Translation of "Ätzung" in English
																						Die
																											Schichtdicke
																											von
																											PtSi
																											in
																											den
																											Kontaktbohrungen
																											nach
																											der
																											Ätzung
																											zeigt
																											nachfolgende
																											Aufstellung:
																		
			
				
																						The
																											PtSi
																											thickness
																											in
																											the
																											contact
																											holes,
																											after
																											etching
																											is
																											shown
																											below:
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Bei
																											der
																											elektrolytischen
																											Ätzung
																											von
																											Aluminiumfolien
																											erfolgt
																											eine
																											Oberflächenvergrößerung.
																		
			
				
																						In
																											electrolytically
																											etching
																											aluminum
																											foils,
																											an
																											enlargement
																											of
																											a
																											surface
																											area
																											will
																											occur.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											Ergebnis
																											ist
																											eine
																											Hoch-
																											ätzung,
																											d.h.
																											die
																											Spule
																											erscheint
																											erhaben.
																		
			
				
																						The
																											result
																											is
																											a
																											relief
																											etching,
																											that
																											is
																											to
																											say,
																											the
																											coil
																											appears
																											to
																											be
																											raised.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Diese
																											Öffnungen
																											werden
																											durch
																											übliche
																											photolithographische
																											Verfahren
																											und
																											durch
																											Ätzung
																											hergestellt.
																		
			
				
																						These
																											openings
																											are
																											formed
																											by
																											the
																											conventional
																											photolithography
																											and
																											etching
																											techniques.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											gewünschte
																											Ergebnis
																											dieser
																											Ätzung
																											ist
																											in
																											Fig.
																		
			
				
																						The
																											desired
																											result
																											of
																											the
																											etching
																											is
																											shown
																											in
																											FIG.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Für
																											die
																											nasschemische
																											Ätzung
																											können
																											die
																											folgenden
																											Ätzmittel
																											verwendet
																											werden:
																		
			
				
																						For
																											the
																											wet
																											chemical
																											etching
																											the
																											following
																											etchants
																											may
																											be
																											used:
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Dauer
																											dieses
																											Ätzschrittes
																											ergibt
																											die
																											Größe
																											der
																											lateralen
																											Ätzung.
																		
			
				
																						The
																											duration
																											of
																											this
																											etch
																											step
																											determines
																											the
																											amount
																											of
																											lateral
																											etching.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						3D
																											im
																											vorigen
																											Beispiel)
																											vor
																											der
																											eigentlichen
																											lateralen
																											Ätzung
																											verzichtet.
																		
			
				
																						3D
																											in
																											the
																											previous
																											embodiment)
																											was
																											not
																											carried
																											out
																											before
																											lateral
																											etching.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Durch
																											die
																											elektrochemische
																											Ätzung
																											wird
																											die
																											Oberfläche
																											des
																											Siliziumsubstrats
																											auf
																											charakteristische
																											Weise
																											strukturiert.
																		
			
				
																						As
																											a
																											result
																											of
																											the
																											electro-chemical
																											etching,
																											the
																											surface
																											of
																											the
																											silicon
																											substrate
																											is
																											structured
																											in
																											a
																											characteristic
																											way.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Nach
																											dem
																											Feinhonen
																											erfolgt
																											als
																											letzter
																											Bearbeitungsschritt
																											eine
																											elektrochemische
																											oder
																											stromlose
																											Ätzung.
																		
			
				
																						The
																											finish
																											honing
																											is
																											succeeded
																											by
																											a
																											final
																											processing
																											step,
																											which
																											consists
																											of
																											an
																											electrochemical
																											or
																											currentless
																											etching.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Führungsnuten
																											einschließlich
																											der
																											Aufweitung
																											können
																											durch
																											Prägung
																											oder
																											Ätzung
																											hergestellt
																											werden.
																		
			
				
																						The
																											guide
																											channels
																											including
																											the
																											widened
																											portion
																											can
																											be
																											produced
																											by
																											stamping
																											or
																											by
																											etching.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Durch
																											das
																											Vorliegen
																											des
																											allseitigen
																											Plasmaeinschlusses
																											wird
																											eine
																											gleichmäßige
																											und
																											intensive
																											Ätzung
																											ermöglicht.
																		
