Translation of "Elektronenoptik" in English
																						Die
																											einfachste
																											-
																											Abstandshalter
																											-
																											für
																											die
																											Trennung
																											der
																											Elemente
																											der
																											Elektronenoptik
																											verwendet.
																		
			
				
																						The
																											most
																											simple
																											-
																											spacers
																											-
																											are
																											used
																											for
																											the
																											separation
																											of
																											elements
																											of
																											electron
																											optics.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Er
																											war
																											der
																											Begründer
																											der
																											Elektronenoptik
																											und
																											legte
																											damit
																											die
																											theoretischen
																											Grundlagen
																											für
																											das
																											Elektronenmikroskop.
																		
			
				
																						He
																											was
																											a
																											pioneer
																											of
																											electron
																											optics
																											and
																											laid
																											the
																											theoretical
																											basis
																											for
																											the
																											electron
																											microscope.
															 
				
		 WikiMatrix v1
			
																						Überraschenderweise
																											wurde
																											gefunden,
																											dass
																											ein
																											herkömmlicher
																											Sensorkopf
																											eine
																											deutliche
																											Störung
																											der
																											Elektronenoptik
																											verursacht.
																		
			
				
																						Surprisingly,
																											it
																											was
																											discovered
																											that
																											a
																											standard
																											sensor
																											head
																											causes
																											significant
																											interference
																											to
																											the
																											electron
																											optics.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											angegebene
																											Elektronenstrahlteiler
																											vereint
																											damit
																											die
																											klassische
																											Elektronenoptik
																											mit
																											dem
																											Funktionsprinzip
																											einer
																											linearen
																											Paulfalle.
																		
			
				
																						The
																											specified
																											electron
																											beam
																											splitter
																											combines
																											the
																											classical
																											electron
																											optics
																											with
																											the
																											functional
																											principle
																											of
																											a
																											linear
																											Paul
																											trap.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Auch
																											Strahlen
																											geladener
																											Teilchen
																											bewegen
																											sich
																											in
																											elektrischen
																											oder
																											magnetischen
																											Feldern
																											oft
																											nach
																											den
																											Gesetzen
																											der
																											Optik
																											(siehe
																											Elektronenoptik).
																		
			
				
																						Ptolemy,
																											in
																											his
																											treatise
																											"Optics",
																											held
																											an
																											extramission-intromission
																											theory
																											of
																											vision:
																											the
																											rays
																											(or
																											flux)
																											from
																											the
																											eye
																											formed
																											a
																											cone,
																											the
																											vertex
																											being
																											within
																											the
																											eye,
																											and
																											the
																											base
																											defining
																											the
																											visual
																											field.
															 
				
		 Wikipedia v1.0
			
																						Dagegen
																											gehören
																											nicht
																											hierher
																											Elemente
																											der
																											Elektronenoptik,
																											wie
																											z.B.
																											elektrostatische
																											Linsen,
																											elektromagnetische
																											Linsen
																											und
																											sogenannte
																											elektrische
																											Zwischenlinsen
																											(im
																											allgemeinen
																											Kapitel
																											85).
																		
			
				
																						The
																											heading
																											does
																											not
																											include,
																											however,
																											electronic
																											"optical"
																											elements,
																											for
																											example,
																											electrostatic
																											lenses,
																											electromagnetic
																											lenses
																											and
																											so-called
																											field
																											lenses
																											(generally
																											Chapter
																											85).
															 
				
		 EUbookshop v2
			
																						Es
																											besteht
																											im
																											wesentlichen
																											aus
																											einem
																											eine
																											schneidenförmige
																											Kathode
																											K
																											aufweisenden
																											Strahlerzeuger,
																											einer
																											Elektronenoptik
																											zur
																											Fokussierung
																											der
																											von
																											der
																											Kathode
																											K
																											emittierten
																											und
																											in
																											Richtung
																											einer
																											Anode
																											beschleunigten
																											Primärelektronen
																											PE
																											auf
																											die
																											zu
																											untersuchende
																											Probe
																											IC
																											und
																											einem
																											Detektor
																											DT
																											zum
																											Nachweis
																											der
																											auf
																											der
																											Probe
																											IC
																											ausgelösten
																											Sekundärelektronen
																											SE.
																		
