Translation of "Abätzen" in English
																						Vorzugsweise
																											erfolgt
																											die
																											Entfernung
																											des
																											Mantels
																											durch
																											Abätzen
																											vor
																											dem
																											Zusammenfügen
																											der
																											Faserbündelenden.
																		
			
				
																						The
																											cladding
																											is
																											preferably
																											removed
																											by
																											etching
																											prior
																											to
																											combining
																											the
																											fiber
																											bundle
																											ends.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dies
																											kann
																											z.B.
																											durch
																											Abätzen
																											mit
																											wäßriger
																											Peroxödischwsfelsäure
																											qeschehen.
																		
			
				
																						This
																											may
																											be
																											done,
																											for
																											example,
																											by
																											etching
																											with
																											aqueous
																											peroxodisulfuric
																											acid.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Nach
																											dem
																											Abätzen
																											der
																											dünnen
																											Oxidschicht
																											kommt
																											die
																											endgültige
																											Oberfläche
																											zum
																											Vorschein.
																		
			
				
																						After
																											the
																											thin
																											oxide
																											film
																											has
																											been
																											etched
																											off,
																											the
																											final
																											surface
																											of
																											the
																											printed
																											circuit
																											is
																											exposed.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dies
																											kann
																											beispielsweise
																											durch
																											Abätzen,
																											Plasmaveraschen
																											oder
																											anderweitiges
																											Auflösen
																											der
																											Klebstoffschicht
																											erfolgen.
																		
			
				
																						This
																											can
																											ensues,
																											for
																											example,
																											by
																											etching,
																											plasma
																											incineration
																											or
																											some
																											other
																											dissolution
																											of
																											the
																											adhesive
																											layer.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Zum
																											ganzflächigen
																											Abätzen
																											von
																											Schichten
																											kann
																											beispielsweise
																											ein
																											chemisches
																											Plasmaätzverfahren
																											verwendet
																											werden.
																		
			
				
																						For
																											etching
																											away
																											entire
																											surfaces
																											of
																											layers,
																											a
																											chemical
																											plasma
																											etching
																											process
																											may
																											be
																											used
																											for
																											example.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dabei
																											erfolgt
																											ein
																											Abätzen
																											der
																											Oberflächenschicht
																											auf
																											dem
																											Glas.
																		
			
				
																						In
																											the
																											process,
																											the
																											surface
																											layer
																											on
																											the
																											glass
																											is
																											etched
																											away.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Es
																											ist
																											die
																											Situation
																											vor
																											dem
																											Abätzen
																											des
																											Siliziums
																											gezeigt.
																		
			
				
																						What
																											is
																											shown
																											is
																											the
																											situation
																											present
																											before
																											the
																											silicon
																											is
																											etched
																											off.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dieses
																											lokale
																											Abätzen
																											kann
																											beispielsweise
																											durch
																											lokales
																											Ionenstrahlätzen
																											erfolgen.
																		
			
				
																						This
																											local
																											etching-away
																											may
																											be
																											effected
																											for
																											example
																											by
																											local
																											ion
																											beam
																											etching.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Falls
																											erforderlich,
																											wird
																											an
																											der
																											Oberfläche
																											der
																											Platte
																											etwa
																											noch
																											anhaftendes
																											Metall
																											durch
																											Abätzen
																											entfernt.
																		
			
				
																						If
																											necessary,
																											any
																											metal
																											still
																											adhering
																											to
																											the
																											surface
																											of
																											the
																											plate
																											is
																											removed
																											by
																											etching
																											it
																											away.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Nach
																											Entfernen
																											der
																											Metallschicht,
																											z.B.
																											durch
																											Abätzen,
																											kann
																											die
																											Schälfestigkeit
																											bestimmt
																											werden.
																		