			
				
																						A
																											uniform
																											and
																											intense
																											etching
																											is
																											permitted
																											because
																											the
																											substrate
																											is
																											surrounded
																											on
																											all
																											sides
																											by
																											the
																											plasma.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Fertigungstechnisch
																											ist
																											z.
																											B.
																											insbesondere
																											die
																											fotolackmaskierte
																											selektive
																											Ätzung
																											der
																											Passivierungsschicht
																											von
																											Bedeutung.
																		
			
				
																						Production
																											engineering-wise,
																											the
																											selective
																											etching
																											of
																											the
																											photoresist-masked
																											passivation
																											film
																											in
																											particular
																											is
																											of
																											significance.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Selektivität
																											der
																											Ätzung
																											wird
																											auf
																											diese
																											Weise
																											effektiv
																											verbessert.
																		
			
				
																						The
																											selectivity
																											of
																											the
																											etching
																											is
																											effectively
																											improved
																											in
																											this
																											way.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Lochöffnungen
																											13
																											sind
																											mit
																											Hilfe
																											einer
																											elektrochemischen
																											Ätzung
																											gebildet.
																		
			
				
																						The
																											hole
																											openings
																											13
																											are
																											formed
																											by
																											electro-chemical
																											etching.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Diese
																											Oszillationen
																											sind
																											infolge
																											der
																											Ätzung
																											der
																											Maske
																											amplitudenmoduliert.
																		
			
				
																						These
																											oscillations
																											are
																											amplitude
																											modulated
																											as
																											a
																											result
																											of
																											the
																											resist
																											being
																											etched.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Dieser
																											zeigt
																											die
																											Ergebnisse
																											einer
																											selektiven
																											Ätzung.
																		
			
				
																						This
																											illustrates
																											the
																											results
																											of
																											a
																											selective
																											etching
																											operation.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											gewünschte
																											Resultat
																											dieser
																											Ätzung
																											ist
																											in
																											Fi
																											q
																											.
																		
			
				
																						The
																											desired
																											result
																											of
																											the
																											etching
																											is
																											shown
																											in
																											FIG.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Das
																											gewünschte
																											Resultat
																											dieser
																											Ätzung
																											ist
																											in
																											Fig.
																		
			
				
																						The
																											desired
																											result
																											of
																											the
																											etching
																											is
																											shown
																											in
																											FIG.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Der
																											Endpunkt
																											der
																											Ätzung
																											wird
																											mittels
																											Laserinterferenz
																											bestimmt.
																		
			
				
																						The
																											endpoint
																											of
																											etching
																											is
																											determined
																											by
																											laser
																											interference.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Endpunktsbestimmung
																											der
																											Ätzung
																											erfolgt
																											durch
																											Laserinterferenz.
																		
			
				
																						The
																											etch
																											end
																											point
																											is
																											determined
																											by
																											laser
																											interference.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											isotrope
																											Ätzung
																											erfolgt
																											dann
																											mit
																											Flußsäure
																											oder
																											Phosphorsäure.
																		
			
				
																						The
																											isotropic
																											etching
																											is
																											then
																											carried
																											out
																											with
																											hydrofluoric
																											acid
																											or
																											phosphoric
																											acid.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Ätzung
																											erfolgt
																											zum
																											Beispiel
																											naßchemisch
																											mit
																											Cholin.
																		
			
				
																						The
																											etching
																											is
																											done,
																											for
																											example,
																											wet-chemically
																											with
																											choline.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Ätzung
																											erfolgt
																											selektiv
																											zu
																											SiO
																											2
																											.
																		
			
				
																						The
																											etching
																											occurs
																											selectively
																											relative
																											to
																											SiO2.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Ätzung
																											des
																											Hohlraums
																											6
																											wird
																											von
																											der
																											Seite
																											durchgeführt.
																		
			
				
																						The
																											etching
																											of
																											the
																											cavity
																											6
																											is
																											carried
																											out
																											from
																											the
																											side.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											Unterbau-Stoppschicht
																											105
																											wird
																											dann
																											beispielsweise
																											durch
																											eine
																											naßchemische
																											Ätzung
																											entfernt.
																		
			
				
																						The
																											substructure
																											stop
																											layer
																											105
																											is
																											then
																											removed
																											by
																											wet
																											chemical
																											etching,
																											for
																											example.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Die
																											naßchemische
																											Ätzung
																											ist
																											selektiv
																											gegenüber
																											Oxid.
																		
			
				
																						The
																											wet
																											chemical
																											etching
																											is
																											selective
																											with
																											respect
																											to
																											oxide.
															 
				
		 EuroPat v2