Translation of "Gaseinlass" in English
																						Der
																											Gasauslass
																											16
																											ist
																											dann
																											entsprechend
																											weiter
																											vom
																											Gaseinlass
																											18
																											entfernt.
																		
			
				
																						The
																											gas
																											outlet
																											16
																											is
																											then
																											correspondingly
																											further
																											away
																											from
																											the
																											gas
																											inlet
																											18.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Bei
																											allen
																											diesen
																											Einrichtungen
																											erfolgt
																											der
																											Gaseinlass
																											über
																											Bohrungen
																											im
																											Gehäuse
																											der
																											Pumpe.
																		
			
				
																						In
																											all
																											of
																											the
																											cases
																											described
																											above,
																											the
																											gas
																											is
																											admitted
																											through
																											bores
																											formed
																											in
																											the
																											pump
																											housing.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											Reaktionsraum
																											hat
																											mindestens
																											einen
																											Gaseinlass
																											und
																											einen
																											mit
																											einer
																											Vakuumpumpe
																											verbundenen
																											Gausauslass.
																		
			
				
																						The
																											reaction
																											chamber
																											has
																											at
																											least
																											one
																											gas
																											inlet
																											and
																											one
																											gas
																											outlet
																											connected
																											to
																											a
																											vacuum
																											pump.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											HAUX-STARVALVE
																											dient
																											zur
																											Steuerung
																											von
																											Gaseinlass
																											in
																											bzw.
																											Gasauslass
																											aus
																											der
																											Druckkammer.
																		
			
				
																						The
																											HAUX-STARVALVE
																											is
																											used
																											for
																											controlling
																											the
																											gas
																											inlet
																											and
																											outlet
																											of
																											pressure
																											chambers.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Flüssigkeits-
																											und
																											Gaseinlass
																											können
																											auch
																											durch
																											eine
																											einzelne
																											Zuführung
																											realisiert
																											sein.
																		
			
				
																						Liquid,
																											and
																											gas,
																											inlet
																											can
																											also
																											be
																											implemented
																											by
																											a
																											single
																											supply
																											line.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											Gaseinlass
																											in
																											die
																											Düse
																											ist
																											somit
																											definiert
																											begrenzt.
																		
			
				
																						The
																											gas
																											inlet
																											into
																											the
																											nozzle
																											is
																											thus
																											clearly
																											defined.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											Hitzeschild
																											2
																											ist
																											mit
																											einem
																											Gaseinlass
																											9
																											für
																											Wasserdampf
																											verbunden.
																		
			
				
																						The
																											heat
																											shield
																											2
																											is
																											connected
																											to
																											a
																											gas
																											inlet
																											9
																											for
																											water
																											vapor.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Ein
																											Ventil
																											am
																											Gaseinlass
																											wird
																											nicht
																											benötigt.
																		
			
				
																						No
																											valve
																											will
																											be
																											required
																											at
																											the
																											gas
																											inlet.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											der
																											seitlichen
																											Wandung
																											des
																											Behälters
																											sind
																											Gaseinlass
																											31
																											und
																											Gasauslass
																											32
																											integriert.
																		
			
				
																						Gas
																											inlet
																											31
																											and
																											gas
																											outlet
																											32
																											are
																											integrated
																											in
																											the
																											side
																											wall
																											of
																											the
																											container.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Auch
																											der
																											Gaseinlass
																											kann
																											in
																											Form
																											einer
																											Luerverbindung
																											ausgebildet
																											sein.
																		
			
				
																						Likewise,
																											the
																											gas
																											inlet
																											can
																											be
																											designed
																											in
																											the
																											form
																											of
																											a
																											Luer
																											connection.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Jede
																											Seitenfläche
																											eines
																											Plasmamoduls
																											1
																											kann
																											einen
																											Gaseinlass
																											17
																											oder
																											Gasauslass
																											19
																											tragen.
																		
			
				
																						Each
																											side
																											area
																											of
																											plasma
																											module
																											1
																											can
																											carry
																											a
																											gas
																											inlet
																											17
																											or
																											a
																											gas
																											outlet
																											19
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Durch
																											einen
																											Gaseinlass
																											7a
																											wird
																											Gas
																											in
																											den
																											Plasmaquellenhohlkörper
																											1
																											eingelassen.
																		
			
				
																						Gas
																											is
																											introduced
																											into
																											the
																											plasma
																											source
																											hollow
																											body
																											1
																											via
																											a
																											gas
																											inlet
																											7
																											a
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Durch
																											den
																											Gaseinlass
																											13
																											wird
																											das
																											Gas
																											26
																											zugeführt.
																		
			
				
																						Through
																											the
																											gas
																											inlet
																											13
																											the
																											gas
																											26
																											is
																											supplied.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Beim
																											zweiten
																											Membranfilter
																											36
																											weist
																											das
																											Fußelement
																											39
																											den
																											Gaseinlass
																											46
																											auf.
																		
			
				
																						In
																											the
																											second
																											membrane
																											filter
																											36
																											the
																											base
																											element
																											39
																											includes
																											the
																											gas
																											inlet
																											46
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											Gaseinlass
																											46
																											schließt
																											direkt
																											seitlich
																											an
																											die
																											Wanne
																											63
																											an.
																		