			
				
																						After
																											removal
																											of
																											the
																											metal
																											layer,
																											for
																											example
																											by
																											etching,
																											the
																											peel
																											strength
																											may
																											be
																											determined.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Verfahren
																											zum
																											Abtragen
																											des
																											Materials
																											von
																											den
																											Fasermänteln
																											durch
																											Abätzen
																											gehören
																											zum
																											Stand
																											der
																											Technik.
																		
			
				
																						The
																											processes
																											of
																											removing
																											the
																											material
																											from
																											the
																											fiber
																											claddings
																											by
																											etching
																											pertain
																											to
																											the
																											state
																											of
																											the
																											art.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Anschließend
																											wird
																											überschüssiges
																											Kontaktmaterial
																											entfernt,
																											beispielsweise
																											durch
																											Abätzen
																											über
																											eine
																											beispielsweise
																											aus
																											Siliziumnitrid
																											bestehende
																											Atzmaske.
																		
			
				
																						Excess
																											contact
																											material
																											is
																											subsequently
																											removed,
																											for
																											example
																											by
																											being
																											etched
																											off
																											via
																											an
																											etching
																											mask
																											composed,
																											for
																											example,
																											of
																											silicon
																											nitride.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Erfindungsgemäß
																											kann
																											das
																											Medium
																											während
																											dem
																											Erzeugen
																											des
																											strukturierten
																											Niederschlags
																											oder
																											dem
																											strukturierenden
																											Abätzen
																											gewechselt
																											werden.
																		
			
				
																						According
																											to
																											the
																											present
																											invention,
																											the
																											medium
																											may
																											be
																											changed
																											during
																											the
																											production
																											of
																											the
																											structured
																											precipitate
																											or
																											during
																											the
																											structuring
																											etching.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Abätzen
																											des
																											unedlen
																											Metalls
																											greift
																											die
																											verbleibende
																											Schicht
																											aus
																											edlem
																											Metall
																											nicht
																											an.
																		
			
				
																						The
																											etching
																											away
																											of
																											the
																											base
																											metal
																											does
																											not
																											attack
																											the
																											remaining
																											layer
																											of
																											precious
																											metal.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Aus
																											dem
																											so
																											hergestellten
																											Verbund
																											wird
																											eine
																											flexible
																											Verdrahtung
																											durch
																											partielles
																											Abätzen
																											der
																											Kupferschicht
																											hergestellt.
																		
			
				
																						A
																											flexible
																											circuit
																											is
																											produced
																											from
																											the
																											resulting
																											laminate
																											by
																											partial
																											etching
																											away
																											of
																											the
																											copper
																											layer.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Nach
																											Abätzen
																											der
																											Aluminiumschicht
																											liegt
																											der
																											Wafer
																											wieder
																											in
																											einem
																											Zustand
																											vor,
																											wie
																											in
																											Fig.
																		
			
				
																						When
																											the
																											aluminum
																											layer
																											has
																											been
																											etched
																											off,
																											the
																											wafer
																											is
																											once
																											again
																											in
																											a
																											state
																											as
																											shown
																											in
																											FIG.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Anschließend
																											wird
																											das
																											verbliebene
																											Vor-Innenelement
																											27
																											hier
																											wiederum
																											vollständig
																											chemisch
																											abgetragen,
																											etwa
																											durch
																											Abätzen.
																		
			
				
																						The
																											remaining
																											pre-inner
																											element
																											27
																											is
																											subsequently
																											completely
																											chemically
																											removed
																											again,
																											e.g.
																											by
																											etching.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Schichtdicke
																											der
																											dritten
																											elektrisch
																											leitfähigen
																											Schicht
																											22
																											kann
																											gegebenenfalls
																											durch
																											lokales
																											Abätzen
																											korrigiert
																											werden.
																		