			
				
																						It
																											is
																											essentially
																											composed
																											of
																											a
																											beam
																											generator
																											comprising
																											a
																											blade-shaped
																											cathode
																											K,
																											an
																											electron
																											optics
																											for
																											focusing
																											the
																											primary
																											electrons
																											PE
																											emitted
																											by
																											the
																											cathode
																											K
																											and
																											accelerated
																											in
																											the
																											direction
																											of
																											an
																											anode
																											onto
																											the
																											specimen
																											IC
																											to
																											be
																											investigated
																											and
																											a
																											detector
																											DT
																											for
																											the
																											documentation
																											of
																											the
																											secondary
																											electrons
																											SE
																											triggered
																											on
																											the
																											specimen
																											IC.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Erfindung
																											beruht
																											auf
																											dem
																											Grundgedanken,
																											daß
																											die
																											ungleiche
																											Einwirkung
																											der
																											ELektronenoptik
																											auf
																											Mitten-
																											und
																											AußenstrahL
																											durch
																											Einführung
																											komplementärer
																											Unsymmetrien
																											mit
																											HiLfe
																											freier
																											Parameter,
																											also
																											auf
																											kompensatorische
																											Weise,
																											gründlicher
																											beseitigt
																											werden
																											kann,
																											als
																											dies
																											durch
																											Maßnahmen
																											zur
																											Erweiterung
																											und
																											Ergänzung
																											der
																											Symmetrie
																											im
																											ELektrodenaufbau
																											möglich
																											wäre.
																		
			
				
																						SUMMARY
																											OF
																											THE
																											INVENTION
																											The
																											invention
																											is
																											based
																											on
																											the
																											underlying
																											idea
																											that
																											the
																											unequal
																											effect
																											of
																											the
																											electron
																											optics
																											upon
																											the
																											central
																											and
																											the
																											outer
																											beam
																											can
																											be
																											eliminated
																											more
																											throughly
																											than
																											would
																											be
																											otherwise
																											possible
																											by
																											taking
																											measures
																											for
																											enlarging
																											and
																											amending
																											the
																											symmetry
																											in
																											the
																											electrode
																											structure.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Damit
																											werden
																											auch
																											Störungen
																											durch
																											Strahlstromschwankungen,
																											wie
																											sie
																											bei
																											Feldemissions-Kathoden
																											auftreten,
																											unterdrückt,
																											ohne
																											dass
																											ein
																											Eingriff
																											in
																											die
																											Elektronenoptik
																											erforderlich
																											ist.
																		
			
				
																						Therewith,
																											disruptions
																											due
																											to
																											beam
																											current
																											fluctuations
																											such
																											as
																											occur
																											given
																											field
																											emission
																											cathods
																											can
																											also
																											be
																											suppressed
																											without
																											an
																											operation
																											on
																											the
																											electron
																											optics
																											being
																											required.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Diese
																											Methode
																											ist
																											auf
																											die
																											Elektronenoptik
																											nicht
																											einfach
																											übertragbar,
																											da
																											einerseits
																											auf
																											Grund
																											der
																											kleinen
																											Beleuchtungsapertur
																											eine
																											submikroskopische
																											Ringblende
																											im
																											Beleuchtungssystem
																											erforderlich
																											wäre
																											und
																											andererseits
																											kein
																											geeignetes,
																											für
																											Elektronen
																											vollständig
																											transparentes
																											Trägermaterial
																											zur
																											Verfügung
																											steht
																											.
																		
			
				
																						This
																											method
																											is
																											not
																											easily
																											transferred
																											to
																											electron
																											optics,
																											since
																											on
																											one
																											hand
																											a
																											submicroscopic
																											annular
																											diaphragm
																											would
																											be
																											required
																											in
																											the
																											illuminating
																											system
																											because
																											of
																											the
																											small
																											illuminating
																											aperture,
																											and
																											on
																											the
																											other
																											hand,
																											no
																											suitable
																											support
																											material
																											is
																											available
																											which
																											is
																											completely
																											transparent
																											to
																											electrons.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Diese
																											Elektronen
																											werden
																											in
																											dem
																											elektrischen
																											Feld
																											der
																											Elektronenoptik
																											beschleunigt
																											und
																											auf
																											einen
																											Bildsensor
																											fokussiert,
																											welcher
																											das
																											Elektronenbild
																											in
																											ein
																											Videobild
																											umwandelt
																											und
																											entsprechende
																											Videosignale
																											liefert.
																		
			
				
																						These
																											electrons
																											are
																											accelerated
																											in
																											the
																											electrical
																											field
																											of
																											the
																											electron
																											optics,
																											and
																											are
																											focused
																											onto
																											an
																											image
																											sensor
																											which
																											converts
																											the
																											electron
																											image
																											into
																											a
																											video
																											image,
																											and
																											supplies
																											corresponding
																											video
																											signals.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											von
																											der
																											Photokathode
																											ausgehenden
																											Elektronen
																											4
																											werden
																											durch
																											eine
																											Elektronenoptik
																											5
																											auf
																											einen
																											Bildsensor
																											6
																											beschleunigt
																											und
																											fokussiert.
																		
