection process.
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Dies erspart gegenüber einer punktförmigen Heizquelle ein Abrastern in zwei Richtungen.
Compared to a point heat source, this eliminates the need for scanning in two directions.
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Dabei kann beispielshalber ein Abrastern der Schnittfläche 9 erfolgen.
In doing so, for example, raster-scanning of the cut 9 may be effected.
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Mit Hilfe des Reflektors kann der Lichtstrahl das Testelement lückenlos abrastern.
The light beam can scan the test element without gaps with the aid of the reflector.
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Das Abrastern der Probe PR mit Hilfe des ionenstrahls wird dabei von einem Rastergenerator SG gesteuert.
The scanning of the specimen PR with the assistance of the ion beam is thereby controlled by a scanning generator SG.
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Vorzugsweise erfolgt das Abrastern automatisch, was für eine bessere Auswertbarkeit der Signale vorteilhaft ist.
Preferably scanning takes place automatically, which is advantageous for a better evaluation of the signals.
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Dabei ist das Abrastern deutlich schneller als es der zeitlichen Auflösung der Detektion entspricht.
The scanning takes place at a faster speed than the time resolution of the detection process.
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In gleicher Weise kann beim abrastern des Objekts die Integrationszeit pro Pixel entsprechend gewählt werden.
In the same fashion, the integration time per pixel during scanning of the specimen can be selected accordingly.
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Bei Ausnutzung des ISM-Prinzips sind die Beleuchtungszustände die unterschiedlichen Scan-Stellungen, die beim Abrastern auftreten.
When the ISM principle is utilized, the illumination states are the different scan positions that occur during scanning.
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Die Lichtquelle kann punktförmig leuchten und die zu untersuchende Fläche abrastern oder sie kann großflächig leuchten.
The light source can illuminate the area in points and scan the surface that is to be examined or it can illuminate a large surface.
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Aus der DE 35 44 396 A1 ist ein Verfahren zur Herstellung von Öffnungen mit schrägen Schnittkanten in Blechformkörpern bekannt, bei dem das Werkstück in einem vorgegebenen spitzen Winkel zur Längsachse eines Laserarbeitsstrahls positioniert und die durchgehende Öffnung durch ein- oder mehrmaliges zeilenförmiges Abrastern in das Blech eingeschnitten wird.
De 35 44 396 A1 describes a process for the manufacture of openings with slanted cutting edges in sheetmetal whereby the workpiece is positioned in a predetermined sharp angle to the longitudinal axis of a laser beam and whereby the continuous opening is cut in the sheetmetal through single or multiple rectilinear scanning.
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Von Bedeutung für ein erfindungsgemäßes Verfahren und für eine erfindungsgemäße Vorrichtung ist, daß der Elektronenstrahl und der Ionenstrahl gleichzeitig und stets mit annähernd gleichen Auftreffpunkten den Sputterkrater SK abrastern.
What is of significance for the method and apparatus of the invention is that the electron beam and the ion beam simultaneously scan the sputter crater SK and always with approximately identical points of incidence.
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Die Modifikation der Ablenksignale des Raster-Generators SG im Zusatzgerät A und die Übermittlung dieser im Zusatzgerät A modifizierten Ablenksignale an das Ablenkplattensystem DEG bewirken, daß der Auftreffpunkt des Elektronenstrahls EB auf der Probe PR zu jedem Zeitpunkt mit dem Auftreffpunkt des Ionenstrahls IB auf der Probe PR annähernd zusammenfällt und daß die Auftreffpunkte des Elektronenstrahls EB und des Ionenstrahls IB innerhalb des Sputterkraters SK gemeinsam und gleichzeitig zeilenweise diesen Sputterkrater SK abrastern.
The modification of the deflection signals of the scan generator SG in the auxiliary device A and the communication of these deflection signals modified in the auxiliary device A to the deflection plate system DEG effect that the point of incidence of the electron beam EB on the specimen PR approximately coincides with the point of incidence of the ion beam IB on the specimen at any point in time and that the points of incidence of the electron beam EB and of the ion beam IB within the sputter crater SK scan the sputter crater SK line-by-line in common and simultaneously.
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Elektronenmikroskop nach Anspruch 8 oder 9, wobei ein Ablenksystem (35, 36) zum Abrastern einer Probe (37) mit dem Elektronenstrahl vorgesehen ist und wobei beim Positronenbetrieb das Ablenksystem (35, 36) stets auf dieselbe fest voreingestellte Position eingestellt ist.
The combination according to claim 5, further comprising a deflecting system (35, 36) for scanning a sample (37) with said electron beam, wherein during positron operation, said deflecting system (35, 36) is always set to the same fixed predetermined position.
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Weiterhin besteht ohne Abstandsregelung die Gefahr, daß beim Abrastern die Glasfaserspitze bzw. die Probenoberfläche beschädigt wird.
