Translation of "Reaktionsgas" in English
																						Das
																											Reaktionsgas
																											in
																											der
																											Apparatur
																											wird
																											durch
																											ein
																											Umwälzpumpe
																											im
																											Kreis
																											geführt.
																		
			
				
																						The
																											reaction
																											gas
																											in
																											the
																											apparatus
																											is
																											cycled
																											via
																											a
																											circulating
																											pump.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Bei
																											diesem
																											Verfahren
																											werden
																											jedoch
																											Reaktionswasser
																											und
																											Reaktionsgas
																											getrennt
																											vorgeheizt
																											bzw.
																											verdampft.
																		
			
				
																						However,
																											in
																											this
																											process,
																											the
																											reaction
																											water
																											and
																											reaction
																											gas
																											were
																											separately
																											preheated
																											and
																											evaporated.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Energiezufuhr
																											erfolgt
																											mittels
																											eines
																											Plasmabrenners,
																											welcher
																											das
																											Reaktionsgas
																											erhitzt.
																		
			
				
																						The
																											energy
																											supply
																											is
																											effected
																											by
																											means
																											of
																											a
																											plasma
																											burner
																											heating
																											the
																											reaction
																											gas.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Reaktionsgas
																											in
																											der
																											Apparatur
																											wird
																											durch
																											eine
																											Umwälzpumpe
																											im
																											Kreis
																											geführt.
																		
			
				
																						The
																											reaction
																											gas
																											in
																											the
																											apparatus
																											is
																											cycled
																											via
																											a
																											circulating
																											pump.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Als
																											Fluidisiergas
																											dient
																											Kohlendioxid,
																											welches
																											gleichzeitig
																											das
																											Reaktionsgas
																											darstellt.
																		
			
				
																						The
																											fluidizing
																											gas
																											used
																											is
																											carbon
																											dioxide,
																											which
																											is
																											at
																											the
																											same
																											time
																											the
																											reaction
																											gas.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Reaktionsgas
																											wird
																											im
																											Kreis
																											gefahren.
																		
			
				
																						The
																											reaction
																											gas
																											is
																											circulated.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Reaktionsgas
																											kann
																											auch
																											zusätzlich
																											mit
																											Wasserstoff
																											und/oder
																											Edelgasen
																											verdünntwerden.
																		
			
				
																						The
																											reaction
																											gas
																											can
																											also
																											be
																											diluted
																											with
																											hydrogen
																											and/or
																											inert
																											gases.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Bei
																											diesem
																											Verfahren
																											werden
																											jedoch
																											Raktionswasser
																											und
																											Reaktionsgas
																											getrennt
																											vorgeheizt
																											bzw.
																											verdampft.
																		
			
				
																						However,
																											in
																											this
																											process,
																											the
																											reaction
																											water
																											and
																											reaction
																											gas
																											were
																											separately
																											preheated
																											and
																											evaporated.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Entstehendes
																											Reaktionsgas
																											wurde
																											kontinuierlich
																											bis
																											zu
																											einem
																											Druck
																											von
																											ca.
																											40
																											bar
																											abgelassen.
																		
			
				
																						Reaction
																											gas
																											formed
																											was
																											continuously
																											let
																											off
																											to
																											maintain
																											a
																											pressure
																											of
																											about
																											40
																											bar.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Entstehendes
																											Reaktionsgas
																											wurde
																											kontinuierlich
																											bis
																											zu
																											einem
																											Druck
																											von
																											ca.
																											40
																											bar
																											abgenommen.
																		
			
				
																						Reaction
																											gas
																											formed
																											was
																											continuously
																											removed
																											to
																											maintain
																											a
																											pressure
																											of
																											about
																											40
																											bar.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Reaktionsgas
																											wurde
																											durch
																											KI-Lösung
																											geleitet.
																		
			
				
																						The
																											reaction
																											gas
																											was
																											passed
																											through
																											KI
																											solution.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Reaktionsgas
																											bei
																											der
																											erfindungsgemäßen
																											Reaktion
																											ist
																											bevorzugt
																											Wasserstoff.
																		
			
				
																						The
																											reaction
																											gas
																											in
																											the
																											reaction
																											according
																											to
																											the
																											invention
																											is
																											preferably
																											hydrogen.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Reaktionsgas
																											kann
																											auch
																											mit
																											einem
																											inerten
																											Trägergas,
																											insbesondere
																											Argon
																											verdünnt
																											werden.
																		
			
				
																						The
																											reaction
																											gas
																											may
																											also
																											be
																											rarefied
																											by
																											means
																											of
																											an
																											inert
																											carrier
																											gas,
																											particularly
																											argon.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Reaktionsgas
																											wurde
																											am
																											unteren
																											Ende
																											des
																											Reaktors
																											abgezogen.
																		
