Translation of "Strahlverlauf" in English
																						Die
																											Geometrie
																											der
																											Hilfsablenkeinrichtung
																											kann
																											in
																											Abhängigkeit
																											vom
																											geometrischen
																											Strahlverlauf
																											noch
																											optimiert
																											werden.
																		
			
				
																						The
																											geometry
																											of
																											the
																											auxiliary
																											deflection
																											device
																											can
																											be
																											further
																											optimized
																											in
																											dependence
																											on
																											the
																											geometric
																											ray
																											tracing.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											Strahlverlauf
																											dieses
																											Störlichtes
																											ist
																											als
																											S1'
																											gestrichelt
																											dargestellt.
																		
			
				
																						The
																											beam
																											course
																											of
																											this
																											interfering
																											light
																											is
																											shown
																											dotted
																											as
																											S1'.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Es
																											liegt
																											hierbei
																											also
																											ein
																											zusätzlicher
																											umgekehrter
																											Strahlverlauf
																											vor.
																		
			
				
																						An
																											additional
																											reverse
																											beam
																											path
																											is
																											thus
																											present
																											here.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Im
																											Folgenden
																											wird
																											der
																											Strahlverlauf
																											durch
																											das
																											optische
																											Element
																											OE
																											erklärt.
																		
			
				
																						The
																											ray
																											path
																											through
																											optical
																											element
																											OE
																											will
																											be
																											explained
																											below.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Ein
																											Ventil
																											14
																											ist
																											zudem
																											im
																											Strahlverlauf
																											angeordnet.
																		
			
				
																						A
																											valve
																											14
																											is
																											also
																											arranged
																											in
																											the
																											beam
																											path.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Solche
																											Etalons
																											erfordern
																											prinzipbedingt
																											einen
																											weitgehend
																											parallelen
																											Strahlverlauf.
																		
			
				
																						Such
																											etalons
																											fundamentally
																											require
																											a
																											largely
																											parallel
																											beam
																											course.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Ein
																											periodischer
																											Strahlverlauf
																											ergibt
																											sich
																											in
																											Zerstreuungslinsen
																											jedoch
																											nicht.
																		
			
				
																						However,
																											a
																											periodic
																											path
																											of
																											the
																											rays
																											is
																											not
																											obtained
																											in
																											this
																											case.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Ein
																											charakteristischer
																											Strahlverlauf
																											durch
																											eine
																											Zerstreuungslinse
																											ist
																											in
																											Abb.
																											5
																											dargestellt.
																		
			
				
																						A
																											characteristic
																											ray
																											trace
																											through
																											a
																											diverging
																											lens
																											is
																											shown
																											in
																											Fig.
																											5.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Der
																											Strahlverlauf
																											des
																											Brennstoffsprays
																											14
																											kann
																											insbesondere
																											durch
																											die
																											Neigung
																											des
																											Umlenkelementes
																											15
																											individuell
																											eingestellt
																											werden.
																		
			
				
																						The
																											jet
																											path
																											of
																											the
																											fuel
																											spray
																											14
																											can,
																											in
																											particular,
																											be
																											individually
																											set
																											by
																											the
																											inclination
																											of
																											the
																											deflection
																											element
																											15
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Obwohl
																											der
																											Strahlverlauf
																											asymmetrisch
																											ist,
																											läßt
																											sich
																											auch
																											hier
																											eine
																											rechteckförmige
																											Phasenplatte
																											anordnen.
																		
			
				
																						Although
																											the
																											beam
																											path
																											is
																											asymmetric,
																											a
																											rectangular
																											phase
																											plate
																											may
																											also
																											be
																											situated
																											here.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Es
																											ist
																											auch
																											möglich,
																											bei
																											diesem
																											Verfahren
																											die
																											Lochblende
																											20
																											zusätzlich
																											in
																											den
																											Strahlverlauf
																											einzubringen.
																		
			
				
																						When
																											using
																											this
																											method
																											it
																											is
																											also
																											possible
																											to
																											additionally
																											insert
																											the
																											pin
																											hole
																											20
																											into
																											the
																											beam
																											path.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Ein
																											Strahlverlauf
																											innerhalb
																											der
																											Stecker
																											ist
																											mit
																											dünnen
																											Linien
																											angedeutet,
																											beteiligte
																											optische
																											Fasern
																											außerhalb
																											der
																											Stecker
																											als
																											dünne
																											Röhren.
																		
