Translation of "Substrataufnahme" in English
																						Das
																											zu
																											untersuchende
																											Produkt
																											wird
																											auf
																											der
																											Substrataufnahme
																											fest
																											eingespannt.
																		
			
				
																						The
																											product
																											to
																											test
																											is
																											mounted
																											firmly
																											on
																											the
																											substrate
																											holder.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Eine
																											kapazitive
																											Ankopplung
																											über
																											die
																											Substrataufnahme
																											ist
																											in
																											diesem
																											Fall
																											nicht
																											möglich.
																		
			
				
																						A
																											capacitive
																											coupling
																											via
																											the
																											substrate
																											receptacle
																											is
																											not
																											possible
																											in
																											this
																											case.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Substrataufnahme
																											13
																											kann
																											rein
																											über
																											Schwerkraft
																											erfolgen.
																		
			
				
																						The
																											substrate
																											receptacle
																											13
																											can
																											be
																											made
																											purely
																											by
																											the
																											action
																											of
																											gravity.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Eine
																											Anpassung
																											der
																											Substrataufnahme
																											an
																											Ihre
																											Anforderungen
																											kann
																											nach
																											Absprache
																											ebenso
																											kundenspezifisch
																											realisiert
																											werden.
																		
			
				
																						Customer-specific
																											adaptation
																											of
																											the
																											substrate
																											holder
																											can
																											also
																											be
																											made
																											to
																											your
																											requirements
																											after
																											consultation.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Des
																											Weiteren
																											ist
																											eine
																											Kapazität
																											zwischen
																											einer
																											Massefläche
																											8
																											und
																											einer
																											Substrataufnahme
																											5
																											ausgebildet.
																		
			
				
																						A
																											capacitance
																											is
																											furthermore
																											formed
																											between
																											a
																											ground
																											area
																											8
																											and
																											a
																											substrate
																											receptacle
																											5
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Im
																											Innern
																											des
																											Schleusenkammer-Unterteils
																											51
																											befindet
																											sich
																											in
																											koaxialer
																											Anordnung
																											eine
																											Hubstange
																											62,
																											die
																											nach
																											oben
																											über
																											die
																											Dichtfläche
																											55
																											hinaus
																											anhebbar
																											und
																											in
																											Eingriff
																											mit
																											einer
																											Substrataufnahme
																											63
																											bringbar
																											ist,
																											die
																											in
																											eine
																											konzentrische
																											Bohrung
																											des
																											Substrats
																											26
																											eingreift.
																		
			
				
																						In
																											the
																											interior
																											of
																											the
																											lock
																											chamber
																											stem
																											51
																											is
																											a
																											lift
																											rod
																											62
																											which
																											can
																											be
																											raised
																											upward
																											above
																											the
																											sealing
																											surface
																											55
																											and
																											can
																											be
																											brought
																											into
																											engagement
																											with
																											a
																											substrate
																											receiver
																											63
																											which
																											is
																											engaged
																											in
																											a
																											concentric
																											hole
																											in
																											the
																											substrate
																											26.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Mittels
																											der
																											Hubstange
																											62
																											und
																											der
																											Substrataufnahme
																											63
																											läßt
																											sich
																											das
																											Substrat
																											26
																											zwischen
																											der
																											ausgezogen
																											dargestellten
																											Position
																											und
																											der
																											strichpunktiert
																											dargestellten
																											Position
																											bewegen.
																		
			
				
																						By
																											means
																											of
																											the
																											lift
																											rod
																											62
																											and
																											the
																											substrate
																											receiver
																											63
																											the
																											substrate
																											26
																											can
																											be
																											moved
																											between
																											the
																											position
																											represented
																											in
																											solid
																											lines
																											and
																											the
																											position
																											represented
																											in
																											broken
																											lines.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											der
																											zuerst
																											genannten
																											Stellung
																											ruht
																											das
																											Substrat
																											26
																											in
																											einer
																											flachen
																											zylindrischen
																											Ausnehmung
																											des
																											Substrathalters
																											6,
																											wobei
																											sich
																											die
																											Substrataufnahme
																											63
																											mittels
																											eines
																											nicht
																											näher
																											bezeichneten
																											Flansches
																											auf
																											einer
																											gleichfalls
																											nicht
																											näher
																											bezeichneten
																											Tragschulter
																											des
																											Substrathalters
																											6
																											abstützt.
																		
