Übersetzung für "Hydrogenous" in Deutsch
																						In
																											particular,
																											the
																											invention
																											provides
																											for
																											deposition
																											of
																											hydrogenous
																											and
																											doped
																											surface
																											layers
																											on
																											large-area
																											silicon
																											substrates.
																		
			
				
																						Insbesondere
																											sieht
																											die
																											Erfindung
																											vor,
																											wasserstoffhaltige
																											dotierte
																											Oberflächenschichten
																											auf
																											großflächige
																											Siliciumsubstrate
																											abzuscheiden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						If
																											appropriate,
																											the
																											catalyst
																											is
																											subsequently
																											activated
																											with
																											a
																											hydrogenous
																											gas.
																		
			
				
																						Der
																											Katalysator
																											wird
																											gegebenenfalls
																											anschließend
																											mit
																											einem
																											wasserstoffhaltigen
																											Gas
																											aktiviert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Hydrogenous
																											3C—SiC
																											layers,
																											which
																											may
																											also
																											be
																											nanocrystalline,
																											are
																											also
																											known.
																		
			
				
																						Bekannt
																											sind
																											auch
																											wasserstoffhaltige
																											3C-SiC-Schichten,
																											die
																											auch
																											nanokristallin
																											sein
																											können.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						After
																											the
																											regeneration,
																											the
																											catalyst
																											is,
																											if
																											appropriate,
																											reduced
																											with
																											a
																											hydrogenous
																											gas.
																		
			
				
																						Gegebenenfalls
																											wird
																											der
																											Katalysator
																											nach
																											der
																											Regenerierung
																											mit
																											einem
																											wasserstoffhaltigen
																											Gas
																											reduziert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						After
																											the
																											regeneration,
																											the
																											catalyst
																											is
																											reduced
																											with
																											a
																											hydrogenous
																											gas
																											if
																											appropriate.
																		
			
				
																						Gegebenenfalls
																											wird
																											der
																											Katalysator
																											nach
																											der
																											Regenerierung
																											mit
																											einem
																											wasserstoffhaltigen
																											Gas
																											reduziert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						After
																											the
																											regeneration,
																											the
																											catalyst
																											is
																											optionally
																											reduced
																											with
																											a
																											hydrogenous
																											gas.
																		
			
				
																						Gegebenenfalls
																											wird
																											der
																											Katalysator
																											nach
																											der
																											Regenerierung
																											mit
																											einem
																											wasserstoffhaltigen
																											Gas
																											reduziert.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						A
																											catalyst
																											in
																											the
																											reformer
																											converts
																											liquid
																											gas
																											into
																											a
																											hydrogenous
																											gas.
																		
			
				
																						Im
																											Reformer
																											wird
																											Flüssiggas
																											unter
																											Mithilfe
																											eines
																											Katalysators
																											in
																											ein
																											wasserstoffhaltiges
																											Gas
																											umgewandelt.
															 
				
		 ParaCrawl v7.1
			
																						Molecular
																											hydrogen
																											as
																											a
																											raw
																											material
																											is
																											not
																											naturally
																											available
																											but
																											must
																											be
																											extracted
																											from
																											hydrogenous
																											raw
																											materials.
																		
			
				
																						Molekularer
																											Wasserstoff
																											steht
																											nicht
																											als
																											Rohstoff
																											zur
																											Verfügung,
																											sondern
																											muß
																											aus
																											wasserstoffhaltigen
																											Rohstoffen
																											gewonnen
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											semiconductor
																											base
																											material
																											according
																											to
																											the
																											invention,
																											that
																											is
																											the
																											amorphous,
																											hydrogenous
																											carbon,
																											is
																											manufactured
																											through
																											high-frequency
																											plasma
																											deposition
																											of
																											gaseous
																											hydrocarbons.
																		
			
				
																						Das
																											Halbleitergrundmaterial,
																											d.h.
																											der
																											amorphe,
																											wasserstoffhaltige
																											Kohlenstoff,
																											wird
																											durch
																											Hochfrequenz-Plasmaabscheidung
																											gasförmiger
																											Kohlenwasserstoffe
																											hergestellt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Amorphous,
																											hydrogenous
																											silicon
																											(a-Si:H)
																											is
																											also
																											known
																											as
																											a
																											semiconductor
																											base
																											material.
																		
			
				
																						Als
																											Halbleitergrundmaterial
																											ist
																											ferner
																											amorphes,
																											wasserstoffhaltiges
																											Silicium
																											(a-Si:H)
																											bekannt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											grain
																											is
																											heated
																											by
																											the
																											heat
																											of
																											reaction
																											during
																											combustion
																											of
																											the
																											hydrogenous
																											component
																											of
																											the
																											burner
																											gas.
																		
