Translation of "Rohrverschluss" in English
																						Rohrverschluss
																											gemäss
																											dem
																											Anspruch
																											1,
																											dadurch
																											gekennzeichnet,
																											dass
																											das
																											Polymere
																											ausgewählt
																											ist
																											aus
																											der
																											Gruppe
																											Homopolyamide,
																											Copolyamide,
																											Polyamidblends
																											mit
																											thermoplastischen
																											Polymeren,
																											wobei
																											PA6,
																											PA66,
																											PA11,
																											PA12
																											bevorzugt
																											sind.
																		
			
				
																						A
																											connector
																											as
																											defined
																											in
																											claim
																											1,
																											wherein
																											the
																											polymers
																											of
																											the
																											connector
																											parts
																											are
																											selected
																											from
																											the
																											group
																											including
																											homopolyamides,
																											copolyamides
																											and
																											polyamide
																											blends
																											with
																											thermoplastic
																											polymers.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Rohrverschluss
																											gemäss
																											den
																											Ansprüchen
																											1
																											bis
																											3,
																											dadurch
																											gekennzeichnet,
																											dass
																											das
																											Polymere
																											verstärkende
																											Füllstoffe
																											aus
																											der
																											Gruppe
																											Glasfasern,
																											Kohlenstofffasern,
																											polymere
																											Verstärkungsfasern,
																											Whiskers
																											und
																											Mineralfasern
																											enthält.
																		
			
				
																						A
																											connector
																											as
																											defined
																											in
																											claim
																											1,
																											wherein
																											the
																											polymers
																											of
																											the
																											connector
																											parts
																											contain
																											reinforcing
																											fillers
																											from
																											the
																											group
																											including
																											glass
																											fibers,
																											carbon
																											fibers,
																											polymer
																											reinforcing
																											fibers,
																											whiskers
																											and
																											mineral
																											fibers.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Um
																											die
																											Verbindung
																											zwischen
																											dem
																											ersten
																											Ende
																											des
																											Stützelements
																											5
																											und
																											dem
																											zweiten
																											Ende
																											des
																											Stützelements
																											5
																											innerhalb
																											des
																											Rohrkörpers
																											zu
																											unterbrechen
																											und
																											damit
																											das
																											Lösungsmittel
																											7
																											zwangsläufig
																											in
																											dem
																											Hohlraum
																											2
																											zu
																											verteilen,
																											ist
																											wenigstens
																											ein
																											Rohrverschluss
																											10
																											in
																											dem
																											rohrförmigen
																											Stützelement
																											5
																											vorgesehen.
																		
			
				
																						In
																											order
																											to
																											interrupt
																											the
																											connection
																											between
																											the
																											first
																											end
																											of
																											the
																											supporting
																											element
																											5
																											and
																											the
																											second
																											end
																											of
																											the
																											supporting
																											element
																											5
																											within
																											the
																											tube
																											body
																											and
																											hence
																											to
																											distribute
																											the
																											solvent
																											7
																											in
																											the
																											cavity
																											2
																											by
																											necessity,
																											at
																											least
																											one
																											tube
																											closure
																											10
																											is
																											provided
																											in
																											the
																											tubular
																											supporting
																											element
																											5
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											Rohrbefestigungsdübel
																											13
																											ist
																											vorzugsweise
																											nicht
																											durchgängig,
																											so
																											dass
																											gleichzeitig
																											ein
																											Rohrverschluss
																											10
																											gebildet
																											wird,
																											der
																											verhindert,
																											dass
																											Flüssigkeit
																											durch
																											das
																											Rohr
																											12
																											fließt.
																		