			
				
																						The
																											layer
																											thickness
																											of
																											the
																											third
																											electrically
																											conductive
																											layer
																											22
																											may,
																											if
																											appropriate,
																											be
																											corrected
																											by
																											local
																											etching-away.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Strukturierung
																											des
																											ITO
																											wurde
																											mit
																											üblicher
																											Photoresisttechnik
																											und
																											anschließendem
																											Abätzen
																											in
																											FeCl
																											3
																											-Lösung
																											vorgenommen.
																		
			
				
																						The
																											structuring
																											of
																											the
																											ITO
																											was
																											carried
																											out
																											by
																											a
																											conventional
																											photoresist
																											technique
																											followed
																											by
																											etching
																											in
																											FeCl
																											3
																											solution.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Nach
																											einer
																											weiteren
																											Ausbildung
																											der
																											Erfindung
																											werden
																											vor
																											der
																											Abscheidung
																											einer
																											oder
																											mehrerer
																											Metallschichten
																											bzw.
																											bei
																											der
																											Herstellung
																											einer
																											leitenden
																											Ringzone
																											vor
																											dem
																											Abätzen
																											der
																											Grundmetallisierung
																											die
																											Werkstoffoberflächen
																											ein-
																											oder
																											beidseitig
																											fotolithografisch
																											mit
																											einem
																											Negativtrockenresist
																											strukturiert,
																											dessen
																											Entwickler
																											den
																											Positivlackring
																											in
																											den
																											Bohrungen
																											nicht
																											beschädigt.
																		
			
				
																						In
																											another
																											embodiment
																											of
																											the
																											invention,
																											before
																											the
																											deposition
																											of
																											one
																											or
																											more
																											several
																											metal
																											layers
																											or,
																											during
																											the
																											production
																											of
																											conducting
																											ring
																											zones
																											before
																											the
																											etching
																											away
																											of
																											the
																											base
																											metallization,
																											the
																											workpiece
																											surfaces
																											are
																											structured
																											on
																											one
																											or
																											both
																											sides
																											by
																											photolithographic
																											means
																											with
																											a
																											negative
																											dry
																											resist
																											whose
																											developer
																											does
																											not
																											damage
																											the
																											positive
																											lacquer
																											ring
																											in
																											the
																											perforations.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Anschließend
																											wird
																											dann
																											in
																											Fortsetzung
																											des
																											Verfahrensschrittes
																											F
																											die
																											freie
																											Oberfläche
																											der
																											Aluminiummetallisierung
																											5
																											einer
																											Ätzlösung
																											ausgesetzt,
																											die
																											aus
																											H
																											3
																											PO
																											4,
																											HN03,
																											HCl
																											und
																											H
																											2
																											0
																											im
																											Verhältnis
																											20:10:10:60
																											angesetzt
																											ist,
																											so
																											daß
																											sich
																											die
																											Alaminiummetallisierung
																											5
																											in
																											gewünschter
																											Weise
																											abätzen
																											läßt.
																		
			
				
																						Subsequently,
																											in
																											a
																											continuation
																											of
																											process
																											step
																											F
																											the
																											free
																											surface
																											of
																											aluminum
																											metallization
																											5
																											is
																											exposed
																											to
																											an
																											etching
																											solution
																											made
																											of
																											H3
																											PO4,
																											HNO3,
																											HCl
																											and
																											H2
																											O
																											in
																											a
																											ratio
																											20:10:10:60
																											so
																											that
																											aluminum
																											metallization
																											5
																											can
																											be
																											etched
																											off
																											as
																											desired.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Bei
																											dem
																											vorher
																											genannten
																											Beispiel
																											(wobei
																											50
																											Nanometer
																											Pt
																											etwa
																											100
																											Nanometer
																											PtSi
																											ergeben)
																											wird
																											durch
																											Abätzen
																											von
																											50
																											Nanometern
																											nicht
																											umgesetzten
																											Platins
																											in
																											einer
																											Argon-Atmosphäre,
																											die
																											10
																											Volumprozent
																											Sauerstoff
																											enthält,
																											eine
																											Schicht
																											mit
																											einer
																											Dicke
																											von
																											etwa
																											12,5
																											Nanometer
																											PtSi
																											abgetragen,
																											so
																											daß
																											in
																											den
																											Kontaktbohrungen
																											PtSi
																											mit
																											einer
																											Schichtdicke
																											von
																											87,5
																											Nanometer
																											verbleibt.
																		