Furthermore, there is the risk without distance control that during scanning the glass fiber tip or the sample surface will become damaged.
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Das Abrastern kann erfolgen, indem ein räumlich veränderliches, in den Boden des Suchbereiches eindringendes elektromagnetisches Wechselfeld erzeugt wird und indem die von dem elektrisch leitfähigen und/oder magnetisierbaren Boden bewirkte Veränderung des Wechselfeldes nachgewiesen und in ein mit der räumlichen Veränderung des Wechselfeldes korreliertes, ortsauflösendes Bodensignal umgewandelt wird.
Scanning takes place in that a spatially variable electromagnetic alternating field penetrating the ground of the search area is produced and in that the alternating field change brought about by the electrically conductive and/or magnetizable soil is detected and transformed into a position discriminating soil correlated with the spatial alternating field change.
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Bei einem Rasterelektronenmikroskop mit einem Ablenksystem zum Abrastern der Probe wird jedoch vorzugsweise beim Positronenbetrieb die Abtasteinheit stets auf dieselbe, fest voreingestellte Position eingestellt und das interessierende Objektdetail über eine Justiereinheit des Probenhalters in diese fest voreingestellte Position gebracht.
In a scanning electron microscope with a deflecting system for scanning the sample, however, during positron operation the scanning unit is always set to the same fixed predetermined position, and the object detail of interest is brought into this fixed, predetermined position by means of an adjusting unit of the sample holder.
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Zum Abrastern der Probe ist dann im Bereich des Objektivs eine Ablenkeinrichtung, mit der der Teilchenstrahlfokus in zwei zueinander senkrechten Richtungen ablenkbar ist, vorgesehen.
To scan the specimen, a deflecting device is then provided in the region of the objective, and with it the particle beam focus can be deflected in two mutually orthogonal directions.
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Detektionslicht, das nicht direkt aus der Fokusregion stammt, nimmt einen anderen Lichtweg und passiert die Detektionsblende nicht, so daß man eine Punktinformation erhält, die durch Abrastern des Objekts zu einem dreidimensionalen Bild führt.
Detection light which does not originate directly from the focusing region takes a different light path and does not pass the detection stop, and so point information is obtained which leads through scanning of the object to a three-dimensional image.
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Detektionslicht, das nicht direkt aus der Fokusregion stammt, nimmt einen anderen Lichtweg und passiert die Detektionsblende nicht, so dass man eine Punkt-information erhält, die durch Abrastern des Objekts zu einem dreidimensionalen Bild führt.
Detected light that does not derive directly from the focus region takes a different path and does not pass through the detection pinhole; what is obtained is therefore a point datum that, as a result of scanning of the specimen, yields a three-dimensional image.
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Auf der Höhe des Polschuhspaltes der Objektivlinse (9) sind weiterhin die Spulen eines Ablenksystems (10) angeordnet, durch die der von der Objektivlinse (9) erzeugte Elektronenfokus senkrecht zur optischen Achse (OA) zum Abrastern der Probe auslenkbar ist.
The coils of a deflection system 10 are mounted at the elevation of the poleshoe gap of the objective lens 9 . With the coils, the electron focus, which is generated by the objective lens 9, can be deflected perpendicularly to the optical axis OA for scanning the specimen.
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Sind die Durchmesser der Durchgangslöcher (11) in der Maske (8) nur unwesentlich größer als der Durchmesser des fokussierten Elektronenstrahls, oder ist eine geeignete Anordnung der Löcher beispielsweise analog zu einem Strichcode als Lochcode vorgesehen, so kann das durch die Löcher hindurchtretende Signal, beispielsweise durch abrastern der Lochkanten, auch zur Justierung der Maske relativ zur optischen Achse des Elektronenstrahls verwendet werden.
If the diameter of the through holes (11) in the mask (8) is only insignificantly greater than the diameter of the focused electron beam, or if a suitable arrangement of the holes is provided as a hole code, for example analogous to a bar code, the signal passing through the holes can also be used for adjustment of the mask relative to the optical axis of the electron beam, for example by scanning over the hole edges.
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Detektionslicht, das nicht direkt aus der Fokusregion stammt, nimmt einen anderen Lichtweg und passiert die Detektionsblende nicht, so dass man eine Punktinformation erhält, die durch Abrastern des Objekts zu einem dreidimensionalen Bild führt.
Detected light that does not derive directly from the focus region takes a different light path and does not pass through the detection stop, so that a point datum is obtained and yields, by scanning of the specimen, a three-dimensional image.
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Die Vorderseite 9 des Wafers wird mit einer Lichtquelle 11 beleuchtet, wobei der Lichtfleck auf etwa 1 mm² fokussiert wird und die Scheibenoberfläche abrastern kann.
The front surface 9 of the wafer 1 is illuminated with a light source 11, whereby the light spot is focused to amount to 1 mm2 and can scan the wafer surface.
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