			
				
																						Electrons
																											4
																											emanating
																											from
																											the
																											photocathode
																											are
																											accelerated
																											and
																											focused
																											onto
																											an
																											image
																											sensor
																											6
																											by
																											electron
																											optics
																											5.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											für
																											die
																											Projektion
																											verwendete
																											Kegelstrahl
																											wird
																											von
																											einer
																											nahezu
																											punktförmigen
																											Röntgenquelle
																											(die
																											Spitze
																											des
																											Kegels)
																											und
																											der
																											sensitiven
																											Fläche
																											des
																											Röntgendetektors,
																											welche
																											durch
																											Umschalten
																											der
																											Elektronenoptik
																											verkleinert
																											werden
																											kann,
																											gebildet.
																		
			
				
																						The
																											cone
																											beam
																											used
																											for
																											the
																											projection
																											is
																											formed
																											by
																											a
																											substantially
																											punctiform
																											X-ray
																											source
																											(the
																											apex
																											of
																											the
																											cone)
																											and
																											the
																											sensitive
																											surface
																											area
																											of
																											the
																											X-ray
																											detector
																											which
																											can
																											be
																											reduced
																											by
																											switching
																											over
																											the
																											electron-optical
																											system.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											der
																											Elektronenoptik
																											werden
																											zur
																											Variation
																											der
																											Abbildungsverhältnisse
																											in
																											der
																											Regel
																											Gruppen
																											aus
																											mehreren
																											den
																											Elektronenstrahl
																											beeinflussenden
																											regelbaren
																											Elementen
																											verwendet.
																		
			
				
																						In
																											electron
																											optics,
																											as
																											a
																											rule,
																											groups
																											of
																											several
																											controllable
																											elements,
																											which
																											act
																											on
																											the
																											electron
																											beam,
																											are
																											used
																											to
																											vary
																											the
																											imaging
																											conditions.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Erfindung
																											betrifft
																											einen
																											Bildverstärker
																											mit
																											einem
																											Vakuumgehäuse,
																											einem
																											Eingangsleuchtschirm,
																											einer
																											Elektronenoptik
																											und
																											einem
																											auf
																											der
																											dem
																											Eingangsleuchtschirm
																											gegenüberliegenden
																											Seite
																											des
																											Vakuumgehäuse
																											innerhalb
																											desselben
																											angebrachten
																											Bildsensor.
																		
			
				
																						The
																											present
																											invention
																											is
																											directed
																											to
																											an
																											x-ray
																											image
																											intensifier
																											of
																											the
																											type
																											having
																											an
																											evacuated
																											housing,
																											an
																											input
																											luminescent
																											screen,
																											electron
																											optics,
																											and
																											an
																											image
																											sensor
																											disposed
																											inside
																											the
																											housing
																											at
																											the
																											side
																											of
																											the
																											housing
																											disposed
																											opposite
																											the
																											input
																											luminescent
																											screen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dagegen
																											gehören
																											nicht
																											hierher
																											Elemente
																											der
																											Elektronenoptik,
																											wie
																											z.B.
																											elektrostatische
																											Linsen,
																											elektromagnetische
																											Linsen
																											und
																											sogenannte
																											elektrische
																											Zwischen
																											1
																											insen
																											(im
																											allgemeinen
																											Kapitel
																											85).
																		
			
				
																						The
																											heading
																											does
																											not
																											include,
																											however,
																											electronic
																											"optical"
																											elements,
																											for
																											example,
																											electrostatic
																											lenses,
																											electromagnetic
																											lenses
																											and
																											so-called
																											field
																											lenses
																											(generally
																											Chapter
																											85).
															 
				
		 EUbookshop v2
			
																						Die
																											Erfindung
																											beruht
																											auf
																											dem
																											Grundgedanken,
																											daß
																											die
																											ungleiche
																											Einwirkung
																											der
																											Elektronenoptik
																											auf
																											Mitten-
																											und
																											Außenstrahl
																											durch
																											Einführung
																											komplementärer
																											Unsymmetrien
																											mit
																											Hilfe
																											freier
																											Parameter,
																											also
																											auf
																											kompensatorische
																											Weise,
																											gründlicher
																											beseitigt
																											werden
																											kann,
																											als
																											dies
																											durch
																											Maßnahmen
																											zur
																											Erweiterung
																											und
																											Ergänzung
																											der
																											Symmetrie
																											im
																											Elektrodenaufbau
																											möglich
																											wäre.
																		
