Translation of "Prismenauflage" in English
Insbesondere
bei
Einsatz
der
erfindungsgemäßen
Meßanordnung
im
Zusammenhang
mit
der
Kontrolle
bzw.
Messung
von
Schichtdicken
an
Waferoberflächen
sollten
Piezo-Translatoren
mit
einem
Hub
von
200
µm
vorgesehen
sein,
während
die
gestellfeste
Lagerstelle
als
Prismenauflage
ausgebildet
sein
kann,
wobei
der
Abstand
zwischen
den
Auflagepositionen
auf
dem
Kreisumfang
vorteilhaft
etwa
120
mm
beträgt.
In
particular
when
the
measurement
arrangement
according
to
the
present
invention
is
used
in
conjunction
with
the
inspection
or
measurement
of
layer
thicknesses
on
wafer
surfaces,
piezo-translators
having
a
stroke
length
of
200
?m
should
be
provided,
while
the
frame-mounted
bearing
point
can
be
configured
as
a
prism
support,
the
distance
between
the
support
positions
on
the
circular
circumference
advantageously
being
approximately
120
mm.
EuroPat v2
Ein
auf
einer
Prismenauflage
2
vorgelegter
Druckzylinder
Z,
im
dargestellten
Beispiel
ein
Hohlzylinder
soll
in
seinen
Abmessungen
automatisch
bestimmt
werden,
was
nachfolgend
mit
Bezug
auf
die
Fig.
The
dimensions
of
a
printing
cylinder
Z,
in
the
example
shown
a
hollow
cylinder,
presented
on
a
V-block
support
2
are
to
be
automatically
determined,
and
this
is
explained
below
with
reference
to
FIGS.
EuroPat v2
Der
verfahrbare
Teil
10
der
Krananlage
1
mit
Quertrasse
3
wird
in
die
Position
der
Prismenauflage
2
bewegt,
und
die
Klemmbacken
K1,
K2
befinden
sich
in
ihrer
äußeren
Endposition.
The
displaceable
part
10
of
the
crane
installation
1
having
crossbeam
3
is
moved
into
the
position
of
the
V-block
support
2
and
the
clamping
jaws
K1,
K2
are
situated
in
their
outer
end
position.
EuroPat v2
Im
Stand
der
Technik
vorgeschlagene
Lösungen
mit
Prismenauflage
oder
einer
flachen
Anlagefläche
in
Form
einer
Gegenplatte
sind
deshalb
für
das
Bruchergebnis
äußerst
nachteilig.
Solutions
proposed
in
the
prior
art,
comprising
a
V-block
or
a
flat
contact
surface
in
the
form
of
a
counter-plate,
are
therefore
extremely
detrimental
to
the
crushing
result.
EuroPat v2