Translation of "Aufdampfanlage" in English
																						Anschließend
																											wurde
																											in
																											einer
																											Aufdampfanlage,
																											unter
																											Ultrahochvakuumbedingungen,
																											das
																											Co
																											aufgedampft.
																		
			
				
																						In
																											a
																											vapor
																											deposition
																											apparatus
																											under
																											ultra
																											high
																											vacuum
																											conditions,
																											Co
																											is
																											deposited.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Aufdampfanlage
																											wird
																											bis
																											zu
																											einem
																											Druck
																											von
																											1x10
																											-5
																											mbar
																											evakuiert.
																		
			
				
																						The
																											vapor-deposition
																											unit
																											is
																											evacuated
																											to
																											a
																											pressure
																											of
																											1×10
																											?5
																											mbar.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Nach
																											dem
																											Abkühlen
																											werden
																											die
																											beschichteten
																											Substrate
																											der
																											Aufdampfanlage
																											entnommen.
																		
			
				
																						After
																											cooling,
																											the
																											coated
																											substrates
																											are
																											removed
																											from
																											the
																											vapor-deposition
																											unit.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Für
																											Spezialanwendungen
																											steht
																											eine
																											Aufdampfanlage
																											für
																											die
																											Rückseitenmetallisierung
																											bereit.
																		
			
				
																						A
																											high
																											vacuum
																											coating
																											plant
																											for
																											the
																											back
																											metalization
																											is
																											available
																											for
																											special
																											applications.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Die
																											dafür
																											eingesetzte
																											Aufdampfanlage
																											(Edwards)
																											ist
																											in
																											einer
																											Inertgas-Glovebox
																											(Braun)
																											integriert.
																		
			
				
																						The
																											vapour
																											deposition
																											system
																											(Edwards)
																											used
																											for
																											this
																											step
																											is
																											built
																											into
																											an
																											inert
																											gas
																											glove
																											box
																											(Braun).
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Aufdampfanlage
																											wird
																											bis
																											zu
																											einem
																											Druck
																											von
																											1
																											mPa
																											(1x10
																											-5
																											mbar)
																											evakuiert.
																		
			
				
																						The
																											vapor-deposition
																											unit
																											is
																											evacuated
																											to
																											a
																											pressure
																											of
																											1×10
																											?5
																											mbar.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											einer
																											handelsüblichen
																											Aufdampfanlage
																											werden
																											auf
																											einen
																											Objektträger
																											aus
																											Glas
																											mit
																											zwei
																											getrennten
																											Elektronenstrahlkanonen
																											gleichzeitig
																											Samarium
																											und
																											Kobalt
																											aufgedampft.
																		
			
				
																						Samarium
																											and
																											cobalt
																											are
																											simultaneously
																											deposited
																											by
																											means
																											of
																											two
																											separate
																											electron
																											beam
																											guns
																											on
																											a
																											microscope
																											slide
																											in
																											a
																											commercial
																											vacuum-metallizing
																											apparatus.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Beispielsweise
																											kann
																											das
																											Sputterätzen
																											und
																											das
																											Ausheizen
																											in
																											der
																											Aufdampfanlage
																											erfolgen,
																											in
																											der
																											anschließend
																											die
																											Metallschichten
																											für
																											die
																											Deckelektrode
																											aufgedampft
																											werden.
																		
			
				
																						For
																											example,
																											the
																											sputtering
																											etching
																											and
																											the
																											expulsion
																											heating
																											may
																											take
																											place
																											in
																											the
																											vapour
																											deposition
																											apparatus
																											in
																											which
																											subsequently
																											the
																											metal
																											layers
																											for
																											the
																											covering
																											electrode
																											are
																											vapour
																											deposited.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Außerdem
																											ist
																											es
																											vorteilhaft,
																											die
																											Schwenkachse
																											vakuumdicht
																											aus
																											der
																											Aufdampfanlage
																											herauszuführen
																											und
																											mit
																											einem
																											mechanischen
																											Antrieb
																											außerhalb
																											der
																											Anlage
																											zu
																											versehen.
																		
