Translation of "Anätzen" in English
																						Man
																											kann
																											es
																											aber
																											auch
																											vor
																											der
																											Umsetzung
																											aktivieren,
																											beispielsweise
																											durch
																											Anätzen.
																		
			
				
																						However,
																											before
																											the
																											reaction,
																											it
																											can
																											also
																											be
																											activated,
																											for
																											example
																											by
																											etching.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Oberflächenrauhigkeit
																											kann
																											beispielsweise
																											durch
																											Anätzen
																											erzeugt
																											werden.
																		
			
				
																						Surface
																											roughness
																											can
																											be
																											produced,
																											for
																											example,
																											by
																											etching.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Anätzen
																											geschieht
																											durch
																											eine
																											saure,
																											oxidativ
																											wirkende
																											Lösung.
																		
			
				
																						Initial
																											etching
																											is
																											effected
																											by
																											an
																											acidic
																											solution
																											having
																											oxidative
																											activity.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Hydrophilisierung
																											kann
																											beispielsweise
																											durch
																											Anätzen
																											erfolgen.
																		
			
				
																						Hydrophilation
																											can
																											be
																											accomplished,
																											e.g;
																											by
																											etching.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Sie
																											kann
																											auch
																											chemisch
																											durch
																											Anätzen
																											mit
																											einem
																											Lösemittel
																											strukturiert
																											werden.
																		
			
				
																						It
																											may
																											also
																											be
																											structured
																											chemically
																											by
																											etching
																											using
																											a
																											solvent.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Zum
																											chemischen
																											Anätzen
																											der
																											Oberfläche
																											einer
																											Glasfaser
																											verwendet
																											man
																											üblicherweise
																											verdünnte
																											Flusssäure.
																		
			
				
																						Diluted
																											hydrofluoric
																											acid
																											is
																											usually
																											utilized
																											for
																											chemical
																											etching
																											of
																											the
																											surface
																											of
																											a
																											glass
																											fiber.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Anätzen
																											mit
																											HF
																											erhöht
																											die
																											Hydrophilie
																											und
																											damit
																											die
																											photokatalytische
																											Aktivität.
																		
			
				
																						Etching
																											with
																											HF
																											increases
																											the
																											hydrophilic
																											properties
																											and
																											thus
																											the
																											photocatalytic
																											activity.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Zur
																											Ermittlung
																											der
																											Lichtempfindlichkeit
																											wird
																											jeweils
																											die
																											letzte
																											sichtbare
																											Stufe
																											der
																											Stufenvorlage
																											nach
																											dem
																											Anätzen
																											angegeben:
																		
			
				
																						To
																											determine
																											the
																											photosensitivity,
																											the
																											last
																											step
																											of
																											the
																											original
																											visible
																											after
																											etching
																											is
																											recorded
																											in
																											each
																											case.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Ihr
																											„Einschlußkanal"
																											wird
																											dann
																											durch
																											Anätzen
																											mikroskopisch
																											sichtbar
																											gemacht
																											(Abb.
																											5).
																		
			
				
																						Their
																											"inclusion
																											channel"
																											is
																											then
																											made
																											visible
																											under
																											the
																											microscope
																											by
																											etching
																											(Fig.
																											5).
															 
				
		 EUbookshop v2
			
																						Ein
																											Anätzen
																											der
																											Umgebung
																											und
																											ein
																											eventueller
																											Kurzschluß
																											zu
																											unterliegenden
																											Strukturen
																											kann
																											ausgeschlossen
																											werden.
																		
			
				
																						Etching
																											into
																											the
																											surroundings
																											and
																											a
																											possible
																											short-circuit
																											to
																											underlying
																											structures
																											can
																											be
																											precluded.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											isolatorfreien
																											Bereiche
																											entstehen
																											gleichmäßig
																											beim
																											Ätzen,
																											und
																											ein
																											Anätzen
																											der
																											Bitleitungen
																											ist
																											minimiert.
																		
			
				
																						The
																											insulator-free
																											regions
																											are
																											produced
																											uniformly
																											during
																											the
																											etching,
																											and
																											etching
																											into
																											the
																											bit
																											lines
																											is
																											minimized.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Zu
																											diesem
																											Zweck
																											werden
																											durch
																											Anätzen
																											des
																											Polymers
																											mit
																											Hilfe
																											einer
																											Säure
																											funktionelle
																											Gruppen
																											gebildet.
																		
