Übersetzung für "Facettenspiegel" in Englisch
Am
Innenrahmen
ist
ein
stabilisierender
Kreiselrotor
gelagert,
der
einen
ringförmigen
Facettenspiegel
trägt.
A
stabilizing
gyro
rotor
is
supported
at
the
inner
gimbal
and
carries
an
annular
facetted
mirror.
EuroPat v2
Die
Erfindung
betrifft
auch
einen
nach
dem
Verfahren
hergestellten
Facettenspiegel.
The
invention
also
relates
to
a
faceted
mirror
produced
by
the
method.
EuroPat v2
Die
Erfindung
betrifft
einen
Facettenspiegel
für
die
EUV-Projektionslithografie.
The
disclosure
relates
to
a
facet
mirror
for
EUV
projection
lithography.
EuroPat v2
Die
Detektoreinrichtung
19
weist
nun
einen
Facettenspiegel
30
auf,
der
einzelne
Facetten
31
trägt.
The
detector
device
19
now
has
a
multi-facet
mirror
30
which
carries
individual
facets
31
.
EuroPat v2
Der
Facettenspiegel
10
weist
in
dem
hier
dargestellten
Ausschnitt
des
Ausführungsbeispiels
drei
der
Spiegelfacetten
11
auf.
In
the
detail
of
the
exemplary
embodiment
illustrated
here,
the
facet
mirror
10
has
three
of
the
mirror
facets
11
.
EuroPat v2
Ein
am
Innenrahmen
sitzender
Umlenkspiegel
lenkt
den
Strahlengang
schräg
zur
Seite
auf
den
Facettenspiegel,
von
dem
das
abbildende
Lichtbündel
über
weitere
optische
Gllieder
auf
den
innenrahmenfesten
Detektor
geleitet
wird.
A
deflecting
mirror
disposed
at
the
inner
gimbal
deflects
the
path
of
rays
laterally
obliquely
to
the
facetted
mirror
from
which
the
imaging
light
beam
is
directed
to
the
detector,
which
is
fixed
with
respect
to
the
inner
gimbal,
via
further
optical
members.
EuroPat v2
Die
beiden
aktiven
Spiegel
43'
und
43''
sind
als
Facettenspiegel
ausgebildet,
die
jeweils
dieselbe
Anzahl
von
sphärischen
Facettenflächen
96
bzw.
97
haben.
The
active
mirrors
43'
and
43"
are
shaped
as
facet
mirrors
each
having
a
plurality
of
facets.
EuroPat v2
Der
vorliegenden
Erfindung
liegt
auch
die
Aufgabe
zugrunde,
einen
Facettenspiegel
mit
einer
Vielzahl
von
einzelnen
optischen
Spiegelelementen
zu
bilden,
der
eine
homogene
Beleuchtungsverteilung
bzw.
homogene
Ausleuchtung
und
eine
sehr
exakte
Strahlmischung
und
Feldabbildung
erzeugt.
The
present
invention
is
based
on
the
object
of
forming
a
faceted
mirror
with
a
multiplicity
of
individual
optical
mirror
elements
which
produces
a
homogeneous
lighting
distribution
or
homogeneous
illumination
and
very
exact
beam
mixing
and
field
imaging.
EuroPat v2
Da
durch
den
Galvanisierungsprozeß
exakt
nachvollziehbare
Verhältnisse
geschaffen
werden,
läßt
sich
auf
diese
Weise
z.B.
ein
Facettenspiegel
bilden,
der
die
homogene
Ausleuchtung
eines
Feldes
ermöglicht,
womit
eine
entsprechend
gute
Strahlmischung
und
eine
exakte
Feldabbildung
möglich
werden.
Since
exactly
reproducible
conditions
are
created
by
the
galvanoplastic
process,
in
this
way
it
is
possible
for
example
to
form
a
faceted
mirror
which
permits
the
homogeneous
illumination
of
a
field,
thereby
making
correspondingly
good
beam
mixing
and
exact
field
imaging
possible.