			
				
																						Besides
																											it
																											is
																											advantageous
																											to
																											bring
																											the
																											moveable
																											shaft
																											out
																											of
																											the
																											vapor
																											coating
																											plant
																											in
																											hermetically
																											sealed
																											manner
																											and
																											to
																											provide
																											it
																											with
																											a
																											mechanical
																											drive
																											outside
																											the
																											plant.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											thermische
																											Trennschicht
																											wird
																											analog
																											zu
																											den
																											oben
																											geschilderten
																											Verfahren
																											in
																											einer
																											analogen
																											oder
																											gleichen
																											Aufdampfanlage
																											aufgebracht.
																		
			
				
																						The
																											thermal
																											separating
																											layer
																											is
																											applied
																											analogously
																											to
																											the
																											above
																											described
																											methods
																											in
																											an
																											analogous
																											or
																											identical
																											vapor
																											deposition
																											installation.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Figur
																											1
																											zeigt
																											eine
																											schematische
																											Darstellung
																											einer
																											beispielsweisen
																											Aufdampfanlage
																											zur
																											Durchführung
																											der
																											erfindungsgemäßen
																											hochverschleißfesten
																											Beschichtung
																											mit
																											wechselnden
																											Materialkonzentrationen.
																		
			
				
																						FIG.
																											1
																											shows
																											by
																											example
																											a
																											schematic
																											representation
																											of
																											vapor
																											deposition
																											installation
																											for
																											creating
																											the
																											highly
																											wear-resistant
																											coating
																											with
																											alternating
																											material
																											concentrations
																											according
																											to
																											the
																											invention.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											einer
																											Variante
																											der
																											Aufdampfanlage
																											sind
																											die
																											Halterungen
																											der
																											Grundkörper
																											gegeneinander
																											und
																											gegenüber
																											der
																											Vakuumkammer
																											19
																											isoliert.
																		
			
				
																						In
																											a
																											variant
																											of
																											the
																											vapor
																											deposition
																											installation
																											the
																											holders
																											of
																											the
																											basic
																											bodies
																											are
																											insulated
																											with
																											respect
																											to
																											each
																											other
																											and
																											with
																											respect
																											to
																											the
																											vacuum
																											chamber
																											19.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Figur
																											3
																											zeigt
																											eine
																											schematische
																											Darstellung
																											einer
																											beispielsweisen
																											Aufdampfanlage
																											zur
																											Erzeugung
																											einer
																											dekorativen
																											Beschichtung
																											mit
																											dem
																											erfindungsgemäßen
																											Verfahren.
																		
			
				
																						FIG.
																											3
																											is
																											a
																											schematic
																											representation
																											of
																											a
																											vapor
																											deposition
																											installation
																											by
																											example
																											for
																											the
																											generation
																											of
																											a
																											decorative
																											coating
																											with
																											the
																											method
																											according
																											to
																											the
																											invention.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Aufdampfanlage
																											hat
																											eine
																											Vakuumkammer
																											19
																											mit
																											einem
																											Evakuierungsanschluß
																											20
																											und
																											eine
																											Glühkathodenkammer
																											21
																											mit
																											einer
																											Glühkathode
																											22,
																											die
																											über
																											eine
																											Öffnung
																											25
																											mit
																											der
																											Vakuumkammer
																											19
																											verbunden
																											ist.
																		
			
				
																						The
																											vapor
																											deposition
																											installation
																											has
																											a
																											vacuum
																											chamber
																											19
																											with
																											an
																											evacuation
																											port
																											20
																											and
																											a
																											thermionic
																											cathode
																											chamber
																											21
																											with
																											a
																											thermionic
																											cathode
																											22
																											which
																											is
																											connected
																											via
																											an
																											opening
																											25
																											with
																											the
																											vacuum
																											chamber
																											19.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Nach
																											dem
																											Abschalten
																											der
																											Elektronenstrahlkanone
																											und
																											Abkühlung
																											des
																											Verdampfgutes
																											wird
																											nach
																											15
																											Minuten
																											die
																											Kammer
																											der
																											Aufdampfanlage
																											belüftet
																											und
																											der
																											beschichtete
																											Formkörper
																											entnommen.
																		