			
				
																						The
																											gas
																											inlet
																											46
																											adjoins
																											laterally
																											directly
																											at
																											the
																											tub
																											63
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Ein
																											Gaseinlass
																											17
																											ist
																											mit
																											einer
																											externen
																											Gasversorgung
																											40
																											verbunden.
																		
			
				
																						Gas
																											inlet
																											17
																											is
																											connected
																											to
																											external
																											gas
																											supply
																											40
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Gunstigerweise
																											ist
																											dabei
																											zwischen
																											dem
																											Gaseinlass
																											und
																											der
																											Arbeitselektrode
																											eine
																											Schutzmembran
																											ausgebildet.
																		
			
				
																						A
																											protective
																											membrane
																											is
																											favorably
																											formed
																											between
																											the
																											gas
																											inlet
																											and
																											the
																											working
																											electrode.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dies
																											erfolgt
																											dann
																											über
																											ein
																											Gaseinlass
																											für
																											mindestens
																											ein
																											Ätzgas.
																		
			
				
																						This
																											is
																											then
																											effected
																											via
																											a
																											gas
																											inlet
																											for
																											at
																											least
																											one
																											etching
																											gas.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											dem
																											Gehäuse
																											sind
																											eine
																											Flüssigkeitsdüse
																											und
																											wenigstens
																											ein
																											Gaseinlass
																											angeordnet.
																		
			
				
																						A
																											liquid
																											nozzle
																											and
																											at
																											least
																											one
																											gas
																											inlet
																											are
																											arranged
																											in
																											the
																											housing.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Den
																											Gaseinlass
																											wird
																											man
																											vorzugsweise
																											im
																											Bereich
																											des
																											grössten
																											Durchmessers
																											des
																											Doppelkegels
																											vornehmen.
																		
			
				
																						The
																											gas
																											inlet
																											will
																											preferably
																											be
																											arranged
																											in
																											the
																											region
																											of
																											the
																											largest
																											diameter
																											of
																											the
																											double
																											cone.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											oben
																											beschriebene
																											"tangentiale
																											Gaseinlass"
																											hat
																											sich
																											bewährt.
																		
			
				
																						The
																											“tangential
																											gas
																											inlet”
																											described
																											above
																											has
																											proven
																											successful.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Verbindungsleitung
																											kann
																											einen
																											Gaseinlass
																											aufweisen.
																		
			
				
																						The
																											connection
																											line
																											can
																											have
																											a
																											gas
																											inlet.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Sie
																											können
																											vor
																											einem
																											Gaseinlass
																											des
																											entsprechenden
																											Gerätes
																											angeordnet
																											sein.
																		
			
				
																						They
																											can
																											be
																											disposed
																											before
																											a
																											gas
																											inlet
																											of
																											the
																											corresponding
																											unit.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Kartusche
																											ist
																											mit
																											dem
																											Gaseinlass
																											der
																											Gaszelle
																											verbunden.
																		
			
				
																						The
																											cartridge
																											is
																											connected
																											with
																											a
																											gas
																											inlet
																											of
																											the
																											gas
																											cell.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Für
																											sich
																											ändernde
																											Drücke
																											bietet
																											sich
																											optional
																											ein
																											druckgeregelter
																											Gaseinlass
																											an.
																		
			
				
																						A
																											pressure-regulated
																											gas
																											inlet
																											is
																											optionally
																											available
																											for
																											changing
																											pressures.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Das
																											Gemisch
																											wird
																											durch
																											den
																											Gaseinlass
																											5
																											gefördert
																											und
																											durch
																											den
																											Gasauslass
																											6
																											abgezogen.
																		
			
				
																						The
																											mixture
																											is
																											supplied
																											through
																											a
																											gas
																											inlet
																											5,
																											and
																											is
																											exhausted
																											through
																											a
																											gas
																											outlet
																											6.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Ein
																											zusätzlicher
																											Gaseinlass
																											10
																											in
																											Form
																											eines
																											Langloches
																											ist
																											am
																											Umfang
																											des
																											Gehäuses
																											angebracht.
																		
			
				
																						In
																											the
																											circumference
																											of
																											the
																											housing,
																											there
																											is
																											provided
																											an
																											additional
																											gas
																											inlet
																											10
																											formed
																											as
																											an
																											elongate
																											opening.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Ebenso
																											ist
																											der
																											Schutzgasraum
																											10
																											im
																											oberen
																											Bereich
																											mit
																											einem
																											Gaseinlass
																											23
																											für
																											reinen
																											Wasserstoff
																											versehen.
																		
			
				
																						Likewise,
																											the
																											protective
																											gas
																											chamber
																											10
																											is
																											provided
																											in
																											the
																											upper
																											region
																											with
																											a
																											gas
																											inlet
																											23
																											for
																											pure
																											hydrogen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Zusätzliches
																											Chlorgas
																											wurde
																											dem
																											gebildeten
																											Chlortrifluorid
																											über
																											den
																											Massenregler
																											23
																											in
																											den
																											Gaseinlass
																											20
																											zugeführt.
																		
			
				
																						Additional
																											chlorine
																											gas
																											was
																											fed
																											to
																											the
																											formed
																											chlorine
																											trifluoride
																											into
																											gas
																											inlet
																											20
																											via
																											mass
																											flow
																											regulator
																											23
																											.
															 
				
		 EuroPat v2