Translation of "Ätzmittel" in English
																						Als
																											bevorzugtes
																											Ätzmittel
																											gemäß
																											der
																											vorliegenden
																											Erfindung
																											wird
																											CF
																											eingesetzt.
																		
			
				
																						The
																											preferred
																											etchant
																											employed
																											in
																											the
																											present
																											process
																											is
																											CF4.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Zur
																											Veraschung
																											von
																											Photoresist
																											ist
																											0
																											2
																											das
																											bevorzugte
																											Ätzmittel.
																		
			
				
																						In
																											ashing
																											photoresist,
																											O2
																											is
																											the
																											preferred
																											etchant.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dadurch
																											erhält
																											das
																											Ätzmittel
																											Zutritt
																											zu
																											neuen
																											Teilen
																											der
																											Trägeroberfläche.
																		
			
				
																						As
																											a
																											result,
																											additional
																											parts
																											of
																											the
																											support
																											surface
																											become
																											accessible
																											to
																											the
																											etchant.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Für
																											die
																											nasschemische
																											Ätzung
																											können
																											die
																											folgenden
																											Ätzmittel
																											verwendet
																											werden:
																		
			
				
																						For
																											the
																											wet
																											chemical
																											etching
																											the
																											following
																											etchants
																											may
																											be
																											used:
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Als
																											Ätzmittel
																											eignen
																											sich
																											hierzu
																											beispielsweise
																											Flußsäure
																											oder
																											Natronlauge.
																		
			
				
																						The
																											etching
																											solution
																											can
																											be
																											hydrofluoric
																											acid
																											or
																											sodium
																											hydroxide.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Periodate
																											sind
																											weiterhin
																											hochselektive
																											Ätzmittel
																											für
																											bestimmte
																											Ruthenium-haltige
																											Oxide.
																		
			
				
																						Periodates
																											are
																											highly
																											selective
																											etchants
																											for
																											certain
																											ruthenium-based
																											oxides.
															 
				
		 WikiMatrix v1
			
																						Ferner
																											sind
																											diese
																											Ätzmittel
																											in
																											der
																											Regel
																											nicht
																											billig.
																		
			
				
																						Also,
																											these
																											discharging
																											agents
																											are
																											as
																											a
																											rule
																											not
																											cheap.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Wesentlich
																											ist,
																											daß
																											das
																											Ätzmittel
																											kein
																											ungebundenes
																											Wasser
																											und
																											kein
																											Ammoniumfluoride
																											enthält.
																		
			
				
																						The
																											solution
																											is
																											substantially
																											free
																											of
																											unbound
																											water
																											and
																											ammonium
																											fluoride.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Ferner
																											zeichnet
																											sich
																											das
																											erfindungsgemäße
																											Ätzmittel
																											durch
																											ein
																											äußerst
																											gleichmäßiges
																											Ätzen
																											aus.
																		
			
				
																						Furthermore,
																											the
																											etching
																											medium
																											of
																											this
																											invention
																											is
																											distinguished
																											by
																											enabling
																											extremely
																											uniform
																											etching.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											freigelegte
																											Kupfer
																											wird
																											mit
																											einem
																											alkalischen
																											Ätzmittel
																											weggeätzt.
																		
			
				
																						The
																											bared
																											copper
																											was
																											then
																											etched
																											away
																											with
																											an
																											alkaline
																											etching
																											agent.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Ein
																											vorteilhaftes
																											Ätzmittel
																											enthält
																											Ammoniak
																											oder
																											ein
																											Amin
																											und
																											Wasserstoffperoxid.
																		
			
				
																						One
																											advantageous
																											etching
																											agent
																											contains
																											ammonia
																											or
																											an
																											amine
																											and
																											hydrogen
																											peroxide.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Als
																											Ätzmittel
																											kann
																											hierfür
																											beispielsweise
																											Cholin
																											herangezogen
																											werden.
																		
			
				
																						Choline,
																											for
																											example,
																											can
																											be
																											used
																											as
																											the
																											etchant
																											for
																											this
																											purpose.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Ätzmittel
																											kann
																											deshalb
																											nur
																											auf
																											die
																											schichtfreien
																											Bereiche
																											des
																											Schichtträgers
																											einwirken.
																		
			
				
																						The
																											etchant
																											is
																											therefore
																											able
																											to
																											act
																											only
																											on
																											the
																											coating-free
																											regions
																											of
																											the
																											coating
																											base.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Als
																											Ätzmittel
																											ist
																											z.
																											B.
																											5
																											%ige
																											HF
																											geeignet.
																		
			
				
																						For
																											example,
																											5%
																											HF
																											is
																											suitable
																											as
																											the
																											etchant.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Als
																											Ätzmittel
																											kommt
																											KOH
																											in
																											Frage.
																		