			
				
																						The
																											tube
																											fastening
																											stud
																											13
																											is
																											preferably
																											not
																											continuous,
																											so
																											that
																											a
																											tube
																											closure
																											10
																											is
																											formed
																											at
																											the
																											same
																											time
																											which
																											prevents
																											the
																											liquid
																											from
																											flowing
																											through
																											the
																											tube
																											12
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											fatalen
																											Folgen
																											sind
																											Korrosion
																											von
																											Bestandteilen
																											der
																											Vorrichtung
																											aus
																											Metall,
																											wie
																											z.B.
																											der
																											Rohrverschluss
																											und
																											die
																											nachfolgende
																											Verunreinigung
																											des
																											Prozessrohres
																											mit
																											den
																											Korrosionsprodukten
																											und
																											die
																											Verunreinigung
																											der
																											Produkte,
																											die
																											in
																											der
																											Vorrichtung
																											bearbeitet
																											werden,
																											beispielsweise
																											durch
																											Eisenkontamination
																											von
																											Silizium.
																		
			
				
																						The
																											fatal
																											consequences
																											are
																											corrosion
																											of
																											the
																											metallic
																											components
																											of
																											the
																											device,
																											such
																											as
																											the
																											tube
																											closure,
																											and
																											the
																											subsequent
																											contamination
																											of
																											the
																											process
																											tube
																											with
																											the
																											corrosion
																											products
																											and
																											the
																											contamination
																											of
																											the
																											products,
																											which
																											are
																											processed
																											in
																											the
																											device,
																											for
																											example
																											due
																											to
																											the
																											iron
																											contamination
																											in
																											silicon.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											Rohrverschluss
																											selbst
																											ist
																											zweistufig
																											ausgeführt
																											und
																											besteht
																											aus
																											einer
																											Tür
																											5
																											aus
																											Metall
																											zur
																											Sicherung
																											der
																											Vakuumdichtheit,
																											an
																											der
																											ein
																											"versenkter"
																											Stopfen
																											aus
																											Quarz
																											(Quarzstopfen
																											6)
																											angebracht
																											ist
																											(Fig.
																											2
																											-
																											4).
																		
			
				
																						The
																											tube
																											closure
																											itself
																											is
																											designed
																											in
																											two
																											steps
																											and
																											comprises
																											a
																											door
																											5
																											made
																											of
																											metal
																											for
																											the
																											purpose
																											of
																											ensuring
																											the
																											vacuum
																											tightness.
																											Attached
																											to
																											this
																											door
																											is
																											a
																											“sunk”
																											stopper
																											made
																											of
																											quartz
																											(quartz
																											stopper
																											6)
																											(FIGS.
																											2-4).
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											notwendige
																											Prozessgasauslass
																											12
																											aus
																											dem
																											Prozessraum
																											1
																											in
																											Form
																											eines
																											Ansaugstutzens
																											befindet
																											sich
																											in
																											der
																											Mitte
																											des
																											Prozessrohres
																											3
																											auf
																											der
																											dem
																											Rohrverschluss
																											2
																											gegenüber
																											liegenden
																											Seite
																											und
																											ist
																											mit
																											einem
																											Kugelschliff
																											17
																											versehen
																											und
																											entweder
																											nach
																											unten
																											geneigt,
																											z.B.
																											5°,
																											oder
																											horizontal
																											ausgerichtet
																											(Fig.
																											1,
																											7).
																		
			
				
																						The
																											necessary
																											process
																											gas
																											outlet
																											12
																											from
																											the
																											process
																											chamber
																											1
																											in
																											the
																											form
																											of
																											an
																											intake
																											manifold
																											is
																											located
																											in
																											the
																											middle
																											of
																											the
																											process
																											tube
																											3
																											on
																											the
																											side
																											opposite
																											the
																											tube
																											closure
																											2
																											and
																											is
																											provided
																											with
																											a
																											spherically
																											ground
																											joint
																											17
																											and
																											is
																											either
																											sloped
																											downwardly,
																											for
																											example,
																											5
																											degrees
																											or
																											configured
																											horizontally
																											(FIGS.
																											1,
																											7).
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Erfindung
																											betrifft
																											eine
																											Vorrichtung
																											zur
																											Dotierung,
																											Beschichtung
																											oder
																											Oxidation
																											von
																											Halbleitermaterial
																											bei
																											niedrigem
																											Druck
																											in
																											einem
																											Prozessrohr,
																											das
																											mit
																											einem
																											Rohrverschluss
																											sowie
																											Einrichtungen
																											zur
																											Zu-
																											und
																											Ableitung
																											von
																											Prozessgasen
																											und
																											zur
																											Erzeugung
																											eines
																											Unterdruckes
																											im
																											Prozessrohr
																											versehen
																											ist.
																		