			
				
																						In
																											the
																											first-named
																											position
																											the
																											substrate
																											26
																											rests
																											in
																											a
																											shallow
																											cylindrical
																											recess
																											in
																											the
																											substrate
																											holder
																											6,
																											the
																											substrate
																											receiver
																											63
																											having
																											a
																											flange
																											which
																											rests
																											on
																											a
																											shoulder,
																											of
																											the
																											substrate
																											holder
																											6.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											dieser
																											Stellung
																											eines
																											jeden
																											Substrats
																											dringt
																											die
																											Substrataufnahme
																											63,
																											angehoben
																											durch
																											die
																											Hubstange
																											62,
																											mittels
																											eines
																											ringförmigen
																											Fortsatzes
																											von
																											unten
																											in
																											eine
																											kreisförmige
																											Mittenausnehmung
																											des
																											Substrats
																											ein
																											und
																											hält
																											dieses
																											zuverlässig
																											fest.
																		
			
				
																						When
																											each
																											substrate
																											is
																											in
																											this
																											position
																											the
																											substrate
																											receiver
																											63,
																											raised
																											by
																											the
																											lift
																											rod
																											62,
																											penetrates
																											with
																											an
																											annular
																											prolongation
																											from
																											below
																											into
																											a
																											circular
																											center
																											opening
																											in
																											the
																											substrate
																											and
																											holds
																											the
																											latter
																											reliably
																											fast.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											der
																											zuerst
																											genannten
																											Stellung
																											ruht
																											das
																											Substrat
																											26
																											in
																											einer
																											flachen
																											zylindrischen
																											Ausnehmung
																											des
																											Substrathalters
																											6,
																											wobei
																											sich
																											die
																											Substrataufnahme
																											63
																											mittels
																											eines
																											nicht
																											näher
																											bezeichneten
																											Flansches
																											auf
																											einer
																											gleichfalls
																											nicht
																											näher
																											bezeichneten
																											Tragschulter
																											des
																											Substrattransportrings
																											abstützt.
																		
			
				
																						In
																											the
																											first-named
																											position
																											the
																											substrate
																											26
																											rests
																											in
																											a
																											shallow
																											cylindrical
																											recess
																											in
																											the
																											substrate
																											holder
																											6,
																											the
																											substrate
																											receiver
																											63
																											having
																											a
																											flange
																											which
																											rests
																											on
																											a
																											shoulder,
																											of
																											the
																											substrate
																											holder
																											6.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Während
																											dessen
																											wird
																											die
																											Halterung
																											von
																											einem
																											Hebelmechanismus
																											in
																											eine
																											Ausnehmung
																											einer
																											im
																											Innern
																											einer
																											ebenfalls
																											unter
																											Vakuum
																											stehenden
																											Transportkammer
																											angeordneten
																											drehbaren
																											Substrataufnahme
																											übergeben.
																		
			
				
																						Meanwhile
																											the
																											holding
																											device
																											is
																											transferred
																											by
																											a
																											lever
																											mechanism
																											in
																											a
																											recess
																											of
																											a
																											rotatingly
																											positioned
																											substrate
																											intake,
																											which
																											is
																											inside
																											a
																											transport
																											chamber
																											that
																											is
																											also
																											under
																											vacuum.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Schrittweite
																											des
																											Antriebs
																											einerseits
																											und
																											die
																											Winkelstellung
																											jeder
																											Beschichtungsstation
																											zu
																											der
																											ihr
																											zugeordneten
																											Schleusenstation
																											in
																											Bezug
																											auf
																											die
																											Drehachse
																											des
																											Substrathalters
																											andererseits
																											sind
																											so
																											gewählt,
																											daß
																											ein
																											und
																											dieselbe
																											Beschichtungsstation
																											über
																											die
																											schrittweise
																											Bewegung
																											jeweils
																											einer
																											bestimmten
																											Substrataufnahme
																											und
																											derselben
																											Schleusenstation
																											zugeordnet
																											ist.
																		
