Translation of "Schichtabtrag" in English
																						Ermittelt
																											wird
																											der
																											prozentuale
																											Schichtabtrag
																											in
																											der
																											Testlösung.
																		
			
				
																						The
																											percentage
																											layer
																											removal
																											in
																											the
																											test
																											solution
																											is
																											determined.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Für
																											verschiedene
																											Dekontaminationslösungen
																											ergaben
																											sich
																											bei
																											gleichem,
																											gravimetrisch
																											bestimmtem
																											Schichtabtrag
																											unterschiedliche
																											Dekontaminationsfaktoren.
																		
			
				
																						For
																											various
																											decontamination
																											solutions,
																											there
																											are
																											provided
																											various
																											decontamination
																											factors
																											with
																											the
																											same
																											gravimetrically
																											determined
																											abrasion
																											of
																											layers.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Mit
																											Hilfe
																											dieses
																											anisotropen
																											Trockenätzprozesses
																											erfolgt
																											ein
																											planarisierender
																											Schichtabtrag.
																		
			
				
																						A
																											planarizing
																											erosion
																											occurs
																											with
																											the
																											assistance
																											of
																											this
																											anisotropic
																											dry-etching
																											process.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Somit
																											erfolgt
																											ein
																											sauberer
																											Schichtabtrag
																											von
																											der
																											Festelektrolytschicht-Signalleiterschicht-Grenzfläche
																											aus.
																		
			
				
																						A
																											clean
																											layer
																											removal
																											from
																											the
																											solid
																											electrolyte
																											layer-signal
																											conductor
																											layer
																											interface
																											is
																											thus
																											effected.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Je
																											geringer
																											der
																											Schichtabtrag
																											ist,
																											desto
																											geringer
																											ist
																											die
																											für
																											die
																											Belichtung
																											erforderliche
																											Lichtmenge.
																		
			
				
																						The
																											lower
																											the
																											erosion
																											rate,
																											the
																											lower
																											the
																											amount
																											of
																											light
																											required
																											for
																											exposure.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Anschließend
																											wird
																											durch
																											einen
																											planarisierenden
																											Schichtabtrag
																											die
																											Hauptfläche
																											im
																											Bereich
																											der
																											aktiven
																											Gebiete
																											freigelegt.
																		
			
				
																						Subsequently,
																											the
																											principal
																											surface
																											is
																											uncovered
																											in
																											the
																											region
																											of
																											the
																											active
																											zones
																											on
																											the
																											basis
																											of
																											a
																											planarizing
																											layer
																											erosion.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Im
																											Hinblick
																											auf
																											eine
																											Prozeßvereinfachung
																											ist
																											es
																											vorteilhaft,
																											den
																											planarisierenden
																											Schichtabtrag
																											durch
																											anisotropes
																											Trockenätzen
																											durchzuführen.
																		
			
				
																						It
																											is
																											advantageous
																											in
																											view
																											of
																											a
																											process
																											simplification
																											to
																											implement
																											the
																											planarizing
																											layer
																											erosion
																											by
																											anisotropic
																											dry
																											etching.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											erfindungsgemäße
																											Verfahren
																											ist
																											leicht
																											zu
																											realisieren
																											und
																											gewährleistet
																											einen
																											schnellen
																											und
																											gleichmäßigen
																											Schichtabtrag.
																		
			
				
																						The
																											method
																											according
																											to
																											the
																											invention
																											is
																											easy
																											to
																											realize
																											and
																											ensures
																											fast
																											and
																											uniform
																											layer
																											removal.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Diese
																											Stützstrukturen
																											sowie
																											die
																											gleichzeitig
																											an
																											den
																											Flanken
																											der
																											zweiten
																											Gräben
																											gebildeten
																											Spacer
																											verbleiben
																											als
																											Isolationsmaterial
																											auch
																											nach
																											dem
																											planarisierenden
																											Schichtabtrag
																											in
																											den
																											zweiten
																											isolierenden
																											Gräben.
																		