			
				
																						Das
																											Erhitzen
																											der
																											Körnung
																											erfolgt
																											durch
																											die
																											Reaktionswärme
																											bei
																											der
																											Verbrennung
																											der
																											wasserstoffhaltigen
																											Komponente
																											des
																											Brenngases.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Suitable
																											as
																											the
																											hydrogenous
																											component
																											are
																											for
																											example
																											hydrogen
																											or
																											hydrocarbon
																											compounds
																											such
																											as
																											propane
																											or
																											acetylene.
																		
			
				
																						Als
																											wasserstoffhaltige
																											Komponente
																											kommen
																											beispielsweise
																											Wasserstoff
																											oder
																											Kohlenwasserstoffverbindungen,
																											wie
																											Propan
																											oder
																											Acetylen
																											in
																											Frage.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						As
																											a
																											result
																											of
																											the
																											tungsten
																											doping
																											in
																											the
																											hydrogenous
																											surface
																											coating,
																											hydrogen
																											is
																											additionally
																											activated
																											for
																											volume
																											passivation
																											and
																											surface
																											passivation.
																		
			
				
																						Aufgrund
																											der
																											Wolfram-Dotierung
																											in
																											der
																											wasserstoffhaltigen
																											Oberflächenbeschichtung
																											erfolgt
																											zusätzliche
																											Aktivierung
																											von
																											Wasserstoff
																											zur
																											Volumen-
																											und
																											Oberflächenpassivierung.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											hydrogen
																											can
																											be
																											fed
																											to
																											the
																											anode
																											gas
																											chamber
																											either
																											as
																											pure
																											hydrogen
																											or
																											as
																											a
																											hydrogenous
																											fuel
																											gas.
																		
			
				
																						Der
																											Wasserstoff
																											kann
																											entweder
																											als
																											reiner
																											Wasserstoff
																											oder
																											als
																											ein
																											wasserstoffhaltiges
																											Brenngas
																											dem
																											Anodengasraum
																											zugeführt
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											multistage
																											reactors,
																											this
																											applies
																											to
																											every
																											intermediate
																											feed
																											of
																											oxygenous
																											and
																											any
																											hydrogenous
																											gas.
																		
			
				
																						Dies
																											gilt
																											bei
																											mehrstufigen
																											Reaktoren
																											für
																											jede
																											Zwischeneinspeisung
																											von
																											sauerstoffhaltigem
																											und
																											gegebenenfalls
																											wasserstoffhaltigem
																											Gas.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						A
																											method
																											for
																											manufacturing
																											a
																											semiconductor
																											base
																											material
																											with
																											high
																											semiconductor
																											characteristic
																											potential
																											comprising
																											the
																											step
																											of
																											depositing
																											a
																											thin
																											layer
																											amorphous,
																											hydrogenous
																											carbon
																											(a-C:H)
																											onto
																											a
																											substrate
																											by
																											high-frequency
																											plasma
																											deposition
																											of
																											gaseous
																											hydrocarbons,
																											wherein
																											the
																											average
																											retention
																											time
																											of
																											the
																											hydrocarbons
																											in
																											the
																											plasma
																											is
																											at
																											least
																											15
																											ms,
																											the
																											retention
																											time
																											being
																											defined
																											as
																											the
																											quotient
																											of
																											the
																											product
																											of
																											the
																											plasma
																											volumes
																											and
																											gas
																											pressure
																											and
																											of
																											the
																											mass
																											flow
																											rate,
																											wherein
																											the
																											power
																											density
																											in
																											the
																											plasma
																											is
																											from
																											0.2
																											to
																											10
																											W·cm-3,
																											and
																											wherein
																											the
																											substrate
																											is
																											not
																											heated.
																		
			
				
																						Verfahren
																											zur
																											Herstellung
																											eines
																											Halbleitergrundmaterials
																											aus
																											Dünnschichten
																											aus
																											amorphem,
																											wasserstoffhaltigem
																											Kohlenstoff
																											(a-C:H),
																											durch
																											Hochfrequenz-Plasmaabscheidung
																											gasförmiger
																											Kohlenwasserstoffe
																											auf
																											einem
																											Substrat
																											dadurch
																											gekennzeichnet,
																											daß
																											die
																											mittlere
																											Verweilzeit
																											der
																											Kohlenwasserstoffe
																											im
																											Plasma
																											mindestens
																											15
																											ms
																											beträgt,
																											wobei
																											die
																											Verweilzeit
																											definiert
																											ist
																											als
																											Quotient
																											aus
																											dem
																											Produkt
																											von
																											Plasmavolumen
																											und
																											Gasdruck
																											und
																											dem
																											Massedurchfluß,
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						On
																											the
																											other
																											hand,
																											from
																											the
																											"IDR-Industrie
																											Diamanten
																											Rudschau"
																											[Industrial
																											Diamond
																											Magazine],
																											volume
																											18
																											(1984),
																											No.
																											4,
																											pages
																											249
																											ff.
																											it
																											is
																											known
																											that
																											amorphous,
																											hydrogenous
																											carbon
																											(a-C:H),
																											which
																											has
																											a
																											relatively
																											high
																											hydrogen
																											contents
																											of
																											13
																											to
																											38
																											atomic
																											percentage,
																											possesses
																											a
																											specific
																											electrical
																											resistance
																											of
																											1013
																											?·cm
																											and
																											an
																											optical
																											energy
																											gap
																											of
																											0.8
																											to
																											1.8
																											eV.
																		