			
				
																						The
																											stepping
																											width
																											of
																											the
																											drive
																											on
																											the
																											one
																											hand,
																											and
																											on
																											the
																											other
																											hand
																											the
																											angular
																											attitude
																											of
																											each
																											coating
																											station
																											to
																											the
																											airlock
																											station
																											associated
																											with
																											it
																											with
																											respect
																											to
																											the
																											axis
																											of
																											rotation
																											of
																											the
																											substrate
																											holder,
																											are
																											selected
																											such
																											that
																											one
																											and
																											the
																											same
																											coating
																											station
																											is
																											associated
																											by
																											the
																											stepping
																											movement
																											with
																											a
																											specific
																											substrate
																											post
																											and
																											the
																											same
																											airlock
																											station.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Substrat
																											8
																											wird
																											von
																											einem
																											Probenhalter
																											24
																											einer
																											Substrataufnahme
																											22
																											aufgenommen
																											und
																											durch
																											übliche
																											Mittel,
																											beispielsweise
																											an
																											der
																											Oberfläche
																											des
																											Probenhalters
																											24
																											vorgesehene
																											Saugbahnen,
																											fixiert,
																											und
																											zwar
																											in
																											einer
																											ausgerichteten
																											Position.
																		
			
				
																						The
																											substrate
																											8
																											is
																											held
																											by
																											a
																											specimen
																											holder
																											24
																											of
																											a
																											substrate
																											holding
																											means
																											22
																											and
																											attached
																											by
																											commonly
																											used
																											means,
																											for
																											example,
																											suction
																											webs
																											provided
																											on
																											the
																											surface
																											of
																											the
																											specimen
																											holder
																											24
																											specifically
																											in
																											an
																											aligned
																											position.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Heizfläche
																											20
																											erstreckt
																											sich
																											daher
																											im
																											Querschnitt
																											über
																											den
																											halben
																											Durchmesser
																											H
																											der
																											Polymerschicht
																											18,
																											wobei
																											ein
																											Rand
																											28
																											der
																											Heizfläche
																											20
																											im
																											Bereich
																											eines
																											Randes
																											29
																											der
																											Polymerschicht
																											18
																											angeordnet
																											ist,
																											so
																											dass
																											bei
																											Rotation
																											des
																											Substrats
																											8
																											durch
																											die
																											Substrataufnahme
																											22
																											um
																											die
																											Rotationsachse
																											R
																											spätestens
																											nach
																											einer
																											ganzen
																											Umdrehung
																											des
																											Substrats
																											8
																											um
																											die
																											Rotationsachse
																											R
																											die
																											Polymerschicht
																											18
																											beziehungsweise
																											das
																											Fluid
																											23
																											vollständig
																											von
																											der
																											Heizfläche
																											20
																											beaufschlagt
																											worden
																											ist.
																		
			
				
																						The
																											heating
																											surface
																											20
																											therefore
																											extends
																											in
																											a
																											cross-section
																											over
																											one-half
																											of
																											the
																											diameter
																											H
																											of
																											the
																											polymer
																											layer
																											18,
																											whereby
																											one
																											edge
																											28
																											of
																											the
																											heating
																											surface
																											20
																											is
																											arranged
																											in
																											the
																											area
																											of
																											an
																											edge
																											29
																											of
																											the
																											polymer
																											layer
																											18,
																											in
																											such
																											a
																											way
																											that
																											when
																											the
																											substrate
																											8
																											is
																											rotated
																											by
																											the
																											substrate
																											holding
																											means
																											22
																											around
																											the
																											axis
																											of
																											rotation
																											R,
																											at
																											the
																											latest
																											after
																											one
																											complete
																											revolution
																											of
																											the
																											substrate
																											8
																											around
																											the
																											axis
																											of
																											rotation
																											R,
																											the
																											polymer
																											layer
																											18
																											or
																											the
																											fluid
																											23
																											has
																											been
																											completely
																											exposed
																											to
																											the
																											heating
																											surface
																											20
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Soweit
																											die
																											Substrataufnahme
																											Rotationsmittel
																											zur
																											Rotierung
																											des
																											Substrats
																											um
																											dessen
																											Zentrum
																											Z
																											aufweist,
																											lässt
																											sich
																											einerseits
																											das
																											Fluid
																											optimal
																											auf
																											der
																											Polymerschicht
																											verteilen
																											und
																											andererseits
																											ist
																											eine
																											Anordnung
																											der
																											Heizmittel
																											neben
																											den
																											Einbringmitteln
																											möglich,
																											die
																											bei
																											einer
																											vollflächigen
																											Heizfläche
																											nicht
																											möglich
																											ist.
																		