			
				
																						These
																											supporting
																											structures,
																											as
																											well
																											as
																											the
																											spacers
																											simultaneously
																											formed
																											at
																											the
																											sidewalls
																											of
																											the
																											second
																											trenches,
																											also
																											remain
																											as
																											insulation
																											material
																											after
																											the
																											planarizing
																											layer
																											erosion
																											in
																											the
																											second
																											insulating
																											trenches.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											planarisierende
																											Schichtabtrag,
																											bei
																											dem
																											die
																											Hauptfläche
																											im
																											Bereich
																											der
																											aktiven
																											Gebiete
																											freigelegt
																											wird,
																											kann
																											sowohl
																											durch
																											chemisch-mechanisches
																											Polieren
																											als
																											auch
																											durch
																											konventionelles
																											anisotropes
																											Trockenätzen
																											erfolgen.
																		
			
				
																						The
																											planarizing
																											layer
																											erosion,
																											wherein
																											the
																											principal
																											surface
																											in
																											the
																											region
																											of
																											the
																											active
																											zones
																											is
																											uncovered,
																											can
																											occur
																											both
																											by
																											chemical-mechanical
																											polishing
																											as
																											well
																											as
																											by
																											conventional
																											anisotropic
																											dry
																											etching.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											relativ
																											einfach
																											zu
																											handhabende
																											isotrope
																											Ätzverfahren
																											kann
																											dabei
																											problemlos
																											eingesetzt
																											werden,
																											da
																											die
																											übrigen,
																											erwünschten
																											Elektrodenschichtbereiche
																											durch
																											diesen
																											Schichtabtrag
																											nur
																											unwesentlich
																											beeinträchtigt
																											werden
																											und
																											weiterhin
																											ihre
																											Funktionalität
																											behalten.
																		
			
				
																						The
																											relatively
																											straightforward
																											isotropic
																											etching
																											process
																											can
																											in
																											this
																											case
																											be
																											used
																											without
																											difficulty
																											since
																											the
																											other
																											regions,
																											which
																											is
																											to
																											say
																											the
																											desired
																											electrode
																											layer
																											regions
																											are
																											only
																											insignificantly
																											affected
																											by
																											this
																											layer
																											erosion
																											and
																											still
																											maintain
																											their
																											functionality.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											mit
																											dem
																											erfindungsgemäßen
																											Entwickler
																											entwickelten
																											Platten
																											waren
																											in
																											allen
																											Fällen
																											frei
																											von
																											Schleier,
																											die
																											Volltöne
																											ohne
																											Ausbrüche
																											oder
																											sonstige
																											Schädigungen
																											durch
																											Schichtabtrag
																											wiedergegeben,
																											das
																											60er
																											Raster
																											mit
																											einer
																											Flächendeckung
																											von
																											2
																											bis
																											98
																											%.
																		
			
				
																						The
																											plates
																											developed
																											with
																											the
																											developer
																											according
																											to
																											the
																											invention
																											were
																											in
																											all
																											cases
																											free
																											of
																											stains,
																											the
																											solid
																											color
																											areas
																											were
																											reproduced
																											without
																											missing
																											parts
																											or
																											other
																											damage
																											due
																											to
																											removal
																											of
																											the
																											layer,
																											and
																											the
																											60-line
																											screen
																											had
																											a
																											coverage
																											of
																											from
																											2
																											to
																											98%.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Es
																											besteht
																											schließlich
																											die
																											Möglichkeit
																											der
																											direkten
																											Strukturierung
																											einer
																											Materialschicht,
																											welche
																											keinem
																											lithographischen
																											Verfahren
																											zugänglich
																											ist,
																											indem
																											ein
																											Schichtabtrag
																											durch
																											Beschuß
																											mit
																											Ionen
																											bzw.
																											Plasmaätzung
																											erfolgt.
																		