			
				
																						For
																											this
																											purpose,
																											functional
																											groups
																											are
																											formed
																											by
																											etching
																											the
																											polymer
																											with
																											an
																											acid.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Auf
																											ein
																											aufwendiges
																											und
																											umweltschädliches
																											Anätzen
																											des
																											PTFE-Dichtelementes
																											kann
																											dabei
																											verzichtet
																											werden,
																											einfaches
																											Entfetten
																											genügt.
																		
			
				
																						Simple
																											degreasing
																											is
																											sufficient,
																											and
																											the
																											environmentally
																											objectionable,
																											expensive
																											etching
																											of
																											the
																											PTFE
																											sealing
																											member
																											may
																											be
																											dispensed
																											with.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Geeignete
																											Aktivierungsverfahren
																											sind
																											z.B.
																											Anätzen,
																											Vergrößerung
																											oder
																											chemische
																											Modifikation
																											der
																											inneren
																											Oberfläche
																											der
																											Gelierform.
																		
			
				
																						Suitable
																											activation
																											methods
																											are,
																											for
																											example,
																											surface
																											etching,
																											increasing
																											the
																											surface
																											area
																											or
																											chemical
																											modification
																											of
																											the
																											inside
																											surface
																											of
																											the
																											gelling
																											mould.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Anätzen
																											der
																											freigelegten
																											Oxidschicht
																											wird
																											bevorzugt
																											mit
																											Ammoniumfluoridpuffer,
																											insbesondere
																											1
																											Puffer:16
																											Wasser,
																											durchgeführt.
																		
			
				
																						The
																											exposed
																											oxide
																											layer
																											is
																											preferably
																											etched
																											with
																											ammonium
																											fluoride
																											buffer,
																											in
																											particular
																											1
																											buffer:16
																											water.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											einzelnen
																											Fällen
																											ist
																											es
																											zweckmäßig
																											die
																											Substratoberfläche
																											zuvor
																											aufzurauhen,
																											beispielsweise
																											durch
																											Anätzen.
																		
			
				
																						In
																											individual
																											cases
																											it
																											has
																											proven
																											to
																											be
																											appropriate
																											to
																											roughen
																											the
																											substrate
																											surface,
																											especially
																											by
																											etching,
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Bei
																											diesem
																											als
																											"Anätzen"
																											bezeichneten
																											Verfahrensschritt
																											ist
																											die
																											erfindungsgemäße
																											Anode
																											die
																											Kathode.
																		
			
				
																						In
																											this
																											process
																											step,
																											called
																											“etching”,
																											the
																											anode
																											according
																											to
																											the
																											invention
																											is
																											the
																											cathode.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Ist
																											die
																											Gesamtpolierzeit,
																											die
																											zur
																											Erreichung
																											des
																											ange,
																											notwendig
																											ist,
																											strebten
																											Poliergrades
																											bei
																											der
																											jeweiligen
																											Charge/um
																											einen
																											gewissen
																											Anteil
																											angestiegen,
																											beispielsweise
																											um
																											25
																											bis
																											50
																											%,
																											oder
																											zeigen
																											sich
																											die
																											ersten
																											Anzeichen
																											für
																											Polierfehler
																											wie
																											bläuliches
																											Anlaufen
																											oder
																											Anätzen,
																											so
																											gibt
																											man
																											nach
																											der
																											Erfindung
																											Natrium-und/oder
																											Kaliumchlorid
																											in
																											das
																											Polierbad,
																											wodurch
																											in
																											den
																											meisten
																											Fällen
																											unmittelbar
																											die
																											Polierfehler
																											an
																											der
																											gerade
																											bearbeiteten
																											Charge
																											wieder
																											verschwinden.
																		