			
				
																						If
																											the
																											substrate
																											holding
																											means
																											has
																											rotating
																											means
																											for
																											rotating
																											the
																											substrate
																											around
																											its
																											center
																											Z,
																											on
																											the
																											one
																											hand,
																											the
																											fluid
																											can
																											be
																											optimally
																											distributed
																											on
																											the
																											polymer
																											layer,
																											and,
																											on
																											the
																											other
																											hand,
																											an
																											arrangement
																											of
																											the
																											heating
																											means
																											in
																											addition
																											to
																											the
																											introducing
																											means
																											may
																											be
																											possible,
																											which
																											is
																											not
																											possible
																											in
																											a
																											whole-area
																											heating
																											surface.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Indem
																											die
																											Vorrichtung
																											einen
																											durch
																											ein
																											Gehäuse
																											begrenzten,
																											insbesondere
																											mit
																											Vakuum
																											beaufschlagbaren,
																											Arbeitsraum
																											umfasst,
																											in
																											welchem
																											die
																											Substrataufnahme,
																											die
																											Aufbringmittel
																											und
																											die
																											Heizmittel
																											zumindest
																											teilweise
																											angeordnet
																											sind,
																											wobei
																											das
																											Gehäuse
																											über
																											einen
																											Auslass
																											zur
																											Ausbringung
																											des
																											Gemisches
																											aus
																											Fluid
																											und
																											durch
																											das
																											Fluid
																											gelöster
																											Polymerschicht
																											aufweist,
																											wird
																											die
																											Umgebung
																											optimal
																											vor
																											den
																											sehr
																											reaktiven
																											Substanzen
																											des
																											Fluids
																											geschützt.
																		
			
				
																						By
																											having
																											the
																											device
																											comprise
																											a
																											working
																											area
																											that
																											is
																											limited
																											by
																											a
																											housing,
																											in
																											particular
																											that
																											can
																											be
																											subjected
																											to
																											a
																											vacuum,
																											in
																											which
																											working
																											area
																											the
																											substrate
																											holding
																											means,
																											the
																											application
																											means,
																											and
																											the
																											heating
																											means
																											are
																											at
																											least
																											partially
																											arranged,
																											whereby
																											the
																											housing
																											has
																											a
																											polymer
																											layer
																											that
																											is
																											dissolved
																											by
																											the
																											fluid
																											via
																											an
																											outlet
																											for
																											producing
																											the
																											mixture
																											from
																											the
																											fluid,
																											the
																											environment
																											is
																											optimally
																											protected
																											from
																											the
																											highly
																											reactive
																											substances
																											in
																											the
																											fluid.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Vorrichtung
																											nach
																											den
																											Ansprüchen
																											11
																											und
																											12,
																											dadurch
																											gekennzeichnet,
																											daß
																											im
																											Schleusenkammer-Unterteil
																											(51)
																											koaxial
																											zu
																											diesem
																											eine
																											Hubstange
																											(62)
																											für
																											die
																											in
																											der
																											Schleusenstation
																											(8)
																											befindliche
																											Substrataufnahme
																											(63)
																											angeordnet
																											ist.
																		
			
				
																						Apparatus
																											according
																											to
																											claim
																											11,
																											characterized
																											in
																											that,
																											in
																											the
																											air
																											lock
																											chamber
																											bottom
																											part
																											(51),
																											coaxial
																											with
																											the
																											latter,
																											a
																											lift
																											rod
																											(62)
																											is
																											disposed
																											for
																											the
																											substrate
																											pickup
																											(63)
																											that
																											is
																											situated
																											in
																											the
																											air
																											lock
																											station
																											(8).
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											flexible
																											Aufbau
																											der
																											Konstruktion
																											ermöglicht
																											einen
																											einfachen
																											Austausch
																											der
																											Substrataufnahme
																											zur
																											Integration
																											optionaler
																											Ausstattung
																											wie
																											beispielsweise
																											eines
																											Kipptisches.
																		