			
				
																						For
																											example,
																											with
																											reference
																											to
																											the
																											previous
																											example
																											(where
																											500A
																											Pt
																											yields
																											about
																											1000A
																											of
																											PtSi),
																											etching
																											of
																											500A
																											of
																											uncombined
																											Pt,
																											in
																											an
																											argon
																											ambient
																											containing
																											10
																											volume
																											percent
																											of
																											oxygen,
																											also
																											removes
																											approximately
																											125A
																											of
																											PtSi
																											leaving
																											875A
																											of
																											the
																											PtSi
																											in
																											the
																											contact
																											holes.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Nach
																											Abätzen
																											der
																											zweiten
																											Polysilicium--Schicht
																											34
																											verbleibt
																											nur
																											der
																											Bereich
																											37
																											der
																											zweiten
																											Polysilicium-Schicht
																											über
																											der
																											ersten
																											Polysilicium-Schicht
																											30
																											und
																											in
																											Kontaktverbindung
																											mit
																											der
																											Oberfläche
																											des
																											Substrats
																											10
																											ebenso
																											wie
																											der
																											Bereich
																											35,
																											der
																											in
																											Kontakt
																											mit
																											dem
																											Kollektor
																											22
																											steht,
																											wie
																											dies
																											Fig.
																		
			
				
																						After
																											the
																											second
																											polysilicon
																											layer
																											34
																											has
																											been
																											etched,
																											only
																											the
																											segment
																											37
																											of
																											the
																											second
																											polysilicon
																											layer
																											overlying
																											the
																											first
																											layer
																											of
																											polysilicon
																											30
																											and
																											in
																											contact
																											with
																											the
																											surface
																											of
																											the
																											substrate
																											10
																											remains,
																											along
																											with
																											segment
																											35
																											in
																											contact
																											with
																											collector
																											22,
																											as
																											shown
																											in
																											FIG.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Metallisierungsmuster
																											auf
																											der
																											oberen
																											Fläche
																											der
																											Zwischenelemente
																											18
																											kann
																											in
																											irgendeiner
																											geeigneten
																											Weise
																											erzeugt
																											werden,
																											vorzugsweise
																											durch
																											Aufdampfen
																											einer
																											Metallschicht
																											auf
																											die
																											obere
																											Fläche
																											des
																											Zwischenelementes,
																											Abscheiden
																											einer
																											Schicht
																											eines
																											Photolackes
																											über
																											dem
																											Metall,
																											Belichten
																											des
																											Photolackes
																											entsprechend
																											einem
																											gewünschten
																											Muster,
																											Entwickeln
																											des
																											Photolacks,
																											um
																											das
																											gewünschte
																											Muster
																											zu
																											definieren
																											und
																											nachfolgendes
																											Abätzen
																											des
																											freigelegten
																											Metalls
																											mit
																											einem
																											geeigneten
																											Ätzmittel.
																		
			
				
																						The
																											top
																											surface
																											metallurgy
																											pattern
																											of
																											interposers
																											18
																											can
																											be
																											formed
																											in
																											any
																											suitable
																											manner,
																											preferably
																											by
																											evaporating
																											a
																											layer
																											of
																											metal
																											on
																											the
																											top
																											surface
																											of
																											the
																											interposer,
																											depositing
																											a
																											layer
																											of
																											photoresist
																											over
																											the
																											metal,
																											exposing
																											the
																											resist
																											to
																											the
																											desired
																											pattern,
																											developing
																											the
																											resist
																											to
																											define
																											the
																											pattern
																											desired,
																											and
																											subsequently
																											etching
																											away
																											the
																											exposed
																											metal
																											with
																											a
																											suitable
																											etchant.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Bei
																											optischen
																											Winkelschrittgebern
																											oder
																											Winkelcodierern
																											werden
																											üblicherweise
																											die
																											Schlitzmuster
																											auf
																											fotografischem
																											Wege
																											kopiert
																											und
																											durch
																											partielles
																											Abätzen
																											einer
																											lichtundurchlässigen
																											Schicht,
																											welche
																											auf
																											einer
																											lichtdurchlässigen
																											Scheibe
																											aufgebracht
																											ist,
																											hergestellt.
																		