			
				
																						A
																											beam
																											path
																											within
																											the
																											plug
																											is
																											marked
																											by
																											thin
																											lines
																											with
																											directional
																											arrows.
																											The
																											respective
																											optical
																											fibers
																											are
																											represented
																											by
																											thin
																											tubes.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Aus
																											den
																											aufgeführten
																											Beispielen
																											ist
																											zu
																											entnehmen,
																											daß
																											der
																											Strahlverlauf
																											im
																											Ringlaser
																											in
																											vertikaler
																											Richtung
																											sehr
																											viel
																											stärker
																											durch
																											Resonatorraumverformungen
																											beeinflußt
																											wird
																											als
																											in
																											horizontaler
																											Richtung.
																		
			
				
																						It
																											can
																											be
																											seen
																											from
																											these
																											examples
																											that
																											the
																											influence
																											of
																											resonator
																											cavity
																											deformation
																											on
																											the
																											beam
																											path
																											in
																											the
																											ring
																											laser
																											is
																											of
																											very
																											much
																											more
																											importance
																											in
																											the
																											vertical
																											direction
																											than
																											in
																											the
																											horizontal
																											direction.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Durch
																											asphärische
																											Spiegelflächen
																											der
																											Faltungsspiegel
																											und
																											eine
																											geeignete
																											Wahl
																											der
																											Einstrahlrichtung
																											in
																											den
																											Laserverstärker
																											kann
																											bei
																											den
																											beschriebenen
																											Ausführungsbeispielen
																											der
																											Strahlverlauf
																											im
																											Verstärker
																											auch
																											an
																											Verstärkerrohre
																											mit
																											nicht
																											kreisförmigem,
																											sondern
																											beispielsweise
																											elliptischem
																											oder
																											rechteckigem
																											Querschnitt
																											angepaßt
																											werden.
																		
			
				
																						Via
																											aspheric
																											mirror
																											surfaces
																											of
																											the
																											folding
																											mirrors
																											or
																											reflecting
																											means
																											and
																											a
																											suitable
																											selection
																											of
																											the
																											beaming-in
																											direction
																											into
																											the
																											laser
																											intensifier
																											or
																											amplifier,
																											with
																											the
																											described
																											embodiments,
																											the
																											beam
																											course
																											or
																											path
																											in
																											the
																											intensifier
																											or
																											amplifier
																											also
																											on
																											the
																											intensifier
																											or
																											amplifier
																											tube
																											can
																											be
																											matched
																											or
																											adapted
																											with
																											non-circular
																											but
																											rather
																											for
																											example
																											elliptical
																											or
																											rectangular
																											cross
																											section.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											in
																											Figur
																											2
																											durch
																											eine
																											strichpunktierte
																											Linie
																											angedeutete,
																											optische
																											Achse
																											10
																											der
																											Lichtschranken
																											entspricht
																											dem
																											Strahlverlauf
																											des
																											Lichtstrahls
																											zwischen
																											Sender
																											und
																											zugeordnetem
																											Empfänger.
																		
			
				
																						The
																											optic
																											axis
																											10,
																											denoted
																											in
																											FIG.
																											2
																											by
																											a
																											broken
																											line,
																											of
																											the
																											photoelectric
																											detectors
																											corresponds
																											to
																											the
																											path
																											of
																											the
																											beam
																											between
																											the
																											transmitter
																											and
																											the
																											associated
																											receiver.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Nachteilig
																											an
																											sämtlichen
																											vorstehend
																											beschriebenen
																											Resonatoren
																											ist,
																											daß
																											der
																											Strahlverlauf
																											im
																											Resonatorvolumen
																											sehr
																											empfindlich
																											von
																											der
																											exakten
																											Justierung
																											sämtlicher
																											das
																											Resonatorvolumen
																											begrenzenden
																											Komponenten
																											abhängt.
																		