			
				
																						The
																											flexible
																											design
																											enables
																											simple
																											exchange
																											of
																											the
																											substrate
																											holder
																											for
																											integrating
																											optional
																											equipment
																											such
																											as
																											a
																											tilting
																											table.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Bei
																											dem
																											erfindungsgemäßen
																											Verfahren
																											zum
																											Heißprägen
																											einer
																											magnetischen
																											Nanopartikel
																											enthaltenden
																											Polymerschicht,
																											insbesondere
																											auf
																											ein
																											Substrat
																											wird
																											zunächst,
																											insbesondere
																											durch
																											einen
																											Roboterarm,
																											das
																											Polymer
																											oder
																											das
																											mit
																											der
																											Polymerschicht
																											zu
																											beschichtende
																											Substrat
																											in
																											die
																											Vorrichtung
																											eingebracht,
																											und
																											zwar
																											auf
																											die
																											Substrataufnahme.
																		
			
				
																						In
																											the
																											method
																											as
																											claimed
																											in
																											the
																											invention
																											for
																											hot
																											embossing
																											of
																											a
																											magnetic
																											nanoparticle-containing
																											polymer
																											layer,
																											especially
																											onto
																											a
																											substrate,
																											first,
																											the
																											polymer
																											or
																											the
																											substrate
																											which
																											is
																											to
																											be
																											coated
																											with
																											the
																											polymer
																											layer
																											is
																											placed
																											in
																											the
																											device,
																											especially
																											by
																											a
																											robot
																											arm,
																											specifically
																											on
																											the
																											substrate
																											receiver.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											Figur
																											1
																											ist
																											ein
																											mit
																											einer
																											Polymerschicht
																											1
																											zu
																											versehendes
																											Substrat
																											2
																											auf
																											einer
																											Substrataufnahme
																											3
																											gezeigt.
																		
			
				
																						FIG.
																											1
																											shows
																											a
																											substrate
																											2
																											which
																											is
																											to
																											be
																											provided
																											with
																											a
																											polymer
																											layer
																											1
																											on
																											a
																											substrate
																											holder
																											3
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Gegenüberliegend
																											zu
																											der
																											Substrataufnahme
																											3
																											ist
																											eine
																											Druckbeaufschlagungseinrichtung
																											5
																											an
																											der
																											Vorrichtung
																											fixiert
																											und
																											die
																											Druckbeaufschlagungseinrichtung
																											5
																											weist
																											einen
																											Druckzylinder
																											7
																											auf,
																											der
																											einen
																											am
																											Druckzylinder
																											7
																											angebrachten
																											Prägestempel
																											4
																											in
																											Richtung
																											des
																											Substrats
																											2
																											verschieben
																											kann.
																		
			
				
																						Opposite
																											the
																											substrate
																											holder
																											3
																											a
																											pressure
																											application
																											means
																											5
																											is
																											fixed
																											on
																											the
																											device
																											and
																											the
																											pressure
																											application
																											means
																											5
																											has
																											a
																											pressure
																											cylinder
																											7
																											which
																											can
																											move
																											an
																											embossing
																											die
																											4
																											which
																											is
																											attached
																											to
																											the
																											pressure
																											cylinder
																											7
																											in
																											the
																											direction
																											of
																											the
																											substrate
																											2
																											.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											Druckzylinder
																											7
																											kann
																											statt
																											auf
																											den
																											Prägestempel
																											4
																											auch
																											auf
																											die
																											Substrataufnahme
																											3
																											und
																											damit
																											das
																											Substrat
																											2
																											wirkend
																											ausgebildet
																											sein,
																											wobei
																											in
																											diesem
																											Fall
																											der
																											Prägestempel
																											4
																											durch
																											einen
																											Stempelhalter
																											fixiert
																											gehalten
																											wird.
																		
			
				
																						The
																											pressure
																											cylinder
																											7
																											can
																											also
																											be
																											made
																											to
																											act
																											on
																											the
																											substrate
																											holder
																											3
																											and
																											thus
																											the
																											substrate
																											2,
																											instead
																											of
																											on
																											the
																											embossing
																											die
																											4,
																											in
																											this
																											case
																											the
																											embossing
																											die
																											4
																											being
																											held
																											fixed
																											by
																											a
																											die
																											holder.
															 
				
		 EuroPat v2