			
				
																						If
																											the
																											total
																											polishing
																											time
																											necessary
																											for
																											achieving
																											the
																											desired
																											degree
																											of
																											polish
																											for
																											the
																											batch
																											in
																											question
																											has
																											increased
																											by
																											a
																											certain
																											proportion,
																											for
																											example,
																											by
																											25
																											to
																											50%,
																											or
																											if
																											the
																											first
																											signs
																											of
																											polishing
																											flaws,
																											such
																											as
																											bluish
																											discolouration
																											or
																											etching
																											have
																											shown
																											themselves,
																											sodium
																											chloride
																											and/or
																											potassium
																											chloride
																											are
																											added
																											to
																											the
																											polishing
																											bath
																											in
																											accordance
																											with
																											the
																											invention
																											which,
																											in
																											most
																											cases,
																											causes
																											the
																											polishing
																											flaws
																											on
																											the
																											batch
																											just
																											treated
																											to
																											disappear
																											again
																											immediately.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Es
																											ist
																											zweckmäßig,
																											die
																											Oberfläche
																											des
																											Isoliermaterials
																											nach
																											dem
																											Bohren
																											bzw.
																											Stanzen
																											der
																											Löcher
																											in
																											bekannter
																											Weise
																											durch
																											Reinigen,
																											Anätzen,
																											Bekeimen
																											usw.
																											für
																											die
																											chemische
																											und
																											ggf.
																											galvanische
																											Metallisierung
																											vorzubereiten,
																											da
																											sich
																											zu
																											diesem
																											Zeitpunkt
																											die
																											genannten
																											Schritte
																											in
																											rationeller
																											Weise
																											durchführen
																											lassen.
																		
			
				
																						After
																											drilling
																											or
																											punching
																											the
																											holes,
																											the
																											surface
																											of
																											the
																											insulating
																											material
																											is
																											appropriately
																											prepared
																											for
																											chemical
																											plating
																											and,
																											if
																											appropriate,
																											electroplating,
																											by
																											cleaning,
																											slight
																											etching,
																											seeding
																											with
																											metal
																											nuclei,
																											etc.,
																											as
																											is
																											known
																											in
																											the
																											art,
																											since
																											at
																											this
																											point
																											of
																											the
																											process,
																											the
																											indicated
																											steps
																											can
																											be
																											carried
																											out
																											in
																											an
																											economical
																											manner.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Es
																											ist
																											für
																											den
																											Fachmann
																											nicht
																											selbstverständlich,
																											dass
																											die
																											nach
																											der
																											Konditionierung
																											empfindlich
																											reagierende
																											Kunststoffoberfläche
																											ohne
																											weiteres
																											mehrmals
																											getrocknet
																											und
																											der
																											Wirkung
																											von
																											verschiedenen
																											Lösungen,
																											wie
																											Entwicklungslösung
																											für
																											Fotoresist,
																											netzmittelhaltigen
																											Reinigungslösungen
																											und
																											den
																											oxidierenden
																											Lösungen
																											zum
																											Anätzen
																											der
																											Metallfolie
																											vor
																											dem
																											Verfahrensschritt
																											der
																											Aktivierung
																											ausgesetzt
																											werden
																											kann,
																											ohne
																											dabei
																											die
																											Fähigkeit
																											der
																											brauchbaren
																											Aufnahme
																											des
																											Edelmetalls
																											zu
																											verlieren.
																		
			
				
																						It
																											is
																											not
																											obvious
																											to
																											the
																											specialist
																											that
																											plastic
																											surface
																											which
																											reacts
																											sensitively
																											after
																											the
																											conditioning
																											can
																											be
																											dried
																											repeatedly
																											without
																											difficulties
																											and
																											exposed
																											to
																											the
																											effects
																											of
																											various
																											solutions
																											such
																											as
																											developer
																											solutions
																											for
																											photoresist,
																											cleaning
																											solutions
																											containing
																											wetting
																											agents
																											and
																											the
																											oxidizing
																											solutions
																											for
																											the
																											etching
																											of
																											the
																											metal
																											film
																											before
																											the
																											process
																											step
																											of
																											activation,
																											without
																											thereby
																											losing
																											the
																											capacity
																											for
																											the
																											usable
																											acceptance
																											of
																											the
																											precious
																											metal.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Wird
																											Ta
																											zunächst
																											bei
																											der
																											Massenfertigung
																											großflächig
																											auf
																											ein
																											durch
																											einen
																											letzten
																											Verfahrensschritt
																											in
																											einzelne
																											kapazitive
																											Feuchtesensoren
																											zu
																											zerteilendes
																											Isolierstoffstück
																											aus
																											Glas
																											oder
																											glasierter
																											Keramik
																											aufgebracht
																											und
																											dann
																											zur
																											Erzeugung
																											der
																											Grundelektroden
																											und
																											Kontaktierbereiche
																											durch
																											naßchemisches
																											Ätzen
																											photolithographisch
																											strukturiert,
																											empfiehlt
																											sich
																											vor
																											diesem
																											Ätzen
																											das
																											ganzflächige
																											Aufbringen
																											einer
																											Ta
																											2
																											0
																											5
																											-Ätzstoppschicht
																											4,
																											wodurch
																											das
																											Anätzen
																											des
																											Isolierstoffs
																											unterbunden
																											wird.
																		