EuroPat v2
Das
Licht
einer
Quelle
2,
z.B.
eines
Lasers,
wird
über
einen
Kollektorspiegel
3
auf
den
Facettenspiegel
1
geworfen,
wo
es
mit
der
gewünschten
gleichmäßigen
Ausleuchtung
über
einen
Umlenkspiegel
4
einem
Reticle
(Maske)
5
zugeführt
wird.
The
light
of
a
source
2,
for
example
of
a
laser,
is
cast
via
a
collector
mirror
3
onto
the
faceted
mirror
1,
where
it
is
fed
with
the
desired
uniform
illumination
via
a
deflecting
mirror
4
to
a
reticle
(mask)
5
.
EuroPat v2
Der
Grundkörper
8
kann
z.B.
auf
galvanische
Weise
abgeformt
sein,
wobei
dessen
Funktionsfläche
bezüglich
Krümmung,
Position
und
Lage
den
Forderungen
entspricht,
die
an
den
fertigen
Facettenspiegel
1
gestellt
werden.
The
basic
body
8
may
be
formed
for
example
by
galvanic
means,
its
functional
surface
corresponding
with
respect
to
curvature
and
position
to
the
requirements
which
the
finished
faceted
mirror
1
has
to
meet.
EuroPat v2
Auf
diese
Weise
ergibt
sich
am
Ende
ein
Facettenspiegel
als
praktisch
ein
einziges
monolithisches
Teil
in
äußerst
präziser
Ausgestaltung.
In
this
way,
a
faceted
mirror
is
finally
obtained
as
virtually
a
single
monolithic
part
in
an
extremely
precise
form.
EuroPat v2
Die
Hilfsstruktur
kann
zur
genaueren
Anpassung
aus
mehreren
Einzelstempeln
12a,
12b,
12c...
zusammengesetzt
sein,
die
zusammen
eine
Oberfläche
in
Negativform
für
den
herzustellenden
Facettenspiegel
bilden
und
bei
einer
sphärischen
Fläche
entsprechend
auf
Abstand
zueinander
liegen
bzw.
Zwischenräume
aus
Platzgründen
vorsehen.
For
more
accurate
adaptation,
the
auxiliary
structure
may
be
made
up
of
a
plurality
of
individual
dies
12
a,
12
b,
12
c
.
.
.,
which
together
form
a
surface
in
negative
form
for
the
faceted
mirror
to
be
produced
and,
in
the
case
of
a
spherical
surface,
lie
correspondingly
at
a
distance
from
one
another,
or
provide
intermediate
gaps
for
reasons
of
space.
EuroPat v2
Verfahren
nach
einem
der
Ansprüche
1
bis
4,
dadurch
gekennzeichnet,
daß
der
Laserstrahl
(3)
mit
einem
Schwingspiegelsystem
(4)
oder
einem
Facettenspiegel
in
Bezug
auf
die
Brennfleckgeometrie
und/oder
auf
die
Intensitätsverteilung
im
Brennfleck
beeinflußt
wird.
Method
according
to
claim
1
characterized
in
that
the
laser
beam
(3)
is
influenced,
with
regard
to
at
least
one
of
the
focal
spot
geometry
and
the
intensity
distribution
in
the
focal
spot,
by
means
of
one
of
an
oscillating
mirror
system
(4)
ad
a
faceted
mirror.
EuroPat v2
Wenn
wir
die
erste
Option
zu
prüfen,
müssen
Sie
festlegen,
dass
ein
Facettenspiegel
gefärbt
werden
können,
und
gebogen,
und
gelten
als
die
wichtigsten
in
den
Spiegel
als
Markennamen
zu
sein,
Logos.
If
we
consider
the
first
option,
you
must
specify
that
a
facet
mirror
can
be
colored
and
curved,
and
are
considered
to
be
the
most
relevant
in
the
mirror
as
brand
names,
logos.