			
				
																						The
																											reaction
																											gas
																											was
																											drawn
																											off
																											at
																											the
																											lower
																											end
																											of
																											the
																											reactor.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Alternativ
																											können
																											als
																											Reaktionsgas
																											für
																											das
																											PECVD-Verfahren
																											Silazane
																											verwendet
																											werden.
																		
			
				
																						Alternatively
																											silazane
																											can
																											be
																											used
																											as
																											the
																											reaction
																											gas
																											for
																											the
																											PECVD
																											process.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Reaktionswasser
																											wird
																											aus
																											dem
																											Reaktionsgas
																											nach
																											dem
																											Stand
																											der
																											Technik
																											entfernt.
																		
			
				
																						The
																											reaction
																											water
																											is
																											removed
																											from
																											the
																											reaction
																											gas
																											in
																											accordance
																											with
																											the
																											prior
																											art.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Als
																											Reaktionsgas
																											muß
																											bei
																											diesem
																											Verfahren
																											Ammoniak
																											eingesetzt
																											werden.
																		
			
				
																						Ammonia
																											must
																											be
																											used
																											as
																											reaction
																											gas
																											in
																											this
																											process.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Reaktionsgas
																											enthielt
																											24.8
																											Nl/h
																											Wasserdampf.
																		
			
				
																						The
																											reaction
																											gas
																											contained
																											24.8
																											standard
																											1/h
																											of
																											steam.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Als
																											Reaktionsgas
																											hat
																											sich
																											Sauerstoff
																											oder
																											ein
																											sauerstoffhaltiges
																											Gemisch
																											bewahrt.
																		
			
				
																						Oxygen
																											or
																											an
																											oxygen-containing
																											mixture
																											has
																											proven
																											to
																											be
																											a
																											suitable
																											reaction
																											gas.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Aus
																											dem
																											Reaktionsgas
																											10
																											wird
																											in
																											der
																											Kammer
																											13
																											ein
																											Plasma
																											12
																											erzeugt.
																		
			
				
																						A
																											plasma
																											12
																											is
																											produced
																											from
																											the
																											reaction
																											gas
																											10
																											in
																											a
																											chamber
																											13
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Im
																											Reaktionsraum
																											mündet
																											ein
																											Gaseinlaß
																											für
																											die
																											Zuführung
																											von
																											Reaktionsgas.
																		
			
				
																						A
																											gas
																											inlet
																											for
																											feeding
																											the
																											reaction
																											gas
																											ends
																											in
																											the
																											reaction
																											space.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											die
																											Plasmazone
																											wird
																											durch
																											den
																											Gaseinlaß
																											20
																											das
																											Reaktionsgas
																											zugeführt.
																		
			
				
																						The
																											reaction
																											gas
																											is
																											fed
																											into
																											the
																											plasma
																											zone
																											by
																											gas
																											inlet
																											20.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Reaktionsgas
																											wird
																											in
																											einem
																											Kühler
																											kondensiert
																											und
																											anschließend
																											destilliert.
																		
			
				
																						The
																											reaction
																											gas
																											is
																											condensed
																											in
																											a
																											condenser
																											and
																											then
																											distilled.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Reaktionsgas
																											wird
																											bei
																											-78°C
																											kondensiert
																											und
																											langsam
																											auf
																											Raumtemperatur
																											gebracht.
																		
			
				
																						The
																											reaction
																											gas
																											is
																											condensed
																											at
																											-78°
																											C.
																											and
																											slowly
																											brought
																											to
																											room
																											temperature.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dabei
																											ist
																											es
																											günstig,
																											daß
																											das
																											Reaktionsgas
																											einen
																											Bestandteil
																											an
																											Fluor
																											aufweist.
																		
			
				
																						It
																											is
																											favorable
																											in
																											this
																											case
																											that
																											the
																											reaction
																											gas
																											has
																											a
																											fluorine
																											component.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											einer
																											bevorzugten
																											Ausführungsform
																											wird
																											das
																											Reaktionsgas
																											im
																											Kreis
																											geführt.
																		
			
				
																						In
																											a
																											preferred
																											embodiment,
																											the
																											reaction
																											gas
																											is
																											recycled.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Durch
																											die
																											Gaszuführung
																											5
																											wird
																											das
																											zur
																											Schichtbildung
																											benötigte
																											Reaktionsgas
																											eingeleitet.
																		
			
				
																						The
																											reaction
																											gas
																											needed
																											for
																											layer
																											formation
																											is
																											introduced
																											via
																											the
																											gas
																											feed
																											5.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Durch
																											das
																											Reaktionsgas
																											wurden
																											stündlich
																											16
																											g
																											eines
																											Phenol/Wasser-Gemisches
																											ausgetragen.
																		
			
				
																						16
																											g/h
																											of
																											a
																											phenol/water
																											mixture
																											were
																											carried
																											out
																											by
																											the
																											reaction
																											gas.
															 
				
		 EuroPat v2