Translation of "Zerstörungsarm" in English
Es
ist
die
Aufgabe
der
Erfindung,
ein
Verfahren
und
eine
Vorrichtung
zur
Untersuchung
von
Strukturen,
insbesondere
funktionsfähigen
Strukturen
auf
Halbleiter-Substraten
anzugeben,
mit
denen
sich
die
Strukturen
zerstörungsarm,
mit
kurzen
Belichtungszeiten,
kontinuierlich,
auch
während
ihres
Betriebs
und
mit
einer
gegenüber
optischen
Mikroskopen
besseren
Auflösung
beobachten
lassen
und
wobei
die
Strukturen
nicht
vom
Substrat
getrennt
werden
müssen.
It
is
the
object
of
the
invention
to
describe
a
method
and
an
apparatus
for
the
examination
of
structures,
in
particular
functional
structures,
on
semiconductor
substrates,
with
which
the
structures
can
be
observed
with
little
destruction,
with
short
exposure
times,
continuously,
even
while
they
are
in
operation,
and
with
a
better
resolution
as
compared
to
optical
microscope,
in
which
context
the
structures
do
not
need
to
be
detached
from
the
substrate.
EuroPat v2