Translation of "Ätzer" in English
Die
entwickelten
Proben
wurden
dann
in
einen
Ätzer
(International
Corporation
Model
1813)
gegeben
und
2
Minuten
lang
in
einer
Atmosphäre
von
CF
4
und
8
Volumprozent
Sauerstoff
bei
einer
Leistung
von
25
Watt
und
einem
Druck
von
0,5
Torr
behandelt
und
anschließend
30
Minuten
lang
in
einer
Stickstoffatmosphäre
bei
210
°C
gehärtet.
The
developed
samples
were
then
placed
in
an
International
Corp.
Model
1813
etcher/stripper
and
treated
with
an
atmosphere
of
CF4
plus
about
8%
by
volume
oxygen
at
a
power
of
25
watts
at
a
pressure
of
0.5
torr
for
2
minutes
after
which
the
samples
were
baked
in
a
nitrogen
atmosphere
at
210°
C.
for
30
minutes.
EuroPat v2
Die
entwickelten
Proben
wurden
dann
in
einen
Ätzer
gegeben
und
2
Minuten
lang
in
einer
Atmosphäre
von
CF
4
und
8
Volumprozent
Sauerstoff
bei
einer
Leistung
von
25
Watt
und
einem
Druck
von
0,6666
mbar
behandelt
und
anschliessend
30
Minuten
lang
in
einer
Stickstoffatmosphäre
bei
210°C
gehärtet.
Model
1813
etcher/stripper
and
treated
with
an
atmosphere
of
CF4
plus
about
8%
by
volume
oxygen
at
a
power
of
25
watts
at
a
pressure
of
0.5
torr
for
2
minutes
after
which
the
samples
were
baked
in
a
nitrogen
atmosphere
at
210°
C.
for
30
minutes.
EuroPat v2