ParaCrawl v7.1
Die
optischen
Umlenkmittel
umfassen
dabei
vorzugsweise
ein
keilförmiges
optisches
Prisma,
eine
Sammellinse,
ein
holografisches
optisches
Element,
ein
diffraktives
optisches
Element,
einen
Umlenk-,
Dach-
und/oder
einen
Facettenspiegel.
The
optical
deflection
means
in
this
instance
preferably
comprise
a
wedge-like
optical
prism,
a
collecting
lens,
a
holographic
optical
element,
a
diffractive
optical
element,
a
deflection
mirror,
a
roof
type
mirror
and/or
a
bevelled
mirror.
EuroPat v2
Derartige
Facettenspiegel
sind
aus
einer
Vielzahl
von
Einzelspiegeln
oder
Spiegelfacetten
aufgebaut,
welche
jeweils
zum
Zwecke
der
Justage
oder
auch
zur
Realisierung
bestimmter
Beleuchtungswinkelverteilungen
über
Festkörpergelenke
kippbar
ausgelegt
sein
können.
Such
facet
mirrors
are
constructed
from
a
multiplicity
of
individual
mirrors
or
mirror
facets,
which
each
can
be
designed
to
be
tiltable
by
way
of
flexure
bearings
for
the
purposes
of
adjusting,
or
else
for
realizing
specific
illumination
angle
distributions.
EuroPat v2
Ein
solcher
Spiegel
kann
beispielsweise
als
Facettenspiegel,
DMD
oder
adaptiver
Spiegel
ausgestaltet
werden,
wobei
bei
den
letzten
beiden
Varianten
eine
entsprechende
Einstellung
bzw.
Ansteuerung
die
Neigung
der
Spiegelelemente
sicherstellt.
Such
a
mirror
may
be
designed,
for
example,
as
a
multi-faceted
mirror,
a
DMD
(digital
mirror
device)
or
as
an
adaptive
mirror,
wherein
in
the
case
of
the
latter
two
variants
a
suitable
setting
or
more
specifically
actuation
ensures
the
tilt
of
the
mirror
elements.
EuroPat v2
Die
Erfindung
ist
jedoch
nicht
auf
die
Anwendung
auf
den
Facettenspiegel
beschränkt,
so
dass
grundsätzlich
auch
andere
Spiegel
(auch
solche,
die
nicht
aus
einer
Mehrzahl
von
Spiegelelementen
zusammengesetzt
sind)
in
der
erfindungsgemäßen
Weise
ausgestaltet
werden
können.
However,
the
invention
is
not
restricted
to
the
application
to
the
facet
mirror,
and
so,
as
a
matter
of
principle,
other
mirrors
can
also
be
designed
in
the
manner
according
to
the
invention
(even
those
which
are
not
composed
of
a
plurality
of
mirror
elements).
EuroPat v2
Ferner
betrifft
die
Erfindung
eine
Beleuchtungsoptik
mit
einem
derartigen
Facettenspiegel,
ein
Beleuchtungssystem
und
ein
optisches
System
mit
einer
derartigen
Beleuchtungsoptik,
eine
Projektionsbelichtungsanlage
mit
einem
derartigen
optischen
System,
ein
Verfahren
zur
Herstellung
eines
mikro-
bzw.
nanostrukturierten
Bauteils
mithilfe
einer
derartigen
Projektionsbelichtungsanlage.
The
disclosure
furthermore
relates
to
an
illumination
optical
unit
having
such
a
facet
mirror,
to
an
illumination
system
and
to
an
optical
system
having
such
an
illumination
optical
unit,
to
a
projection
exposure
apparatus
having
such
an
optical
system,
to
a
method
for
producing
a
microstructured
or
nanostructured
component
by
way
of
such
a
projection
exposure
apparatus,
and
to
a
microstructured
or
nanostructured
component
that
is
produced
by
way
of
such
a
method.