			
				
																						Aus
																											"IDR
																											-
																											Industrie
																											Diamanten
																											Rundschau",
																											Bd.
																											18
																											(1984),
																											Nr.
																											4,
																											Seiten
																											249
																											ff.
																											ist
																											es
																											andererseits
																											bekannt,
																											daß
																											amorpher,
																											wasserstoffhaltiger
																											Kohlenstoff
																											(a-C:H),
																											der
																											einen
																											relativ
																											hohen
																											Wasserstoffgehalt
																											von
																											13
																											bis
																											38
																											Atom-%
																											aufweist,
																											einen
																											elektrischen
																											Widerstand
																											von
																											10¹³
																											?.cm
																											und
																											einen
																											optischen
																											Bandabstand
																											von
																											0,8
																											bis
																											1,8
																											eV
																											besitzt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						This
																											may
																											then
																											be
																											followed
																											by
																											an
																											oxidation
																											step,
																											in
																											which
																											the
																											material
																											of
																											the
																											block
																											4
																											is
																											exposed
																											to
																											air
																											or
																											oxygen,
																											and
																											conditioning
																											in
																											a
																											hydrogenous
																											atmosphere.
																		
			
				
																						Es
																											kann
																											dann
																											ein
																											Oxidationsschritt
																											folgen,
																											bei
																											dem
																											das
																											Material
																											des
																											Blocks
																											4
																											Luft
																											oder
																											Sauerstoff
																											ausgesetzt
																											wird
																											und
																											Konditionierung
																											in
																											einer
																											wasserstoffhaltigen
																											Atmosphäre.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						As
																											the
																											reaction
																											partner
																											for
																											the
																											combustion
																											of
																											the
																											hydrogenous
																											component
																											may
																											be
																											used
																											for
																											example
																											oxygen,
																											oxygen
																											compounds,
																											halogens
																											and
																											halogen
																											compounds.
																		
			
				
																						Als
																											Reaktionspartner
																											für
																											die
																											Verbrennung
																											der
																											wasserstoffhaltigen
																											Komponente
																											können
																											beispielsweise
																											Sauerstoff,
																											Sauerstoffverbindungen,
																											Halogene
																											und
																											Halogenverbindungen
																											eingesetzt
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						To
																											improve
																											the
																											radiation
																											resistance
																											of
																											the
																											quartz
																											glass
																											through
																											the
																											damage-healing
																											effects
																											of
																											hydrogen,
																											EP-A1
																											401
																											845
																											recommends
																											a
																											subsequent
																											loading
																											of
																											the
																											tempered
																											quartz
																											glass
																											blank
																											with
																											hydrogen
																											by
																											treating
																											it
																											at
																											increased
																											temperature
																											in
																											a
																											hydrogenous
																											atmosphere.
																		
			
				
																						Zur
																											Verbesserung
																											der
																											Strahlenbeständigkeit
																											des
																											Quarzglases
																											infolge
																											der
																											defektausheilenden
																											Wirkung
																											von
																											Wasserstoff
																											wird
																											in
																											der
																											EP-A1
																											401
																											845
																											empfohlen,
																											den
																											getemperten
																											Quarzglas-Rohling
																											nachträglich
																											mit
																											Wasserstoff
																											zu
																											beladen,
																											indem
																											dieser
																											bei
																											erhöhter
																											Temperatur
																											in
																											wasserstoffhaltiger
																											Atmosphäre
																											behandelt
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Method
																											according
																											to
																											claim
																											1,
																											wherein
																											hydrogenous
																											SiN
																											x
																											O
																											y
																											layer
																											has
																											a
																											thickness
																											determined
																											by
																											at
																											least
																											one
																											coating
																											selected
																											from
																											the
																											group
																											consisting
																											of
																											pressure,
																											metal
																											temperature,
																											gas
																											composition,
																											oxygen
																											partial
																											pressure,
																											substrate
																											temperature,
																											distance
																											between
																											dopant
																											and
																											substrate,
																											and
																											dopant
																											geometry.
																		