			
				
																						The
																											invention
																											relates
																											to
																											a
																											device
																											for
																											doping,
																											deposition
																											or
																											oxidation
																											of
																											semiconductor
																											material
																											at
																											low
																											pressure
																											in
																											a
																											process
																											tube,
																											which
																											is
																											provided
																											with
																											a
																											tube
																											closure
																											as
																											well
																											as
																											with
																											devices
																											for
																											supplying
																											and
																											discharging
																											process
																											gases
																											and
																											for
																											generating
																											a
																											negative
																											pressure
																											in
																											the
																											process
																											tube.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											einer
																											weiteren
																											Ausgestaltung
																											der
																											Erfindung
																											ist
																											der
																											Prozessgasauslass
																											zur
																											Ableitung
																											der
																											Prozessgase
																											an
																											der
																											dem
																											Rohrverschluss
																											gegenüber
																											liegenden
																											Ende
																											des
																											Prozessrohres
																											angeordnet.
																		
			
				
																						In
																											another
																											embodiment
																											of
																											the
																											invention
																											the
																											process
																											gas
																											outlet
																											for
																											carrying
																											away
																											the
																											process
																											gases
																											is
																											disposed
																											on
																											the
																											end
																											of
																											the
																											process
																											tube
																											that
																											lies
																											opposite
																											the
																											tube
																											closure.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Quarzrohr
																											eines
																											bekannten
																											Hochdruckoxidationsofens
																											ist
																											mit
																											einem
																											Rohrverschluß
																											aus
																											Stahl
																											versehen.
																		
			
				
																						The
																											quartz
																											tube
																											of
																											a
																											known
																											high
																											pressure
																											oxidation
																											furnace
																											is
																											provided
																											with
																											a
																											tube
																											closing
																											plug
																											of
																											steel.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Beim
																											Einsetzen
																											der
																											Austragpumpe
																											wird
																											dadurch
																											der
																											Rohrverschluß
																											von
																											selbst
																											freigebrochen
																											und
																											somit
																											geöffnet.
																		
			
				
																						On
																											inserting
																											the
																											discharge
																											pump
																											the
																											tube
																											closure
																											is
																											thereby
																											automatically
																											broken
																											free
																											and
																											therefore
																											opened.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											Rohrverschluß
																											dient
																											dazu,
																											das
																											Quarzrohr
																											möglichst
																											dicht
																											zu
																											verschließen,
																											um
																											unter
																											anderem
																											zu
																											verhindern,
																											daß
																											Verunreinigungen
																											aus
																											der
																											Umgebung,
																											die
																											unter
																											höherem
																											Druck
																											steht,
																											ins
																											Rohrinnere
																											eindringen.
																		
			
				
																						The
																											tube
																											closing
																											plug
																											serves
																											the
																											purpose
																											of
																											closing
																											the
																											quartz
																											tube
																											as
																											tightly
																											as
																											possible,
																											in
																											order,
																											among
																											other
																											things,
																											to
																											prevent
																											the
																											penetration
																											of
																											impurities
																											from
																											the
																											surrounding
																											environment
																											into
																											the
																											interior
																											of
																											the
																											tube,
																											which
																											environment
																											is
																											under
																											higher
																											pressure.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Wenn
																											mit
																											Wasser
																											gekühlt
																											wird,
																											und
																											der
																											Rohrverschluß
																											aus
																											Stahl
																											-
																											einem
																											guten
																											Wärmeleiter
																											-
																											besteht,
																											läßt
																											sich
																											nicht
																											verhindern,
																											daß
																											die
																											Kühlung
																											nicht
																											nur
																											auf
																											die
																											unmittelbare
																											Nähe
																											der
																											Dichtungsringe
																											begrenzt
																											bleibt.
																		