			
				
																						The
																											code
																											pattern
																											is
																											copied
																											from
																											a
																											master
																											by
																											photographic
																											means
																											and
																											manufactured
																											on
																											the
																											code
																											disk
																											by
																											a
																											partial
																											etching
																											of
																											an
																											opaque
																											disk
																											which
																											is
																											applied
																											on
																											a
																											light-transmissive
																											disk.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											durch
																											den
																											Zusatz
																											eines
																											Reduktionsmittels
																											zur
																											Ätzlösung
																											erreichbare
																											absolute
																											Erhöhung
																											der
																											Ätzgeschwindigkeit
																											bei
																											gegebener
																											Temperatur
																											erlaubt
																											ein
																											schnelleres
																											Abätzen
																											oder
																											Strukturieren
																											von
																											Eisengranatschichten,
																											was
																											von
																											besonderer
																											Bedeutung
																											ist
																											bei
																											dicken
																											Epitaxieschichten
																											(10
																											bis
																											100pm)
																											und
																											bei
																											Materialien
																											mit
																											geringer
																											Ätzrate.
																		
			
				
																						The
																											advantages
																											which
																											can
																											be
																											achieved
																											by
																											means
																											of
																											the
																											invention
																											are
																											as
																											follows:
																											The
																											absolute
																											increase
																											of
																											the
																											etching
																											rate
																											at
																											a
																											given
																											temperature,
																											achieved
																											by
																											the
																											addition
																											of
																											a
																											reducing
																											agent,
																											permits
																											of
																											faster
																											etching
																											or
																											structuring
																											of
																											iron
																											garnet
																											layers,
																											which
																											is
																											of
																											particular
																											importance
																											in
																											the
																											case
																											of
																											thick
																											epitaxial
																											layers
																											(10
																											to
																											100
																											?m)
																											and
																											with
																											materials
																											of
																											low
																											etching
																											rate.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Danach
																											werden
																											in
																											einen
																											zweiten
																											Belichtungsprozess
																											(Figur
																											3b)
																											mit
																											der
																											Photomaske
																											51
																											weitere
																											Teile
																											42
																											der
																											Photolackschicht
																											4
																											belichtet
																											und
																											entwickelt,
																											um
																											durch
																											Abätzen
																											der
																											so
																											freigelegten
																											Teile
																											31
																											und
																											21
																											der
																											Metallschicht
																											3
																											und
																											der
																											Widerstandsschicht
																											2
																											die
																											Schaltungsgeometrie
																											zu
																											erzeugen.
																		
			
				
																						Subsequently,
																											in
																											a
																											second
																											photographic
																											exposure
																											process
																											(FIG.
																											3b),
																											further
																											parts
																											42
																											of
																											the
																											photosensitive
																											resist
																											film
																											4
																											are
																											exposed
																											to
																											light
																											using
																											the
																											photographic
																											exposure
																											mask
																											51
																											and
																											are
																											developed,
																											in
																											order
																											to
																											produce
																											the
																											geometry
																											of
																											the
																											circuit
																											by
																											etching
																											away
																											the
																											thus-bared
																											parts
																											31
																											and
																											21
																											of
																											the
																											metal
																											film
																											3
																											and
																											the
																											resistance
																											film
																											2.
															 
				
		 EuroPat v2