			
				
																						15
																											Minutes
																											after
																											the
																											electron
																											beam
																											gun
																											has
																											been
																											switched
																											off
																											and
																											the
																											deposited
																											substance
																											has
																											cooled
																											down,
																											the
																											chamber
																											of
																											the
																											vapour
																											deposition
																											installation
																											is
																											ventilated
																											and
																											the
																											coated
																											body
																											is
																											removed.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Bei
																											der
																											Unterbrechung
																											des
																											Vakuums
																											zwecks
																											Neubeschickung
																											der
																											Verdampfer
																											kommt
																											erschwerend
																											hinzu,
																											daß
																											ein
																											mehrfaches
																											Auspumpen
																											der
																											Aufdampfanlage
																											unwirtschaftlich
																											ist.
																		
			
				
																						In
																											breaking
																											the
																											vacuum
																											for
																											the
																											purpose
																											of
																											new
																											loading
																											of
																											the
																											evaporator
																											there
																											is
																											the
																											difficulty
																											that
																											a
																											multiple
																											pumping
																											out
																											of
																											the
																											vapor
																											coating
																											plant
																											is
																											uneconomical.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Falls
																											die
																											Aufdampfanlage
																											mehrere
																											Verdampfer
																											besitzt,
																											ist
																											es
																											von
																											Vorteil,
																											jedem
																											Verdampfer
																											eine
																											eigene
																											Beschikkungsrolle
																											zuzuordnen,
																											die
																											entweder
																											auf
																											der
																											gleichen
																											oder
																											auf
																											verschiedenen
																											Achsen
																											sitzen.
																		
			
				
																						In
																											case
																											the
																											vapor
																											coating
																											plant
																											has
																											several
																											evaporators
																											it
																											is
																											of
																											advantage
																											to
																											arrange
																											for
																											each
																											evaporator
																											its
																											own
																											loading
																											roll
																											which
																											either
																											rest
																											on
																											the
																											same
																											or
																											on
																											different
																											shafts.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											einer
																											Aufdampfanlage
																											wie
																											beschrieben
																											in
																											Figur
																											1
																											wurde
																											eine
																											lackierte
																											und
																											eine
																											nicht
																											lackierte
																											CR
																											39
																											Linse
																											mit
																											einer
																											plasmapolymerisierten
																											Schichtkombination
																											versehen
																											und
																											danach
																											mit
																											einer
																											aufgedampften
																											Antireflexentspiegelung
																											beidseitig
																											beschichtet.
																		
			
				
																						A
																											lacquered
																											and
																											a
																											non
																											lacquered
																											CR
																											39
																											lens
																											where
																											coated
																											within
																											a
																											coating
																											apparatus
																											as
																											described
																											in
																											FIG.
																											1
																											with
																											a
																											plasma
																											polymerized
																											layer
																											combination
																											and
																											then
																											coated
																											on
																											both
																											sides
																											with
																											an
																											evaporated
																											anti
																											reflection
																											coating.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Aufdampfanlage
																											21
																											ist
																											dabei
																											in
																											Seitenansicht
																											von
																											vorne
																											dargestellt,
																											mit
																											entfernter
																											Frontöffnung,
																											damit
																											der
																											kalottenartige
																											Substrathalter
																											19
																											sichtbar
																											ist.
																		
			
				
																						The
																											vapor
																											deposition
																											installation
																											21
																											is
																											therein
																											depicted
																											in
																											lateral
																											view
																											from
																											the
																											front
																											with
																											the
																											front
																											opening
																											removed
																											so
																											that
																											the
																											vault-like
																											substrate
																											holder
																											19
																											is
																											visible.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Schematisch
																											dargestellt,
																											umfasst
																											die
																											Aufdampfanlage
																											21
																											eine
																											Auslassöffnung
																											25,
																											welche
																											beispielsweise
																											zu
																											einer
																											Vakuumpumpe
																											27
																											führt,
																											mittels
																											welcher
																											der
																											Bearbeitungsraum
																											23
																											evakuiert
																											werden
																											kann.
																		
			
				
																						Depicted
																											schematically,
																											the
																											vapor
																											deposition
																											installation
																											21
																											comprises
																											an
																											outlet
																											opening
																											25
																											which
																											leads
																											for
																											example
																											to
																											a
																											vacuum
																											pump
																											27
																											by
																											means
																											of
																											which
																											the
																											working
																											volume
																											23
																											can
																											be
																											evacuated.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Nach
																											der
																											Wendeoperation
																											wird
																											der
																											Einschwenkmechanismus
																											33
																											durch
																											den
																											Absenkmechanismus
																											37
																											wieder
																											zurückgezogen,
																											und
																											der
																											Beschichtungsvorgang
																											in
																											der
																											Aufdampfanlage
																											kann
																											seine
																											Fortsetzung
																											finden.
																		