			
				
																						Lastly,
																											there
																											is
																											also
																											the
																											possibility
																											of
																											directly
																											structuring
																											a
																											layer,
																											that
																											is
																											incompatible
																											with
																											any
																											lithographic
																											process,
																											by
																											carrying
																											out
																											layer
																											erosion
																											through
																											ion
																											bombardment
																											or
																											plasma
																											etching.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dabei
																											kann
																											es
																											sich
																											um
																											die
																											Abscheidung
																											von
																											Schichten,
																											die
																											Härtung
																											von
																											Oberflächen,
																											um
																											Schichtabtrag
																											oder
																											um
																											Reinigungsprozesse
																											handeln.
																		
			
				
																						It
																											may
																											relate
																											to
																											the
																											precipitation
																											of
																											layers,
																											the
																											hardening
																											of
																											surfaces,
																											to
																											the
																											removal
																											of
																											a
																											layer,
																											or
																											to
																											cleaning
																											processes.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Eine
																											klare
																											Trennung
																											der
																											einzelnen
																											Schichtgebiete
																											im
																											Bereich
																											der
																											Kanten
																											kann
																											alternativ
																											oder
																											zusätzlich
																											erzielt
																											werden,
																											wenn
																											nach
																											dem
																											Abscheiden
																											der
																											mindestens
																											einen
																											weiteren
																											Materialschicht
																											ein
																											geeigneter
																											Schichtabtrag
																											der
																											mindestens
																											einen
																											weiteren
																											Materialschicht
																											-
																											wie
																											z.B.
																											ein
																											Ätzschritt
																											-
																											zur
																											Entfernung
																											von
																											Kantenbedeckungen
																											durchgeführt
																											wird.
																		
			
				
																						A
																											clear
																											separation
																											of
																											the
																											individual
																											layer
																											regions
																											in
																											the
																											vicinity
																											of
																											the
																											edges
																											may,
																											alternatively
																											or
																											additionally,
																											be
																											obtained
																											if,
																											after
																											the
																											deposition
																											of
																											the
																											at
																											least
																											one
																											further
																											layer,
																											suitable
																											layer
																											erosion
																											of
																											the
																											at
																											least
																											one
																											further
																											layer
																											for
																											example
																											an
																											etching
																											step
																											is
																											carried
																											out
																											in
																											order
																											to
																											remove
																											an
																											edge
																											coverage.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											Schichtabtrag
																											kann
																											nun
																											jedoch
																											mit
																											wesentlich
																											geringen
																											Anforderungen
																											an
																											Selektivität,
																											Kantensteilheit
																											oder
																											Abtragsgeschwindigkeit
																											ausfallen,
																											als
																											dies
																											z.B.
																											bei
																											einer
																											direkten
																											Strukturierung
																											der
																											weiteren
																											Materialschichten
																											der
																											Fall
																											wäre.
																		
			
				
																						However,
																											the
																											layer
																											erosion
																											can
																											then
																											be
																											carried
																											out
																											with
																											substantially
																											less
																											stringent
																											requirements
																											on
																											selectivity,
																											edge
																											gradient,
																											or
																											erosion
																											rate
																											than
																											would
																											be
																											the
																											case,
																											for
																											example,
																											with
																											direct
																											structuring
																											of
																											the
																											further
																											layers.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											anionischen
																											Cyaninfarbstoffe
																											in
																											den
																											erfindungsgemäßen
																											Beispielen
																											1c,
																											1d,
																											1e
																											und
																											1g
																											bewirken
																											dagegen
																											einen
																											erhöhten
																											Schichtabtrag
																											durch
																											den
																											wäßrig-alkalischen
																											Entwickler.
																		