			
				
																						If
																											cooling
																											is
																											accomplished
																											with
																											water,
																											and
																											the
																											tube
																											closing
																											plug
																											consists
																											of
																											steel--a
																											good
																											heat
																											conductor--it
																											cannot
																											be
																											prevented
																											that
																											the
																											cooling
																											remains
																											limited
																											only
																											to
																											the
																											direct
																											vicinity
																											of
																											the
																											sealing
																											rings.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Es
																											läßt
																											sich
																											auch
																											nicht
																											vermeiden,
																											daß
																											die
																											sich
																											am
																											Rohrverschluß
																											bildenden
																											Wassertropfen
																											ein
																											Teil
																											des
																											Eisenoxids
																											aufnehmen,
																											es
																											in
																											das
																											Rohr
																											transportieren
																											und
																											hier
																											zur
																											Verschmutzung
																											führen.
																		
			
				
																						It
																											can
																											also
																											not
																											be
																											avoided
																											that
																											water
																											drops
																											which
																											form
																											on
																											the
																											tube
																											closing
																											plug
																											take
																											up
																											a
																											part
																											of
																											the
																											iron
																											oxide,
																											transport
																											it
																											into
																											the
																											tube,
																											and
																											there
																											lead
																											to
																											contamination.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dadurch
																											ergibt
																											sich
																											eine
																											einfache
																											Fertigung
																											der
																											Patrone,
																											da
																											das
																											den
																											Treibsatz
																											bildende
																											Pulver
																											lediglich
																											bei
																											aufgestecktem
																											Rohr
																											in
																											die
																											Patronenhülse
																											eingefüllt
																											zu
																											werden
																											braucht
																											und
																											der
																											vordere
																											Rohrverschluß
																											verhindert,
																											daß
																											das
																											Treibsatzpulver
																											in
																											das
																											Rohr
																											gelangt.
																		
			
				
																						This
																											arrangement
																											facilitates
																											the
																											manufacture
																											of
																											the
																											cartridge
																											since
																											the
																											powder
																											constituting
																											the
																											propellant
																											charge
																											needs
																											only
																											to
																											be
																											filled
																											in
																											after
																											the
																											closed
																											tube
																											is
																											in
																											place.
																											Furthermore,
																											since
																											the
																											forward
																											end
																											of
																											the
																											tube
																											in
																											proximity
																											to
																											the
																											projectile
																											is
																											closed,
																											this
																											prevents
																											propellant
																											charge
																											from
																											spilling
																											into
																											the
																											tube.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dies
																											wird
																											durch
																											einen
																											Rohrverschluß
																											22
																											erreicht,
																											der
																											in
																											dem
																											Steigrohr
																											6
																											innerhalb
																											der
																											Zumischkammer
																											5
																											und
																											zwar
																											relativ
																											nahe
																											benachbart
																											zum
																											zugehörigen
																											Ende
																											des
																											Steigrohres
																											6
																											vorgesehen
																											ist.
																		
			
				
																						This
																											is
																											achieved
																											by
																											a
																											tube
																											closure
																											22,
																											which
																											is
																											provided
																											in
																											riser
																											tube
																											5
																											within
																											admixing
																											chamber
																											5
																											and
																											is
																											positioned
																											relatively
																											close
																											to
																											the
																											associated
																											end
																											of
																											riser
																											tube
																											6.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											Rohrverschluß
																											22
																											liegt
																											innerhalb
																											eines
																											für
																											die
																											Steckverbindung
																											mit
																											einem
																											Ansaugstutzen
																											27
																											der
																											Austragpumpe
																											3
																											vorgesehenen
																											Anschlusses
																											25,
																											der
																											durch
																											das
																											als
																											Steck-Außenhülse
																											26
																											ausgebildete
																											zugehörige
																											Ende
																											des
																											Steigrohres
																											6
																											gebildet
																											ist.
																		
