Übersetzung für "Entladespannung" in Englisch
Figur
2
zeigt
die
Entladespannung
in
Abhängigkeit
vom
O?-Fluss
in
Form
einer
Kurve.
FIG.
2
shows
the
discharge
voltage
in
relation
to
the
O2
--flow
in
the
form
of
a
curve.
EuroPat v2
Die
dabei
resultierende
Entladespannung
wird
über
die
Zeit
aufgetragen
und
graphisch
dargestellt.
The
resulting
discharge
voltage
is
plotted
over
time
and
displayed
graphically.
ParaCrawl v7.1
Die
Ladespannung
ist
um
ca.
0,2
höher
als
die
Entladespannung
der
Energieerzeugung.
The
charging
voltage
is
about
0.2
higher
than
the
discharge
voltage
in
energy
generation.
EuroPat v2
Vorzugsweise
ist
die
Ladespannung
größer
als
die
Entladespannung
des
Kondensators.
Preferably,
the
charge
voltage
is
greater
than
the
discharge
voltage
of
the
capacitor.
EuroPat v2
Die
Entladespannung
wird
gemessen
und
gespeichert
und
kann
im
Prüfbericht
dokumentiert
werden.
The
discharge
voltage
is
measured
and
recorded.
ParaCrawl v7.1
Sie
bieten
außerdem
eine
hohe
mittlere
Entladespannung
und
können
relativ
schnell
geladen
werden.
In
addition,
they
offer
a
high
average
discharge
voltage
and
can
be
charged
relatively
quickly.
ParaCrawl v7.1
Der
eingeführte
Sauerstoff
beeinflußt
bei
konstanter
elektrischer
Leistung
die
an
den
Kathoden
der
Prozeßkammer
anstehende
Entladespannung.
The
introduced
oxygen
at
a
constant
electrical
power
affects
the
discharge
voltage
at
the
cathodes
of
the
process
chamber.
EuroPat v2
Dabei
ist
die
Überladeerkennungseinheit
zur
Erkennung
einer
Überladung
des
Energiespeichers
anhand
der
ersten
Entladespannung
ausgeführt.
In
this
case,
the
overcharging
identification
unit
is
designed
to
identify
overcharging
of
the
energy
store
on
the
basis
of
the
first
discharge
voltage.
EuroPat v2
Dieser
Zeitpunkt
ist
genau
dann
erreicht,
wenn
ein
asymptotisches
Verhalten
der
Entladespannung
U
e
vorliegt.
This
point
is
reached
at
exactly
the
moment
when
there
is
an
asymptotic
behavior
of
the
discharge
voltage
U
e
.
EuroPat v2
Es
ist
mit
Hochenergiedichte,
stabiler
Entladespannung,
Hochtemperaturbeständigkeit
und
langer
Lebensdauer
und
Umweltschutz
ausgestattet.
It
is
featured
with
high-energy
density,
stable
discharge
voltage,
high-temperature
resistance
and
long
lifespan
and
environment
protection.
ParaCrawl v7.1
Zum
einen
kann
die
Entladespannung
mit
Hilfe
der
Widerstände
im
Entladestromkreis
und
zum
anderen
kann
die
Ladesteilheit
durch
Änderung
der
Widerstände
im
Ladestromkreis
eingestellt
werden.
The
discharging
voltage
can
be
adjusted
by
means
of
the
resistors
in
the
discharging
circuit
while
the
charging
gradient
can
be
adjusted
by
modifying
the
resistors
in
the
charging
circuit.
EuroPat v2
Die
Verwendung
einer
steuerbaren
Schalteinrichtung
ST,
mit
der
der
Ladestromkreis
unterbrechbar
ist,
ergibt
die
Möglichkeit,
die
Impulse
an
den
Antriebselementen
P1
bis
Pn
um
einen
flachen
Teil
mit
der
Amplitude
der
Entladespannung
zu
verlängern.
The
use
of
a
controllable
switching
device
ST,
by
means
of
which
the
charging
circuit
can
be
interrupted,
provides
the
further
possibility
of
extending
the
pulses
across
the
operating
elements
P1
through
Pn
by
an
additional
flat
component
having
an
amplitude
equal
to
the
discharging
voltage.
EuroPat v2
Gute
Ergebnisse
werden
bei
einer
Behandlungsdauer
von
15
min
bei
einem
Entladestrom
von
30
mA,
einer
Entladespannung
von
600
V
und
einem
Vakuum
von
0,5
Torr
erzielt.