			
				
																						On
																											the
																											other
																											hand,
																											the
																											anionic
																											cyanine
																											dyes
																											in
																											Examples
																											1c,
																											1d,
																											1e
																											and
																											1g
																											according
																											to
																											the
																											invention
																											result
																											in
																											increased
																											removal
																											of
																											the
																											layer
																											by
																											the
																											aqueous
																											alkaline
																											developer.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Zur
																											Beseitigung
																											der
																											Schäden,
																											d.h.
																											zur
																											Instandsetzung
																											der
																											Schaufel
																											1,
																											soll
																											im
																											vorliegenden
																											Fall
																											über
																											das
																											gesamte
																											Schaufelblatt
																											2
																											ein
																											definierter
																											Schichtabtrag
																											erfolgen,
																											wozu
																											rechnerisch
																											eine
																											-
																											zumindest
																											weitestgehend
																											-
																											innerhalb
																											der
																											Istgeometrie
																											IG
																											liegende
																											Nettogeometrie
																											NG
																											ermittelt
																											wird.
																		
			
				
																						To
																											repair
																											the
																											damaged
																											areas,
																											in
																											other
																											words
																											to
																											repair
																											the
																											blade
																											1,
																											in
																											the
																											present
																											case
																											a
																											defined
																											removal
																											of
																											the
																											coating
																											over
																											the
																											entire
																											blade
																											face
																											2
																											is
																											to
																											take
																											place,
																											to
																											which
																											end
																											a
																											net
																											geometry
																											NG
																											that
																											lies
																											within
																											the
																											actual
																											geometry
																											IG—at
																											least
																											to
																											the
																											greatest
																											extent
																											possible—is
																											determined
																											mathematically.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Beispiele
																											hierfür
																											sind
																											Verfahren
																											wie
																											Thermotransfer,
																											Tintenstrahlbeschichtung,
																											elektrostatischer
																											Tonertransfer,
																											bei
																											denen
																											thermoplastische
																											Schichten,
																											durch
																											Wärmeeintrag
																											farbannehmende
																											Tinten
																											aus
																											Tintendüsen
																											oder
																											geladene
																											Tonerpartikel
																											durch
																											Anlagerung
																											an
																											elektrisch
																											geladenen
																											Oberflächen
																											übertragen
																											und
																											anschließend
																											fixiert
																											werden,
																											sowie
																											auch
																											Aufbringung
																											von
																											Photopolymeren
																											mit
																											anschließendem
																											bilddifferenzierten
																											Schichtabtrag
																											bei
																											der
																											Entwicklung.
																		
			
				
																						Examples
																											of
																											such
																											methods
																											are
																											thermotransfer,
																											ink
																											jet
																											coating,
																											and
																											electrostatic
																											toner
																											transfer,
																											in
																											which
																											thermoplastic
																											layers,
																											inks
																											from
																											ink
																											jets
																											which
																											absorb
																											color
																											by
																											application
																											of
																											heat
																											or
																											charged
																											toner
																											particles
																											by
																											depositing
																											on
																											electrically
																											charged
																											surfaces
																											are
																											transmitted
																											and
																											then
																											fixed,
																											as
																											well
																											as
																											the
																											application
																											of
																											photopolymers
																											with
																											subsequent
																											removal
																											of
																											the
																											layer
																											during
																											development
																											so
																											as
																											to
																											distinguish
																											between
																											image
																											locations.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Verfahren
																											nach
																											Anspruch
																											4,
																											dadurch
																											gekennzeichnet,
																											dass
																											der
																											reale
																											Schichtauftrag
																											in
																											Form
																											von
																											Schaufelwerkstoff
																											und/oder
																											einer
																											neuen
																											Schutzschicht
																											auf
																											die
																											gefertigte
																											Nettogeometrie
																											(NG)
																											in
																											Analogie
																											zum
																											rechnerischen
																											Schichtabtrag
																											(SCH)
																											mit
																											konstanter
																											oder
																											sich
																											definiert
																											ändernder
																											Dicke
																											erfolgt.
																		
