Übersetzung für "Deposition chamber" in Deutsch
																						The
																											walls
																											of
																											the
																											deposition
																											chamber
																											1
																											also
																											have
																											a
																											plenum
																											ventilation
																											port
																											5
																											(FIGS.
																		
			
				
																						In
																											den
																											Wänden
																											der
																											Aufstäubungskammer
																											1
																											sind
																											eine
																											Zuluftöffnung
																											5
																											(Fig.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						These
																											substrates
																											are
																											provided
																											in
																											the
																											deposition
																											chamber
																											of
																											a
																											laser-ablation
																											deposition
																											device.
																		
			
				
																						Diese
																											Unterlagen
																											werden
																											in
																											die
																											Depositionskammer
																											einer
																											Laser-Ablations-Depositionsanlage
																											gebracht.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Explosion
																											valves
																											may
																											be
																											provided
																											in
																											the
																											upper
																											wall
																											of
																											the
																											deposition
																											chamber
																											1.
																		
			
				
																						In
																											der
																											oberen
																											Wand
																											der
																											Aufstäubungskammer
																											1
																											können
																											Explosionsklappen
																											angeordnet
																											sein.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											results
																											in
																											their
																											accumulation
																											in
																											the
																											interior
																											space
																											of
																											the
																											deposition
																											chamber.
																		
			
				
																						Dies
																											führt
																											zur
																											Anhäufung
																											derselben
																											im
																											Raum
																											der
																											Aufstäubungskammer.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Preferably
																											the
																											overflow
																											pipe
																											empties
																											into
																											the
																											deposition
																											chamber
																											in
																											the
																											area
																											of
																											its
																											longitudinal
																											axis.
																		
			
				
																						Vorzugsweise
																											mündet
																											das
																											Überlaufrohr
																											in
																											die
																											Abscheidekammer
																											im
																											Bereich
																											deren
																											Längsachse
																											ein.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											sacrificial
																											layer
																											can
																											also
																											be
																											removed
																											from
																											the
																											elements
																											which
																											delimit
																											the
																											deposition
																											chamber.
																		
			
				
																						Die
																											Opferschicht
																											kann
																											auch
																											von
																											den
																											den
																											Abscheideraum
																											begrenzenden
																											Elementen
																											entfernt
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											etching-back
																											zone
																											can
																											thereby
																											be
																											disposed
																											in
																											front
																											of,
																											in
																											or
																											after
																											the
																											deposition
																											chamber.
																		
			
				
																						Die
																											Rückätzzone
																											kann
																											dabei
																											vor,
																											in
																											oder
																											nach
																											dem
																											Abscheideraum
																											angeordnet
																											sein.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						At
																											this
																											thermalizing
																											pressure,
																											the
																											temperature
																											profile
																											in
																											the
																											deposition
																											chamber
																											is
																											adjusted.
																		
			
				
																						Bei
																											diesem
																											Thermalisierdruck
																											wird
																											das
																											Temperaturprofil
																											in
																											der
																											Depositionskammer
																											eingestellt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											vapour
																											deposition
																											chamber
																											was
																											evacuated
																											to
																											a
																											pressure
																											of
																											10-
																											6
																											mbar.
																		
			
				
																						Die
																											Aufdampfkammer
																											wurde
																											abgepumpt
																											bis
																											auf
																											einen
																											Druck
																											von
																											10
																											-6
																											mbar.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											the
																											deposition
																											chamber,
																											any
																											number
																											of
																											these
																											blocks
																											are
																											disposed
																											in
																											succession.
																		
			
				
																						In
																											der
																											Abscheidekammer
																											sind
																											beliebig
																											viele
																											dieser
																											Blöcke
																											hintereinander
																											angeordnet.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						They
																											flow
																											through
																											the
																											deposition
																											chamber
																											1
																											without
																											depositing.
																		
			
				
																						Sie
																											durchströmen
																											die
																											Depositionskammer
																											1,
																											ohne
																											dort
																											zu
																											deponieren.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Further,
																											the
																											plasma
																											chamber
																											(PCVD,
																											CVD)
																											and
																											the
																											deposition
																											chamber
																											may
																											be
																											arranged
																											consecutively
																											in
																											a
																											spatially
																											separated
																											manner.
																		
			
				
																						Auch
																											können
																											Plasmakammer
																											(PCVD,
																											CVD)
																											und
																											Depositionskammer
																											räumlich
																											voneinander
																											getrennt
																											nacheinander
																											angeordnet
																											sein.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											pressure
																											in
																											the
																											stripping
																											chamber
																											is
																											higher
																											than
																											in
																											the
																											vapor
																											deposition
																											chamber
																											and
																											lower
																											than
																											atmospheric
																											pressure.
																		
			
				
																						Der
																											Druck
																											ist
																											in
																											der
																											Ablösekammer
																											höher
																											als
																											in
																											der
																											Aufdampfkammer
																											sowie
																											niedriger
																											als
																											der
																											Atmosphärendruck.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											deposition
																											chamber
																											1
																											has
																											two
																											sealed
																											inlets
																											19
																											and
																											20
																											(FIG.
																		
			
				
																						Die
																											Aufstäubungskammer
																											1
																											ist
																											mit
																											zwei
																											hermetisch
																											dichten
																											Durchführungen
																											19
																											und
																											20
																											(Fig.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Accommodation
																											of
																											the
																											deposition
																											equipment
																											in
																											the
																											deposition
																											chamber
																											results
																											in
																											difficulties
																											associated
																											with
																											maintenance
																											of
																											the
																											equipment.
																		
			
				
																						Die
																											Unterbringung
																											der
																											Aufstäubungsausrüstung
																											in
																											der
																											Aufstäubungskammer
																											fürt
																											zu
																											einer
																											komplizierteren
																											Bedienung
																											dieser
																											Ausrüstung.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Furthermore,
																											a
																											deposition
																											chamber
																											5
																											with
																											an
																											angular
																											running
																											separator
																											50
																											with
																											gas
																											through-holes
																											51
																											is
																											provided.
																		
			
				
																						Weiter
																											ist
																											eine
																											Abscheidekammer
																											5
																											mit
																											einem
																											schräg
																											verlaufenden
																											Abscheider
																											50
																											mit
																											Gasdurchtrittsöffnungen
																											51
																											vorgesehen.
															 
				
		 EuroPat v2