Good
results
are
achieved
with
a
treatment
time
of
15
min.
at
a
discharge
current
of
30
mA,
a
discharge
voltage
of
600
V
and
a
vacuum
of
0.5
mm
Hg.
EuroPat v2
Über
ein
RC-Koppelglied
(9,
10)
wird
die
Entladespannung
U
2
auf
einen
Eingang
(16)
[IN]
des
Mikrocomputers
(3)
übertragen.
The
discharge
voltage
V2
will
be
transmitted
by
way
of
an
RC
connector
9,
10
to
an
entry
terminal
16
(IN)
of
microprocessor
3.
EuroPat v2
Im
einzelnen
wird
vorgeschlagen,
daß
der
durch
den
Wert
der
Arbeitsspannung
(Entladespannung)
definierte
Arbeitspunkt
der
Sputteranlage
durch
Dosierung
des
in
die
Prozesskammer
eingeleiteten
Reaktivgases,
beispielsweise
O?,
eingestellt
und
konstant
bzw.
annähernd
konstant
gehalten
wird.
In
detail,
the
invention
proposes
that
the
working
point
of
the
sputtering
system,
as
defined
by
the
value
of
the
operating
voltage
(discharge
voltage),
be
adjusted
and
maintained
constant
or
approximately
constant
by
metering
the
supply
of
reactive
gas,
for
example
O2,
to
the
process
chamber.
EuroPat v2
Die
Verwendung
von
Magnetfeldern
kann
ausserdem
vorteilhaft
sein,
weil
dadurch
die
Entladespannung
erniedrigt
wird,
welches
die
Elektrodeninstallation
bedeutend
vereinfacht
und
die
Verwendung
kostengünstigerer
Speisungen
zulässt.
The
use
of
magnetic
fields
can
also
be
advantageous
as
it
lowers
the
discharge
voltage,
which
considerably
simplifies
the
electrode
installation
and
allows
the
use
of
more
economical
supplies.
EuroPat v2
Mit
dem
Schalter
4
wird
die
nach
Öffnen
des
Schalters
la
am
RC-Glied
anstehende
Entladespannung
einem
Eingang
6
des
Mikroprozessors
3
zugeführt,
der
mit
einem
Analog-Digital-Konverter
verbunden
ist.
The
discharge
voltage
present
at
R-C
stage
5
is
conducted
via
switch
4,
after
switch
1a
has
been
opened,
to
an
input
6
of
microprocessor
3.
Input
6
of
the
microprocessor
is
connected
to
an
analog-to-digital
(A/D)
converter.
EuroPat v2
Dabei
wird
der
erste
Kondensator
im
Bereich
der
Abfallflanke
des
Sägezahns
in
Richtung
des
am
Ausgang
des
Operationsverstärkers
anliegenden
Massepotentials
entladen,
während
für
den
weiteren
Kondensator
als
Entladespannung
eine
Spannung
grösser
als
Null
vorgegeben
ist.
The
first
capacitor
is
discharged
in
the
vicinity
of
the
end
of
trailing
edge
of
the
sawtooth
wave,
in
the
direction
of
the
ground
potential
connected
to
the
output
of
the
operational
amplifier,
while
a
voltage
greater
than
zero
is
prespecified
as
the
discharge
voltage
for
the
further
capacitor.
EuroPat v2
Die
Geberspannung
wird
über
den
ersten
Widerstand
5
zum
Verbindungspunkt
A
weitergeleitet,
an
dem
die
doppelt
so
hoch
bewertete
Geberspannung
20
und
die
Entladespannung
21
überlagert
werden.
The
transducer
voltage
is
carried
further
via
the
first
resistor
5
to
the
junction
A,
at
which
the
transducer
voltage
20,
at
twice
the
value,
and
the
discharge
voltage
21
are
superimposed.
EuroPat v2
Im
vorliegenden
Ausführungsbeispiel
wird
die
negative
Entladespannung
21
zur
Verschiebung
der
positiven
Halbwelle
der
Geberspannung
20
verwendet,
womit
bereits
eine
ausreichende
Genauigkeit
erreicht
wird.
In
the
present
exemplary
embodiment,
the
negative
discharge
voltage
21
is
utilized
for
shifting
the
positive
wave
half
of
the
transducer
voltage
20,
thereupon
already
attaining
sufficient
precision.
EuroPat v2
Die
Messung
ist
beendet,
sobald
die
sinkende
Entladespannung
einen
vom
Komparator
12
gebildeten
Schwellwert
U
C
unterschritten
hat.
