Übersetzung für "Flood exposure" in Deutsch
																						After
																											the
																											heat
																											treatment,
																											the
																											photoresist
																											coating
																											is
																											as
																											a
																											rule
																											subjected
																											to
																											a
																											total
																											exposure
																											("flood
																											exposure")
																											in
																											order
																											to
																											convert
																											the
																											still
																											photosensitive
																											coating
																											regions
																											completely
																											into
																											an
																											alkali-soluble
																											form.
																		
			
				
																						Nach
																											der
																											Wärmebehandlung
																											wird
																											die
																											Photoresistschicht
																											in
																											der
																											Regel
																											einer
																											Totalbelichtung
																											("Flutbelichtung")
																											unterworfen,
																											um
																											die
																											noch
																											lichtempfindlichen
																											Schichtbereiche
																											vollständig
																											in
																											eine
																											alkalilösliche
																											Form
																											umzuwandeln.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Following
																											the
																											flood
																											exposure,
																											development
																											is
																											carried
																											out
																											with
																											an
																											aqueous
																											alkaline
																											developer
																											solution
																											which
																											is
																											normally
																											also
																											used
																											in
																											the
																											case
																											of
																											a
																											positive-working
																											photoresist,
																											for
																											example
																											aqueous
																											solutions
																											of
																											sodium
																											hydroxide,
																											tetramethylammonium
																											hydroxide,
																											trimethylhydroxyethylammonium
																											hydroxide,
																											alkali
																											phosphates,
																											alkali
																											silicates
																											or
																											alkali
																											carbonates,
																											which
																											may
																											contain
																											wetting
																											agents
																											or
																											small
																											amounts
																											of
																											organic
																											solvents.
																		
			
				
																						Im
																											Anschluß
																											an
																											die
																											Flutbelichtung
																											wird
																											mit
																											einer
																											wäßrigalkalischen
																											Entwicklerlösung
																											entwickelt,
																											die
																											üblicherweise
																											auch
																											bei
																											einem
																											positiv
																											arbeitenden
																											Photoresist
																											verwendet
																											wird,
																											z.B.
																											wäßrige
																											Lösungen
																											von
																											Natriumhydroxyd,
																											Tetramethylammoniumhydroxyd,
																											Trimethylhydroxyethylammoniumhydroxid,
																											Alkaliphosphaten,
																											-silikaten
																											oder
																											-carbonaten,
																											die
																											Netzmittel
																											oder
																											kleinere
																											Mengen
																											organischer
																											Lösemittel
																											enthalten
																											können.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						However,
																											two
																											additional
																											process
																											steps
																											are
																											required
																											here,
																											namely
																											a
																											metal-free
																											treatment
																											with
																											methyl
																											isocyanate,
																											specifically
																											in
																											the
																											vacuum
																											oven,
																											as
																											well
																											as
																											flood
																											exposure.
																		
			
				
																						Hierbei
																											werden
																											aber
																											zwei
																											zusätzliche
																											Prozeßschritte
																											benötigt,
																											nämlich
																											eine
																											metallfreie
																											Behandlung
																											mit
																											Methylisocyanat,
																											und
																											zwar
																											im
																											Vakuumofen,
																											sowie
																											eine
																											Flutbelichtung.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						However,
																											this
																											method
																											involves
																											two
																											additional
																											process
																											steps,
																											namely
																											treatment
																											of
																											the
																											exposed
																											photoresist
																											layer
																											with
																											a
																											polyfunctional
																											organic
																											compound,
																											especially
																											a
																											polyamine,
																											and
																											flood
																											exposure.
																		
			
				
																						Dieses
																											Verfahren
																											beinhaltet
																											aber
																											Zwei
																											zusätzliche
																											Prozeßschritte,
																											nämlich
																											eine
																											Behandlung
																											der
																											belichteten
																											Photoresistschicht
																											mit
																											einer
																											polyfunktionellen
																											organischen
																											Verbindung,
																											insbesondere
																											einem
																											Polyamin,
																											und
																											eine
																											Flutbelichtung.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						After
																											heat
																											treating
																											and
																											cooling
																											the
																											copying
																											material,
																											the
																											photoresist
																											coating
																											is
																											developed
																											or,
																											preferably,
																											exposed,
																											before
																											development,
																											to
																											UV
																											irradiation
																											over
																											the
																											entire
																											surface
																											(flood
																											exposure).
																		