			
				
																						A
																											disadvantage
																											of
																											all
																											the
																											resonators
																											described
																											above
																											is
																											that
																											the
																											course
																											of
																											the
																											beam
																											in
																											the
																											resonator
																											volume
																											depends
																											very
																											heavily
																											on
																											the
																											precise
																											adjustment
																											of
																											all
																											components
																											which
																											enclose
																											the
																											resonator
																											volume.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dabei
																											kann
																											die
																											Tatsache
																											genutzt
																											werden,
																											dass
																											bei
																											der
																											Herstellung
																											durch
																											Laserbohren
																											ohnehin
																											ein
																											fokussierter
																											und
																											damit
																											konvergentdivergenter
																											Strahlverlauf
																											vorliegt.
																		
			
				
																						In
																											this
																											case,
																											the
																											fact
																											that
																											there
																											is
																											in
																											any
																											case
																											a
																											focused
																											and
																											thus
																											convergent/divergent
																											beam
																											path
																											during
																											production
																											by
																											laser
																											drilling
																											may
																											be
																											utilized.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Zur
																											Feinabstimmung
																											zwischen
																											dem
																											Strahlverlauf
																											des
																											Positronenstrahls
																											und
																											dem
																											des
																											Elektronenstrahls
																											sollte
																											ein
																											weiteres
																											einfaches
																											Ablenksystem
																											unmittelbar
																											vor
																											Eintritt
																											eines
																											der
																											Strahlengänge
																											in
																											das
																											Magnetprisma,
																											vorzugsweise
																											auf
																											der
																											Seite
																											der
																											Positronenquelle,
																											vorgesehen
																											sein.
																		
			
				
																						For
																											fine
																											tuning
																											between
																											the
																											beam
																											path
																											of
																											the
																											positron
																											beam
																											and
																											that
																											of
																											the
																											electron
																											beam,
																											a
																											further,
																											simple
																											deflection
																											system
																											should
																											be
																											provided
																											directly
																											before
																											the
																											entry
																											of
																											one
																											of
																											the
																											beam
																											paths
																											into
																											the
																											magnetic
																											prism,
																											preferably
																											on
																											the
																											side
																											of
																											the
																											positron
																											source.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											der
																											Figur
																											5
																											ist
																											über
																											dem
																											parabelförmigen
																											Innenraum
																											30
																											einer
																											Plasmakammer
																											ein
																											xy-Koordinatensytem
																											gelegt,
																											wobei
																											der
																											Strahlverlauf
																											innerhalb
																											der
																											Plasmakammer
																											der
																											y-Achse
																											entspricht.
																		
			
				
																						FIG.
																											5
																											shows
																											an
																											xy-coordinate.
																											system
																											which
																											is
																											placed
																											over
																											the
																											parabolic
																											plasma
																											chamber
																											28,
																											whereby
																											the
																											stream
																											path
																											within
																											the
																											plasma
																											chamber
																											corresponds
																											to
																											the
																											y-axis.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											optischen
																											Komponenten
																											und
																											der
																											Strahlverlauf
																											einiger
																											Lichtstrahlen
																											einer
																											Projektionsbelichtungsanlage
																											mit
																											einem
																											genesteten
																											Kollektor
																											gemäß
																											Figur
																											17
																											sind
																											in
																											Figur
																											20
																											gezeigt.
																		
			
				
																						The
																											optical
																											components
																											and
																											the
																											beam
																											path
																											of
																											some
																											light
																											beams
																											of
																											a
																											projection
																											exposure
																											apparatus
																											having
																											a
																											nested
																											collector
																											as
																											shown
																											in
																											FIG.
																											17
																											are
																											shown
																											in
																											FIG.
																											20
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Bei
																											anderen
																											Ausführungsformen
																											(vgl.
																											Fig.
																											4)
																											ist
																											eine
																											von
																											der
																											Würfelform
																											abweichende
																											Form
																											vorgesehen,
																											beispielsweise
																											eine
																											regelmäßige
																											oder
																											unregelmässige
																											Minimalform
																											bezüglich
																											des
																											Materialvolumens,
																											die
																											an
																											den
																											Strahlverlauf
																											innerhalb
																											des
																											Strahlteilers
																											so
																											angepaßt
																											ist,
																											daß
																											im
																											wesentlichen
																											keine
																											nichtdurchstrahlten
																											Bereiche
																											vorhanden
																											sind.
																		