			
				
																						Verfahren
																											nach
																											zumindest
																											einem
																											der
																											vorhergehenden
																											Ansprüche,
																											dadurch
																											gekennzeichnet,
																											dass
																											die
																											Dicke
																											der
																											wasserstoffhaltigen
																											SiN
																											x
																											O
																											y
																											-Schicht
																											durch
																											Beschichtungsparameter
																											wie
																											Druck,
																											Metalltemperatur,
																											Gaszusammensetzung,
																											Sauerstoffpartialdruck,
																											Substrattemperatur,
																											Abstand
																											zwischen
																											Metall
																											und
																											Substrat
																											und/oder
																											Metallgeometrie
																											eingestellt
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						Method
																											according
																											to
																											claim
																											1,
																											wherein
																											the
																											hydrogenous
																											SiN
																											x
																											O
																											y
																											layer
																											is
																											formed
																											in
																											a
																											cyclic
																											coating
																											operation
																											on
																											the
																											substrate.
																		
			
				
																						Verfahren
																											nach
																											zumindest
																											einem
																											der
																											vorhergehenden
																											Ansprüche,
																											dadurch
																											gekennzeichnet,
																											dass
																											die
																											wasserstoffhaltige
																											SiN
																											x
																											O
																											y
																											-Schicht
																											im
																											getakteten
																											Beschichtungsbetrieb
																											auf
																											dem
																											Substrat
																											ausgebildet
																											wird.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						In
																											accordance
																											with
																											the
																											invention,
																											a
																											hydrogenous
																											SiN
																											x
																											O
																											y
																											layer
																											is
																											selected
																											that
																											releases
																											hydrogen
																											during
																											growth
																											and
																											tempering.
																		
			
				
																						Erfindungsgemäß
																											wird
																											eine
																											wasserstoffhaltige
																											SiN
																											x
																											O
																											y
																											-Schicht
																											gewählt,
																											die
																											während
																											des
																											Wachstums
																											und
																											beim
																											Tempern
																											Wasserstoff
																											freisetzt.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						For
																											example,
																											during
																											the
																											manufacture
																											of
																											EFG
																											solar
																											cells
																											with
																											hydrogenous
																											SiN
																											x
																											O
																											y
																											surface
																											layers,
																											a
																											surprising
																											correlation
																											was
																											found
																											of
																											the
																											solar
																											cell
																											efficiency
																											(Eta)
																											with
																											the
																											content
																											of
																											tungsten
																											as
																											a
																											dopant
																											in
																											the
																											SiN
																											x
																											O
																											y
																											layer.
																		
			
				
																						So
																											konnte
																											bei
																											der
																											Herstellung
																											von
																											EFG-Solarzellen
																											mit
																											wasserstoffhaltigen
																											SiN
																											x
																											O
																											y
																											-Oberflächenschichten
																											überraschend
																											eine
																											Korrelation
																											des
																											Solarzellenwirkungsgrades
																											(Eta)
																											mit
																											dem
																											Gehalt
																											von
																											Wolfram
																											als
																											Dotierstoff
																											in
																											der
																											SiN
																											x
																											O
																											y
																											-Schicht
																											gefunden
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						With
																											substrate-independent
																											coating
																											methods
																											such
																											as
																											remote
																											microwave
																											plasma
																											or
																											LPCVD
																											technology,
																											doped
																											hydrogenous
																											layers
																											can
																											in
																											principle
																											be
																											deposited
																											onto
																											all
																											types
																											of
																											substrate.
																		
			
				
																						Mit
																											substratunabhängigen
																											Beschichtungsverfahren
																											wie
																											der
																											Remote-Mikrowellenplasma-
																											oder
																											der
																											LPCVD-Technik
																											können
																											dotierte
																											wasserstoffhaltige
																											Schichten
																											prinzipiell
																											auf
																											alle
																											Arten
																											von
																											Substraten
																											abgeschieden
																											werden.
															 
				
		 EuroPat v2
			
																						The
																											process
																											as
																											claimed
																											In
																											claim
																											1,
																											wherein
																											step
																											3
																											further
																											comprises
																											hydrogenolysis
																											in
																											a
																											hydrogenous
																											atmosphere
																											in
																											the
																											presence
																											of
																											a
																											transition
																											metal
																											catalyst
																											under
																											a
																											pressure
																											of
																											from
																											0.5
																											to
																											400
																											bar.
																		
			
				
																						Verfahren
																											nach
																											mindestens
																											einem
																											der
																											vorhergehenden
																											Ansprüche
																											1
																											bis
																											5,
																											gekennzeichnet
																											dadurch,
																											dass
																											die
																											Entfernung
																											der
																											Schutzgruppen
																											durch
																											Hydrogenolyse
																											in
																											einer
																											wasserstoffhaltigen
																											Atmosphäre
																											in
																											Gegenwart
																											eines
																											Übergangsmetallkatalysators
																											erfolgt,
																											unter
																											einem
																											Druck
																											von
																											0,5
																											bis
																											400
																											bar.
															 
				
		 EuroPat v2