			
				
																						After
																											the
																											rotation
																											operation,
																											the
																											angled
																											mechanism
																											33
																											is
																											again
																											retracted
																											by
																											the
																											lowering
																											mechanism
																											37
																											and
																											the
																											coating
																											process
																											in
																											the
																											vapor
																											deposition
																											installation
																											can
																											be
																											continued.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Als
																											solches
																											wird
																											beispielsweise
																											Aluminium
																											in
																											einer
																											Schichtdicke
																											von
																											etwa
																											200
																											bis
																											500
																											nm
																											in
																											einer
																											Aufdampfanlage
																											mit
																											einer
																											Elektronenstrahlkanone
																											innerhalb
																											einer
																											Zeit
																											von
																											etwa
																											200
																											Sekunden
																											ohne
																											Substratheizung
																											aufgedampft.
																		
			
				
																						Aluminum,
																											as
																											an
																											example,
																											is
																											evaporated
																											with
																											a
																											layer
																											thickness
																											of
																											about
																											200-500
																											nm
																											in
																											an
																											evaporation
																											system
																											with
																											an
																											electron
																											beam
																											gun
																											in
																											about
																											200
																											seconds.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											so
																											hergestellten
																											Bildchen
																											werden
																											auf
																											eine
																											drehbare
																											Vorrichtung
																											montiert
																											und
																											in
																											den
																											Bedampfungsraum
																											einer
																											Aufdampfanlage
																											eingesetzt.
																		
			
				
																						The
																											thus
																											produced
																											pictures
																											were
																											mounted
																											on
																											a
																											rotatable
																											device
																											and
																											inserted
																											in
																											the
																											vaporization
																											space
																											of
																											a
																											vapor
																											deposition
																											apparatus.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											einer
																											handelsüblichen
																											Aufdampfanlage
																											werden
																											auf
																											eine
																											Objektträger
																											aus
																											Glas
																											mit
																											zwei
																											getrennten
																											Elektronenstrahlkanonen
																											gleichzeitig
																											Samarium
																											und
																											Kobalt
																											aufgedampft.
																		
			
				
																						Samarium
																											and
																											cobalt
																											are
																											simultaneously
																											deposited
																											by
																											means
																											of
																											two
																											separate
																											electron
																											beam
																											guns
																											on
																											a
																											microscope
																											slide
																											in
																											a
																											commercial
																											vacuum-metallizing
																											apparatus.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Es
																											wird
																											wie
																											in
																											Beispiel
																											6
																											beschrieben
																											verfahren,
																											mit
																											dem
																											Unterschied,
																											daß
																											die
																											Glasplatten
																											durch
																											einen
																											in
																											die
																											Aufdampfanlage
																											eingebauten
																											Elektromotor
																											während
																											des
																											Bedampfens
																											in
																											eine
																											konzentrische
																											Drehbewegung
																											mit
																											20
																											Upm
																											versetzt
																											werden.
																		
			
				
																						The
																											procedure
																											described
																											in
																											Example
																											6
																											is
																											followed,
																											except
																											that
																											the
																											glass
																											plates
																											are
																											caused
																											to
																											rotate
																											at
																											20
																											rpm,
																											by
																											means
																											of
																											an
																											electric
																											motor
																											installed
																											in
																											the
																											vacuum-metallizing
																											apparatus,
																											during
																											deposition.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Beispielsweise
																											kann
																											das
																											Sputterätzen
																											und
																											das
																											Ausheizen
																											in
																											der
																											Aufdampfanlage
																											erfolgen,
																											in
																											der
																											anschliessend
																											die
																											Metallschichten
																											für
																											die
																											Deckelelektrode
																											aufgedampft
																											werden.
																		
			
				
																						For
																											example,
																											the
																											sputtering
																											etching
																											and
																											the
																											expulsion
																											heating
																											may
																											take
																											place
																											in
																											the
																											vapour
																											deposition
																											apparatus
																											in
																											which
																											subsequently
																											the
																											metal
																											layers
																											for
																											the
																											covering
																											electrode
																											are
																											vapour
																											deposited.
															 
				
		 EuroPat v2