			
				
																						In
																											other
																											embodiments
																											(cf.
																											FIG.
																											4)
																											a
																											shape
																											other
																											than
																											a
																											cubic
																											shape
																											is
																											provided.
																											This
																											may
																											be,
																											for
																											example,
																											a
																											regular
																											or
																											irregular
																											minimal
																											shape
																											with
																											respect
																											to
																											material
																											volume
																											that
																											is
																											adjusted
																											to
																											the
																											ray
																											trajectory
																											inside
																											the
																											beam
																											splitter
																											such
																											that
																											there
																											are
																											essentially
																											no
																											parts
																											through
																											which
																											no
																											light
																											passes.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Im
																											Stand
																											der
																											Technik
																											sind
																											allgemein
																											für
																											Spiegeljustierungen
																											Tisch-
																											und
																											Rahmensysteme
																											bekannt,
																											die
																											als
																											Träger
																											für
																											Spiegelflächen
																											mechanisch
																											über
																											Stellschrauben
																											oder
																											piezoelektrisch
																											betätigt
																											werden,
																											wenn
																											der
																											gewünschte
																											Strahlverlauf
																											eines
																											Lichtbündels
																											erstmalig
																											(oder
																											bei
																											wiederholten
																											Nachjustierungen)
																											unter
																											Einschaltung
																											der
																											benutzten
																											Lichtquellen
																											auf
																											einen
																											Zielpunkt
																											eingerichtet
																											wird.
																		
			
				
																						Table
																											systems
																											and
																											frame
																											systems
																											are
																											known
																											generally
																											from
																											the
																											prior
																											art
																											for
																											mirror
																											adjustments.
																											These
																											table
																											and
																											frame
																											systems
																											which
																											serve
																											as
																											supports
																											for
																											mirror
																											surfaces
																											are
																											actuated
																											mechanically
																											by
																											adjustment
																											screws
																											or
																											piezo-electrically
																											when
																											the
																											desired
																											beam
																											path
																											of
																											a
																											light
																											bundle
																											is
																											directed
																											for
																											the
																											first
																											time
																											(or
																											after
																											repeated
																											readjustments)
																											to
																											a
																											target
																											point
																											by
																											switching
																											on
																											the
																											light
																											sources
																											being
																											used.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dies
																											ist
																											in
																											der
																											Figur
																											1
																											durch
																											den
																											gestrichelt
																											dargestellten
																											Strahlverlauf
																											oberhalb
																											der
																											Mehrfachblende
																											(7)
																											angedeutet.
																		
			
				
																						This
																											is
																											shown
																											in
																											FIG.
																											1
																											by
																											the
																											beam
																											trace
																											(shown
																											by
																											the
																											broken
																											line)
																											above
																											the
																											multiple
																											diaphragm
																											7.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											einem
																											ersten
																											Schritt
																											(41)
																											werden
																											zunächst
																											in
																											diskreten
																											Stufen
																											die
																											zur
																											abzugleichenden
																											Betriebsbedingung
																											zugehörigen
																											Linsenerregungen
																											über
																											das
																											Tastenfeld
																											(7)
																											manuell
																											so
																											eingestellt,
																											daß
																											der
																											Elektronenstrahl
																											innerhalb
																											der
																											Elektronensäule
																											(1)
																											den
																											gewünschten
																											Strahlverlauf
																											erhält.
																		
			
				
																						In
																											a
																											first
																											step
																											41,
																											the
																											lens
																											excitations
																											corresponding
																											to
																											the
																											operating
																											conditions
																											which
																											are
																											to
																											be
																											calibrated
																											are
																											first
																											adjusted
																											in
																											discrete
																											steps
																											via
																											the
																											touch
																											panel
																											7
																											in
																											such
																											a
																											manner
																											that
																											the
																											electron
																											beam
																											has
																											the
																											desired
																											beam
																											path
																											within
																											the
																											electron
																											column
																											1.
															 
				
		 EuroPat v2