			
				
																						The
																											invention
																											is
																											based
																											on
																											the
																											underlying
																											idea
																											that
																											the
																											unequal
																											effect
																											of
																											the
																											electron
																											optics
																											upon
																											the
																											central
																											and
																											the
																											outer
																											beam
																											can
																											be
																											eliminated
																											more
																											throughly
																											than
																											would
																											be
																											otherwise
																											possible
																											by
																											taking
																											measures
																											for
																											enlarging
																											and
																											amending
																											the
																											symmetry
																											in
																											the
																											electrode
																											structure.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dieser
																											Teilchenstrahl
																											kann
																											entweder
																											ein
																											Elekronenstrahl
																											sein,
																											bei
																											dem
																											preisgünstig
																											und
																											auf
																											einfache
																											Weise,
																											z.B.
																											mittels
																											einer
																											Glühkatode
																											und
																											einer
																											einfachen
																											Elektronenoptik
																											hohe
																											Strahlintensitäten
																											und
																											eine
																											gute
																											räumliche
																											Strahldefinition
																											erreicht
																											werden.
																		
			
				
																						This
																											particle
																											beam
																											may
																											be
																											an
																											electron
																											beam
																											in
																											case
																											high
																											ray
																											intensities
																											and
																											good
																											spacial
																											beam
																											definition
																											can
																											be
																											achieved
																											at
																											low
																											cost
																											and
																											in
																											a
																											simple
																											manner,
																											for
																											example
																											by
																											means
																											of
																											a
																											hot
																											cathode
																											and
																											simple
																											electron
																											optics.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											Figur
																											1
																											sind
																											im
																											einzelnen
																											die
																											Elektronenoptik
																											und
																											der
																											Strahlengang
																											eines
																											Elektronenstrahlerzeugers
																											dargestellt,
																											mittels
																											dessen
																											die
																											Erfindung
																											durchgeführt
																											werden
																											kann.
																		
			
				
																						The
																											electron
																											optics
																											system
																											and
																											the
																											beam
																											path
																											of
																											an
																											electron
																											beam
																											generator
																											by
																											means
																											of
																											which
																											the
																											invention
																											can
																											be
																											implemented
																											are
																											shown
																											in
																											detail
																											in
																											FIG.
																											1.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Es
																											wird
																											deshalb
																											vorgeschlagen,
																											das
																											Objekt
																											mit
																											einer
																											linienförmigen
																											Elektronensonde
																											abzutasten
																											und
																											die
																											ausgelösten
																											Sekundärelektronen
																											mit
																											Hilfe
																											einer
																											eine
																											Immersionslinse
																											aufweisenden
																											Elektronenoptik
																											auf
																											einen
																											Detektor
																											abzubilden,
																											wobei
																											jedem
																											Detektorelement
																											ein
																											Linienelement
																											des
																											von
																											der
																											Elektronensonde
																											ausgeleuchteten
																											Oberflächenbereichs
																											zugeordnet
																											ist.
																		
			
				
																						It
																											is
																											therefore
																											proposed
																											that
																											the
																											subject
																											be
																											scanned
																											with
																											a
																											line-shaped
																											electron
																											probe
																											and
																											that
																											the
																											triggered
																											secondary
																											electons
																											be
																											imaged
																											onto
																											a
																											detector
																											with
																											the
																											assistance
																											of
																											an
																											electron
																											optics
																											comprising
																											an
																											immersion
																											lens,
																											whereby
																											one
																											line
																											element
																											of
																											the
																											surface
																											region
																											illuminated
																											by
																											the
																											electron
																											probe
																											is
																											assigned
																											to
																											each
																											detector
																											element.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Heute
																											ist
																											er
																											Professor
																											für
																											Elektronenoptik
																											am
																											Karlsruher
																											Institut
																											für
																											Technologie.
																											Auch
																											bei
																											CEOS
																											ist
																											er
																											weiterhin
																											in
																											beratender
																											Funktion
																											als
																											Senior
																											Advisor
																											tätig.
																		
			
				
																						Today
																											he
																											works
																											as
																											Professor
																											in
																											Electron
																											Optics
																											at
																											Karlsruhe
																											Institute
																											of
																											Technology
																											in
																											Germany,
																											and
																											as
																											a
																											Senior
																											Advisor
																											at
																											CEOS.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1