EuroPat v2
Es
ist
eine
Aufgabe
der
vorliegenden
Erfindung,
einen
Facettenspiegel
der
eingangs
genannten
Art
derart
weiterzubilden,
dass
dessen
EUV-Durchsatz
insbesondere
bei
einem
längeren
Betrieb
einer
hiermit
ausgerüsteten
Projektionsbelichtungsanlage
erhöht
ist.
SUMMARY
The
disclosure
seeks
to
develop
a
facet
mirror
for
EUV
projection
lithography
with
increased
EUV
throughput
thereof,
particularly
for
prolonged
operation
of
a
projection
exposure
apparatus
that
is
equipped
therewith.
EuroPat v2
Der
Spiegelscanner
umfasst
beispielsweise
mehrere
drehbare
Facettenspiegel
oder
verkippbare
Ablenkspiegel,
die
den
Laserstrahl
entsprechend
den
eingestellten
Winkel
der
Spiegel
auf
unterschiedliche
Orte
des
Werkstücks
richten
können.
The
mirror
scanner
comprises,
for
example,
a
plurality
of
rotatable
facet
mirrors
or
tiltable
deflection
mirrors,
which
can
direct
the
laser
beam
onto
different
sites
of
the
workpiece
depending
on
the
set
angles
of
the
mirrors.
EuroPat v2
Die
gepumpte
Strahlung
kann,
obwohl
dies
nicht
in
Figur
6
dargestellt
ist,
aus
den
Festkörpern
über
entsprechende
Austrittsfenster
9,
oder
die
Seitenflächen,
ausgekoppelt
werden
und
mittels
einer
geeigneten
optischen
Anordnung,
wie
Facettenspiegel,
zu
einem
Strahl
zusammengefaßt
werden.
Though
this
is
not
shown
in
FIG.
6,
the
pumped
radiation
from
the
solid
bodies
can
be
coupled
via
appropriate
emission
windows
9,
or
the
side
surfaces,
and
collected
by
means
of
a
suitable
optical
array,
such
as
of
bevel-edged
mirrors,
into
a
beam.
EuroPat v2
Im
Gehäuse
dem
Sensor
22
gegenüberliegend
ist
ein
kegelabschnittsförmiger
Facettenspiegel
24
vorgesehen,
welcher
im
Gehäuse
14
auf
der
Höhe
des
seitlich
umlaufenden
Linsenbereichs
18
liegt
und
durch
diesen
mit
einfallender
Strahlung
beaufschlagt
werden
kann,
welche
dann
durch
die
Facetten
der
Spiegeleinheit
24
auf
dem
Sensor
22
umgelenkt
wird.
A
facet
mirror
24
in
the
form
of
segments
of
a
cone
is
provided
opposite
the
sensor
22
in
the
housing,
said
mirror
being
at
the
level
of
the
laterally
encircling
lens
region
18
in
the
housing
14
and
being
able
to
have
incident
radiation
applied
to
it
by
the
latter,
which
radiation
is
then
deflected
to
the
sensor
22
by
the
facets
of
the
mirror
unit
24
.
EuroPat v2
Die
Erfindung
betrifft
einen
Facettenspiegel
mit
mehreren
Spiegelfacetten,
welcher
in
Beleuchtungseinrichtungen
für
Projektionsbelichtungsanlagen
in
der
Mikrolithographie,
insbesondere
für
in
der
Mikrolithographie
unter
Verwendung
von
Strahlung
im
Bereich
des
extremen
Ultravioletts,
einsetzbar
ist.
The
invention
relates
to
a
facet
mirror
having
a
number
of
mirror
facets
that
can
be
used
in
illuminating
devices
for
projection
exposure
machines
in
microlithography,
in
particular
when
employing
radiation
in
the
region
of
the
extreme
ultraviolet.
EuroPat v2