The
measurement
is
completed
as
soon
as
the
declining
discharge
voltage
drops
below
a
threshold
value
VC
determined
by
the
comparator
12.
EuroPat v2
Mit
dem
Schalter
4
wird
die
nach
Öffnen
des
Schalters
1a
am
RC-Glied
anstehende
Entladespannung
einem
Eingang
6
des
Mikroprozessors
3
zugeführt,
der
mit
einem
Analog-Digital-Konverter
verbunden
ist.
The
discharge
voltage
present
at
R-C
stage
5
is
conducted
via
switch
4,
after
switch
1a
has
been
opened,
to
an
input
6
of
microprocessor
3.
Input
6
of
the
microprocessor
is
connected
to
an
analog-to-digital
(A/D)
converter.
EuroPat v2
Aufgrund
der
installierten
Regelcharakteristik
wird
der
O?-Zufluss
in
die
Prozesskammer
derart
geregelt,
daß
die
vorgegebene
Entladespannung
(Arbeitsspannung)
konstant
bleibt.
On
the
basis
of
the
installed
control
characteristic
the
flow
of
O2
is
regulated
in
such
a
manner
that
the
established
discharge
voltage
(working
voltage)
remains
constant.
EuroPat v2
Die
Entladespannung
am
induktiven
Energiespeicher,
der
Spule,
kann
somit
über
die
Spannung
am
kapazitiven
Energiespeicher,
dem
Kondensator,
beliebig
eingestellt
werden.
As
a
result,
the
discharge
voltage
at
the
inductive
accumulator,
that
is
at
the
coil,
can
be
adjusted
to
any
desired
value
by
way
of
the
voltage
at
the
capacitive
energy
accumulator
that
is
the
capacitor.
EuroPat v2
Die
ansteigende
Ladespannung
oder
abfallende
Entladespannung
des
Kondensators
wird
als
Dämpfungsrampe
benutzt,
mittels
welcher
beim
Stummsteuern
die
Amplitude
des
zu
dämpfenden
Signals
zunehmend
bis
auf
Null
reduziert
und
beim
Verlassen
des
Stummzustandes
die
Amplitude
des
Signals
von
Null
aus
zunehmend
vergrößert
wird.
The
increasing
charging
voltage
or
the
decreasing
discharging
voltage
of
the
capacitor
is
utilized
as
an
attenuation
ramp
by
means
of
which
the
amplitude
of
the
signal
to
be
attenuated
is
increasingly
reduced
down
to
zero
during
muting
and,
upon
leaving
the
mute
condition,
the
amplitude
of
the
signal
is
increasingly
raised
starting
from
zero.
EuroPat v2
Eine
abgegriffene
Entladespannung
wird
mit
Hilfe
einer
Spannungseffektivwerterfassung
als
Gleichspannung
einem
Regler
zugeführt,
der
wiederum
ein
Magnetventil
für
die
Zuführung
eines
Reaktivgases
ansteuert,
und
zwar
derart,
dass
die
gemessene
Spannung
die
erforderliche
Reaktivgasmenge
bestimmt.
With
the
aid
of
a
voltage
effective
value
acquisition
a
tapped-off
discharge
voltage
is
supplied
as
DC
voltage
to
a
regulator,
which,
in
turn,
drives
a
magnetic
valve
for
the
supplying
of
a
quantity
of
reactive
gas
and
specifically
such
that
the
measured
voltage
governs
the
required
reactive
gas
quantity.
EuroPat v2
Die
Regelung
der
Plasmaimpedanz
erfolgt
über
die
Entladespannung,
die
zur
Beibehaltung
der
von
einer
Mittelfrequenz-Stromversorgung
konstant
gehaltenen
Leistung
erforderlich
ist.
The
regulation
of
the
plasma
impedance
takes
place
via
the
discharge
voltage,
which
is
required
for
maintaining
the
power
kept
constant
by
a
medium
frequency
current
supply.
EuroPat v2
Ausgehend
von
den
erwähnten
Arbeitspunktwerten
wurde
nun
der
Entladestrom
I
AK
variiert,
durch
Einstellung
der
Entladespannung
U
AK
und
gegebenenfalls
Variation
des
Kathoden-Heizstromes.
Based
on
the
above-mentioned
operating
point
values,
the
discharge
current
I
AK
was
now
varied
by
adjusting
the
discharge
voltage
U
AK
and
optionally
the
variation
of
the
cathode
heating
current.
EuroPat v2