			
				
																						KOH
																											is
																											one
																											possible
																											etchant.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Deshalb
																											ist
																											ein
																											Wassergehalt
																											im
																											Ätzmittel
																											von
																											maximal
																											20
																											Gew.-%
																											durchaus
																											tolerierbar.
																		
			
				
																						Consequently,
																											a
																											water
																											content
																											in
																											the
																											etchant
																											of
																											at
																											most
																											20%
																											by
																											weight
																											is
																											quite
																											acceptable.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Als
																											Ätzmittel
																											kommen
																											alle
																											für
																											laseraktives
																											Ätzen
																											bekannten
																											Flüssigkeiten
																											und
																											Gase
																											in
																											Betracht.
																		
			
				
																						Coming
																											into
																											consideration
																											as
																											etching
																											agent
																											are
																											all
																											liquids
																											and
																											gasses
																											known
																											for
																											laser-active
																											etching.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Zur
																											Veraschung
																											von
																											Photoresist
																											ist
																											O
																											2
																											das
																											bevorzugte
																											Ätzmittel.
																		
			
				
																						In
																											ashing
																											photoresist,
																											O2
																											is
																											the
																											preferred
																											etchant.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Es
																											ist
																											auch
																											vorteilhaft,
																											daß
																											das
																											Ätzmittel
																											vor
																											dem
																											Besprühen
																											aufgeheizt
																											wird.
																		
			
				
																						It
																											is
																											also
																											advantageous
																											to
																											heat
																											the
																											etchant
																											prior
																											to
																											spraying.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Zur
																											Sichtbarmachung
																											des
																											Gefüges
																											wurden
																											folgende
																											Ätzmittel
																											verwendet:
																		
			
				
																						To
																											visualize
																											the
																											structure,
																											the
																											following
																											etchants
																											were
																											used:
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Für
																											Fe
																											und
																											Fe-10%Mn-Varianten
																											wurde
																											Nital
																											als
																											Ätzmittel
																											verwendet.
																		
			
				
																						For
																											Fe
																											and
																											Fe-10%
																											Mn
																											exemplary
																											embodiments,
																											Nital
																											was
																											used
																											as
																											the
																											etchant.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Ätzmittel
																											schließen
																											Fluorkohlenwasserstoffe
																											und
																											andere
																											fluorierte
																											Materialien
																											ein.
																		
			
				
																						Etchants
																											include
																											fluorocarbons
																											and
																											other
																											fluorinated
																											materials.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Jeglicher
																											Einfluss
																											von
																											Ätzmittel
																											auf
																											die
																											gelaserte
																											Struktur
																											wird
																											vermieden.
																		
			
				
																						Any
																											influence
																											of
																											etching
																											agent
																											on
																											the
																											laser
																											cut
																											structure
																											is
																											prevented.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Bei
																											dem
																											Ätzmittel
																											kann
																											es
																											sich
																											beispielsweise
																											um
																											eine
																											Säure
																											oder
																											Lauge
																											handeln.
																		
			
				
																						The
																											etchant
																											may
																											be,
																											for
																											example,
																											an
																											acid
																											or
																											an
																											alkali.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											anisotrope
																											Plasma-Tiefenätzverfahren
																											verwendet
																											gasförmige
																											Ätzmittel
																											und
																											es
																											werden
																											gasförmige
																											Reaktionsprodukte
																											gebildet.
																		
			
				
																						The
																											anisotropic
																											plasma
																											deep
																											etching
																											method
																											uses
																											gaseous
																											etching
																											agents
																											and
																											gaseous
																											reaction
																											products
																											are
																											formed.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dies
																											kann
																											durch
																											ein
																											Ätzmittel
																											wie
																											eine
																											Säure
																											oder
																											Lauge
																											erfolgen.
																		
			
				
																						This
																											can
																											be
																											accomplished
																											by
																											means
																											of
																											an
																											etchant
																											such
																											as
																											an
																											acid
																											or
																											alkali.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Für
																											ein
																											partielles
																											Ätzen
																											der
																											Funktionsschicht
																											sind
																											deshalb
																											geeignete
																											Ätzmittel
																											notwendig.
																		
			
				
																						For
																											partial
																											etching
																											of
																											the
																											functional
																											layer,
																											therefore,
																											suitable
																											etchants
																											are
																											needed.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Als
																											Ätzmittel
																											für
																											die
																											erste
																											Schicht
																											können
																											beispielsweise
																											Laugen
																											oder
																											Säuren
																											vorgesehen
																											sein.
																		
			
				
																						By
																											way
																											of
																											example
																											lyes
																											or
																											acids
																											can
																											be
																											provided
																											as
																											the
																											etching
																											agent
																											for
																											the
																											first
																											layer.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Alternativ
																											wird
																											Brommethanol
																											als
																											Ätzmittel
																											eingesetzt.
																		
			
				
																						Alternatively,
																											bromomethanol
																											is
																											used
																											as
																											the
																											etching
																											agent.
															 
				
		 EuroPat v2