			
				
																						The
																											tube
																											closure
																											22
																											is
																											located
																											within
																											a
																											connection
																											25
																											provided
																											for
																											the
																											plug
																											connection
																											with
																											a
																											suction
																											connection
																											27
																											of
																											discharge
																											pump
																											3
																											and
																											which
																											is
																											formed
																											by
																											the
																											associated
																											end
																											of
																											riser
																											tube
																											6
																											constructed
																											as
																											an
																											outer
																											socket
																											26.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											äußere
																											Endabschnitt
																											dieser
																											Außenhülse
																											26
																											weist
																											eine
																											gegenüber
																											dem
																											übrigen
																											Steigrohr
																											6
																											sowie
																											gegenüber
																											dem
																											Außenumfang
																											des
																											Ansaugstutzens
																											27
																											geringfügig
																											größere
																											Innenweite
																											auf,
																											wobei
																											dieser
																											Abschnitt
																											über
																											einen
																											spitzwinklig
																											kegelstumpfförmig
																											verjüngten
																											Zwischenabschnitt
																											28
																											in
																											den
																											anschließenden,
																											engeren
																											Innenkanal
																											24
																											übergeht
																											und
																											der
																											Rohrverschluß
																											22
																											am
																											Übergang
																											zwischen
																											dem
																											Zwischenabschnitt
																											28
																											und
																											dem
																											übrigen
																											Innenkanal
																											24
																											liegt.
																		
			
				
																						The
																											outer
																											end
																											portion
																											of
																											said
																											outer
																											socket
																											26
																											has
																											a
																											slightly
																											larger
																											inside
																											diameter
																											than
																											the
																											remaining
																											riser
																											tube
																											6
																											and
																											with
																											respect
																											to
																											the
																											outer
																											circumference
																											of
																											suction
																											connection
																											27.
																											This
																											portion
																											passes
																											via
																											an
																											acute-angled,
																											frustum-shaped,
																											tapered
																											intermediate
																											part
																											28
																											into
																											the
																											connecting,
																											narrower
																											inner
																											channel
																											24
																											and
																											the
																											tube
																											closure
																											22
																											is
																											located
																											at
																											the
																											transition
																											between
																											intermediate
																											part
																											28
																											and
																											the
																											remaining
																											inner
																											channel
																											24.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											dabei
																											zwangsweise
																											eingebrachten
																											Molekülorientierungen
																											bewirken
																											dann
																											bei
																											Wiedererwärmung
																											die
																											Rückstellkräfte
																											im
																											schrumpfbaren
																											Teil
																											FT,
																											so
																											daß
																											diese
																											Kappe
																											als
																											Rohrverschluß
																											oder
																											ähnliches
																											auf
																											ein
																											zu
																											verschließendes
																											Element
																											aufgeschrumpft
																											werden
																											kann.
																		
			
				
																						The
																											molecular
																											orientation,
																											which
																											is
																											forceably
																											introduced,
																											then
																											effects
																											the
																											restoring
																											force
																											in
																											the
																											shrinkable
																											part
																											FT
																											during
																											reheating
																											so
																											that
																											this
																											cap
																											can
																											be
																											shrunken
																											onto
																											an
																											element
																											to
																											be
																											closed
																											as
																											a
																											tube
																											closure
																											or
																											the
																											like.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Zum
																											hermetischen
																											Verschluß
																											des
																											Steigrohres
																											ist
																											es
																											jedoch
																											besonders
																											vorteilhaft,
																											wenn
																											der
																											Rohrverschluß
																											des
																											Steigrohres
																											über
																											eine
																											Sollbruchstelle
																											einteilig
																											mit
																											dem
																											Steigrohr
																											verbunden
																											und
																											so
																											angeordnet
																											ist,
																											daß
																											er
																											durch
																											die
																											von
																											außen
																											einführbare
																											Austragpumpe
																											öffenbar
																											ist.
																		