			
				
																						If,
																											in
																											a
																											mass-production
																											process,
																											Ta
																											is
																											first
																											deposited
																											over
																											an
																											insulating
																											piece
																											of
																											glass
																											or
																											porcelain
																											to
																											be
																											separated
																											in
																											a
																											last
																											process
																											step
																											into
																											individual
																											capacitive
																											humidity
																											sensors,
																											and
																											then
																											patterned
																											by
																											photolithographic
																											techniques
																											and
																											wet-etched
																											to
																											form
																											the
																											bottom
																											electrodes
																											and
																											contact
																											areas,
																											it
																											is
																											recommended
																											to
																											deposit
																											a
																											Ta2
																											O5
																											etch-stop
																											layer
																											4
																											over
																											the
																											entire
																											surface
																											prior
																											to
																											the
																											etching
																											step,
																											so
																											that
																											etching
																											of
																											the
																											insulating
																											material
																											is
																											prevented.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Figur
																											8:
																											Wenn
																											die
																											Polyzidschicht
																											(3,
																											4)
																											lokal
																											einen
																											Kontakt
																											zum
																											Siliziumsubstrat
																											(buried
																											contact)
																											haben
																											soll,
																											ist
																											naturgemäß
																											ein
																											gewisses
																											Anätzen
																											des
																											Substrats
																											(1)
																											nicht
																											zu
																											vermeiden
																											(siehe
																											Figur
																											1,
																											Pfeil
																											13).
																		
			
				
																						When
																											a
																											polycide
																											layer
																											(composed
																											of
																											polysilicon
																											layer
																											3
																											and
																											a
																											silicide
																											layer
																											4)
																											is
																											to
																											topically
																											have
																											a
																											contact
																											with
																											a
																											silicon
																											substrate
																											(buried
																											contact),
																											then
																											a
																											certain
																											degree
																											of
																											incipient
																											etching
																											of
																											the
																											substrate
																											cannot,
																											of
																											course,
																											be
																											avoided
																											(see
																											FIG.
																											1,
																											arrow
																											13).
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Bei
																											richtiger
																											Wahl
																											des
																											Fluor-Chlor-Verhältnisses
																											im
																											Reaktionsgas
																											kann
																											man
																											eine
																											relativ
																											hohe
																											(bis
																											zu
																											10:1)
																											Selektivität
																											von
																											n
																											+-
																											Polysilizium:Silizium
																											-
																											substrat
																											erreichen
																											und
																											damit
																											das
																											Anätzen
																											des
																											Substrats
																											sehr
																											gering
																											halten.
																		
			
				
																						However,
																											with
																											a
																											correct
																											selection
																											of
																											the
																											fluorine/chlorine
																											ratio
																											in
																											a
																											reactive
																											etching
																											gas,
																											one
																											can
																											achieve
																											a
																											relatively
																											high
																											selectivity
																											(up
																											to
																											about
																											100:1)
																											of
																											n+
																											-polysilicon:silicon
																											substrate
																											and,
																											thus,
																											keep
																											the
																											incipient
																											etching
																											of
																											a
																											substrate
																											very
																											low.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											belichtete
																											Platte
																											wird
																											in
																											5%iger
																											NaHC0
																											3
																											-Lösung
																											entwickelt,
																											und
																											die
																											letzte
																											abgebildete
																											Stufe
																											wird
																											durch
																											Anätzen
																											der
																											blanken
																											Kupferteile
																											mit
																											FeCI
																											3
																											besser
																											sichtbar
																											gemacht.
																		
			
				
																						The
																											exposed
																											plate
																											is
																											developed
																											in
																											5%
																											NaHCO3
																											solution
																											and
																											the
																											final
																											step
																											recorded
																											is
																											rendered
																											more
																											easily
																											visible
																											by
																											etching
																											the
																											exposed
																											parts
																											of
																											the
																											copper
																											with
																											FeCl3.
															 
				
		 EuroPat v2