			
				
																						Nach
																											der
																											Wärmebehandlung
																											und
																											Abkühlung
																											des
																											Aufzeichnungsmaterials
																											wird
																											die
																											Photoresistschicht
																											entwickelt
																											oder
																											vorzugsweise
																											vor
																											der
																											Entwicklung
																											einer
																											ganzflächigen
																											UV-Bestrahlung
																											ausgesetzt
																											(Flutbelichtung).
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											flood
																											exposure
																											may
																											in
																											general
																											be
																											carried
																											out
																											under
																											the
																											same
																											light
																											source
																											which
																											was
																											also
																											used
																											for
																											the
																											exposure
																											to
																											image.
																		
			
				
																						Die
																											Flutbelichtung
																											kann
																											im
																											allgemeinen
																											unter
																											der
																											gleichen
																											Lichtquelle
																											erfolgen,
																											die
																											auch
																											für
																											die
																											Bildbelichtung
																											verwendet
																											wurde.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						What
																											is
																											essential
																											in
																											the
																											process
																											according
																											to
																											the
																											invention
																											is
																											the
																											fact
																											that
																											the
																											heat-treatment
																											is
																											preceded
																											by
																											whole-area
																											irradiation,
																											so-called
																											flood
																											exposure,
																											that
																											is
																											to
																											say
																											irradiation
																											without
																											a
																											mask.
																		
			
				
																						Wesentlich
																											ist
																											beim
																											Verfahren
																											nach
																											der
																											Erfindung,
																											daß
																											vor
																											dem
																											Tempern
																											eine
																											ganzflächige
																											Bestrahlung
																											durchgeführt
																											wird,
																											eine
																											sogenannte
																											Flutbelichtung,
																											d.h.
																											eine
																											Bestrahlung
																											ohne
																											Maske.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						It
																											also
																											has
																											been
																											demonstrated
																											that
																											no
																											final
																											flood
																											exposure
																											is
																											needed
																											if
																											the
																											sensitizer
																											is
																											chosen
																											such
																											that
																											its
																											acid
																											photoproduct
																											is
																											capable
																											of
																											cross-linking
																											the
																											exposed
																											areas
																											during
																											a
																											high
																											temperature
																											post-exposure
																											bake.
																		
			
				
																						Es
																											ist
																											auch
																											nachgewiesen
																											worden,
																											daß
																											eine
																											abschließende
																											ganzflächige
																											Flutbelichtung
																											nicht
																											erforderlich
																											ist,
																											wenn
																											der
																											Sensibilisator
																											so
																											gewählt
																											wird,
																											daß
																											die
																											daraus
																											photolytisch
																											gebildete
																											Säure
																											die
																											belichteten
																											Bereiche
																											während
																											einer
																											Nacherhitzung
																											bei
																											hoher
																											Temperatur
																											vernetzen
																											kann.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											the
																											case
																											of
																											the
																											preferred
																											curing
																											by
																											exposure,
																											the
																											sandwich
																											can
																											be
																											cured
																											over
																											the
																											whole
																											area
																											by
																											flood
																											exposure
																											with
																											or
																											without
																											a
																											mask
																											and
																											hence
																											the
																											refractive
																											index
																											gradient
																											structure
																											generated
																											by
																											the
																											mask
																											exposure
																											can
																											be
																											fixed.
																		
			
				
																						Bei
																											der
																											bevorzugten
																											Aushärtung
																											durch
																											Belichtung
																											kann
																											der
																											Sandwich
																											mit
																											oder
																											ohne
																											Maske
																											durch
																											eine
																											Flutbelichtung
																											ganzflächig
																											ausgehärtet
																											und
																											damit
																											die
																											durch
																											die
																											Maskenbelichtung
																											erzeugte
																											Brechzahlgradientenstruktur
																											fixiert
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											the
																											case
																											of
																											transparent
																											backing
																											films,
																											the
																											flood
																											exposure
																											can
																											be
																											done
																											from
																											the
																											bottom
																											(through
																											the
																											backing
																											film)
																											or
																											else
																											from
																											the
																											top,
																											especially
																											in
																											the
																											case
																											of
																											nontransparent
																											backing
																											films.
																		
			
				
																						Die
																											Flutbelichtung
																											kann
																											bei
																											transparenten
																											Trägerfolien
																											von
																											unten
																											(durch
																											die
																											Trägerfolie
																											hindurch)
																											oder
																											auch
																											von
																											oben
																											geschehen,
																											insbesondere
																											bei
																											nicht
																											transparenten
																											Trägerfolien.
															 
				
		 EuroPat v2