			
				
																						However,
																											it
																											is
																											particularly
																											advantageous
																											for
																											the
																											hermetic
																											closure
																											or
																											sealing
																											of
																											the
																											riser
																											tube,
																											if
																											the
																											tube
																											closure
																											thereof
																											is
																											connected
																											in
																											one
																											piece
																											with
																											the
																											riser
																											tube
																											via
																											a
																											predetermined
																											breaking
																											point
																											and
																											is
																											positioned
																											in
																											such
																											a
																											way
																											that
																											it
																											can
																											also
																											be
																											opened
																											through
																											the
																											discharge
																											pump
																											insertable
																											from
																											the
																											outside.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											Rohrverschluß
																											kann
																											daßei
																											so
																											ausgebildet
																											sein,
																											daß
																											er
																											aus
																											einzelnen
																											Segmenten
																											besteht,
																											die
																											über
																											weitere
																											Sollbruchstellen
																											aneinander
																											anschließen
																											und
																											sich
																											beim
																											Öffnen
																											voneinander
																											lösen,
																											wobei
																											diese
																											Segmente
																											dann
																											jeweils
																											eine
																											maximale
																											Weite
																											haben,
																											die
																											kleiner
																											als
																											die
																											lichte
																											Weite
																											des
																											Innenkanales
																											des
																											Steigrohres
																											ist,
																											so
																											daß
																											mit
																											Sicherheit
																											gewährleistet
																											ist,
																											daß
																											der
																											freigebrochene
																											Rohrverschluß
																											nicht
																											im
																											Steigrohr
																											stecken
																											bleibt,
																											sondern
																											vollständig
																											in
																											die
																											Hauptkammer
																											fällt,
																											wo
																											er
																											nicht
																											hindert.
																		
			
				
																						The
																											tube
																											closure
																											can
																											be
																											constructed
																											in
																											such
																											a
																											way
																											that
																											it
																											is
																											formed
																											from
																											individual
																											segments,
																											which
																											are
																											connected
																											to
																											one
																											another
																											via
																											further
																											predetermined
																											breaking
																											points
																											and
																											are
																											detached
																											from
																											one
																											another
																											on
																											opening,
																											said
																											segments
																											then
																											in
																											each
																											case
																											having
																											a
																											maximum
																											width,
																											which
																											is
																											smaller
																											than
																											the
																											internal
																											width
																											or
																											diameter
																											of
																											the
																											inner
																											channel
																											of
																											the
																											riser
																											tube,
																											so
																											that
																											it
																											is
																											reliably
																											ensured
																											that
																											the
																											broken
																											free
																											tube
																											closure
																											does
																											not
																											remain
																											stuck
																											in
																											the
																											riser
																											tube
																											and
																											instead
																											drops
																											entirely
																											into
																											the
																											main
																											chamber,
																											where
																											it
																											is
																											not
																											a
																											hinderance.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Nach
																											Anschlagen
																											der
																											Endfläche
																											des
																											Ansaugstutzens
																											27
																											an
																											dem
																											Rohrverschluß
																											22
																											wird
																											dieser
																											durch
																											weiteres
																											Einführen
																											der
																											Austragpumpe
																											3
																											freigebrochen,
																											so
																											daß
																											der
																											Ansaugstutzen
																											27
																											vollends
																											in
																											seine
																											Betriebslage
																											gemäß
																											Fig.
																		
			
				
																						After
																											the
																											end
																											face
																											of
																											suction
																											connection
																											27
																											has
																											struck
																											against
																											the
																											tube
																											closure
																											22,
																											the
																											latter
																											is
																											broken
																											free
																											by
																											further
																											insertion
																											of
																											discharge
																											pump
																											3,
																											so
																											that
																											the
																											suction
																											connection
																											27
																											fully
																											penetrates
																											in
																											its
																											operating
																											position
																											according
																											to
																											FIG.
															 
				
		 EuroPat v2