			
				
																						The
																											method
																											of
																											claim
																											4,
																											wherein
																											the
																											application
																											of
																											coating
																											material
																											in
																											the
																											form
																											of
																											blade
																											material
																											or
																											the
																											new
																											protective
																											coating
																											to
																											the
																											finished
																											net
																											geometry
																											is
																											performed,
																											as
																											with
																											the
																											mathematical
																											removal
																											of
																											coating
																											material,
																											in
																											either
																											a
																											constant
																											or
																											a
																											varying
																											thickness.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Personalisierung
																											erfolgt
																											durch
																											selektiven
																											Schichtabtrag,
																											so
																											daß
																											die
																											unter
																											der
																											obersten
																											Farbschicht
																											befindlichen
																											Farbschichten
																											sichtbar
																											werden
																											und
																											aufgrund
																											ihres
																											Kontrasts
																											zu
																											den
																											anderen
																											Farbschichten
																											die
																											Informationen
																											lesbar
																											machen.
																		
			
				
																						Personalization
																											takes
																											place
																											by
																											selective
																											layer
																											removal,
																											so
																											that
																											the
																											color
																											layers
																											located
																											under
																											the
																											uppermost
																											color
																											layer
																											become
																											visible
																											and
																											make
																											the
																											information
																											legible
																											due
																											to
																											their
																											contrast
																											with
																											the
																											other
																											color
																											layers.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Auch
																											für
																											diese
																											Schicht
																											gilt
																											das
																											Argument,
																											dass
																											bei
																											einem
																											Schichtabtrag
																											die
																											katalytischen
																											Eigenschaften
																											derselben
																											erhalten
																											bleiben.
																		
			
				
																						For
																											this
																											layer
																											too,
																											the
																											argument
																											applies
																											that,
																											in
																											the
																											case
																											of
																											layer
																											removal,
																											the
																											catalytic
																											properties
																											thereof
																											are
																											preserved.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						An
																											dieser
																											Stelle
																											ist
																											zu
																											beachten,
																											dass
																											die
																											Hilfsschicht
																											403
																											von
																											der
																											Ätzung
																											der
																											Schicht
																											430
																											ebenfalls
																											betroffen
																											ist
																											und
																											der
																											Schichtabtrag
																											bei
																											der
																											Einstellung
																											der
																											Ausgangsschichtdicke
																											berücksichtigt
																											werden
																											muss.
																		
			
				
																						It
																											should
																											be
																											noted
																											at
																											this
																											point
																											that
																											auxiliary
																											layer
																											403
																											is
																											likewise
																											affected
																											by
																											etching
																											of
																											layer
																											430,
																											and
																											that
																											layer
																											removal
																											must
																											be
																											taken
																											into
																											account
																											when
																											adjusting
																											the
																											initial
																											layer
																											thickness.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Erst
																											wenn
																											ein
																											Schichtabtrag
																											soweit
																											fortgeschritten
																											ist,
																											dass
																											die
																											Lage
																											14b
																											erreicht
																											wird,
																											kommt
																											es
																											zu
																											einer
																											Farbveränderung
																											der
																											Oberfläche,
																											der
																											als
																											Indikator
																											für
																											ein
																											Auswechseln
																											des
																											Bauteils
																											bzw.
																											eine
																											Erneuerung
																											der
																											Schicht
																											gewertet
																											werden
																											kann.
																		
			
				
																						Only
																											when
																											wearing
																											away
																											of
																											the
																											coating
																											has
																											advanced
																											so
																											far
																											that
																											layer
																											14
																											b
																											is
																											reached
																											does
																											the
																											color
																											of
																											the
																											surface
																											change,
																											which
																											can
																											be
																											interpreted
																											as
																											an
																											indicator
																											that
																											the
																											component
																											needs
																											to
																											be
																											replaced
																											or
																											that
																											the
																											coating
																											needs
																											to
																											be
																											renewed.
															 
				
		 EuroPat v2